用于工件处理的系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种用于工件处理的系统。所述系统包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个罩幕包括具有图案的中心部分，以及从中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于一个或更多个突出部中的固定孔并连接至上部平板的底面，使得多个罩幕的每一个中心部分与上部平板中的个别开口对准；以及偏置元件，在上部平板的底面与每一个罩幕之间产生分离力。因此，本实用新型专利技术提供能够让多个罩幕对准至多个工件的系统，此对准可以快速而不昂贵的方式完成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请案交叉引用本申请案主张在2013年7月26日提申的美国临时专利申请案第61/858,852号的优先权，其所揭示的内容以引用方式并入本文。
本技术的实施例涉及在工件处理期间将罩幕对准至工件的系统，且特别涉及在离子植入期间将罩幕对准至工件的装置。
技术介绍
常将掺杂物植入至半导体工件中，以产生所需的传导性。举例来说，可将掺杂物植入太阳电池，以产生射极区。一般而言，离子是由离子源所产生。离子源可以是利用RF能量以产生离子的等离子体腔室，或间接加热阴极(IHC)，或另一种类型的离子源。离子是从离子源提取，且离子在到达工件之前可先通过质量分析与聚焦元件。在一些实施例中，将提取出的离子直接植入工件中，且离子源与工件之间不存在其他元件。也可将工件置于平台上，以使工件处于适当位置。通常只会对部分工件进行植入。因此，会在离子源与工件之间插入例如罩幕的机构以防止离子到达工件的特定部分。此罩幕可与工件对准，以严格控制罩幕所覆盖的区域。在一些实施例中，将罩幕对准至工件、进行所需植入以及移除罩幕所需的时间可能过长。因此，在一些实施例中，同时植入多个工件可能是有利的。然而，在此多个工件上方安置多个罩幕的系统与方法可能昂贵且耗时。因此，若有一种系统与方法能够让多个罩幕对准至多个工件，且此对准可以快速而不昂贵的方式完成，则将会是有利的。
技术实现思路
多个罩幕附接至罩幕框的底面。此附接使各罩幕能够在三方向上相对 于罩幕框而独立地移动。此相对移动使各罩幕调整其位置以与配置于工作表面上的个别对准销对准。在一实施例中，使用固定器将各罩幕附接至罩幕框，其中固定器具有轴部，轴部的直径小于配置于罩幕上的固定孔的直径。可使用偏置元件使得罩幕与罩幕框能在垂直方向上相对移动。各罩幕亦可具有活动零件，以与工作表面上的个别对准销配对。在一实施例中，揭示一种用于工件处理的系统。系统包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板以及将罩幕框支撑于工作表面上的两个或更多个垂直侧壁；多个罩幕，每一罩幕包括具有图案的中心部分以及从中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于一个或更多个突出部中的固定孔并连接至上部平板的底面，使得多个罩幕的每一个中心部分与上部平板中的个别开口对准；以及偏置元件，在上部平板的底面与每一个罩幕之间产生分离力。在一实施例中，所述固定孔具有直径，且每一个所述固定器具有头部与轴部，其中每一个所述固定器的所述头部的直径大于所述固定孔的直径，而所述轴部的直径小于所述固定孔的直径，使得所述罩幕与所述罩幕框之间进行相对移动。在一实施例中，所述偏置元件包括配置于所述轴部周围且安置于所述上部平板的所述底面与所述罩幕之间的弹簧。在一实施例中，每一个所述罩幕还包括配置于所述一个或更多个突出部上的对准孔，用以与配置于所述工作表面上的个别对准销配对。在一实施例中，还包括配置于所述垂直侧壁上的固持零件，以将所述罩幕框固持于所述工作表面上。在一实施例中，所述固持零件包括配置于所述垂直侧壁末端的磁性材料与配置于所述工作表面中的电切换磁铁。在第二实施例中，揭示一种用于工件处理的系统。系统包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板以及从上部平板延伸以将罩幕框支撑于工作表面上的两个或更多个垂直侧壁；多个罩幕，每一个罩幕包括具有图案的中心部分；一个或更多个突出部，从中心部分的边缘延伸；一个或更多个固定孔，配置于一个或更多个突出部中；以及一个或更多个活动零件，配置于一个或更多个突出部中，每一个活动零件用以与工作表面上的个别对准销接合；固 定器，穿过固定孔并连接至上部平板的底面，使得每一个罩幕的中心部分与上部平板的个别开口对准，其中每一个固定器包括头部与轴部，头部的直径大于固定孔的直径，轴部的直径则小于固定孔的直径，使每一个罩幕在两侧向方向上相对于罩幕框而移动。在第二实施例中，还包括多个偏置元件，每一个所述偏置元件配置于所述固定器的个别所述轴部上，且位于所述罩幕框的底面与一个所述罩幕之间，以在所述上部平板与所述罩幕之间产生分离力，以及使得所述罩幕与所述罩幕框在垂直方向上进行相对移动。在第二实施例中，所述活动零件与所述固定孔配置于相同的所述突出部上。在第二实施例中，所述活动零件与所述固定孔配置于不同的所述突出部上。在第二实施例中，还包括配置于所述垂直侧壁上的固持零件，以将所述罩幕框固持于所述工作表面上。在第二实施例中，所述固持零件包括配置于所述垂直侧壁末端的磁性材料以及配置于所述工作表面中的电切换磁铁。因此，提供能够让多个罩幕对准至多个工件的系统，此对准可以快速而不昂贵的方式完成。附图说明为了更加了解本案，参考以引用方式并入本文的附图：图1呈现罩幕的实施例。图2呈现依据一实施例的罩幕框。图3呈现图1的罩幕的上视图。图4呈现罩幕、工件与对准销之间的对准示意图。图5是将罩幕框安置于工件上方的侧视图。图6呈现罩幕框与附接于其上的罩幕。图7是依据一实施例的罩幕框与罩幕之间的连接的侧视图。具体实施方式图1呈现可用来进行图案式植入的罩幕。此罩幕10包含中心部分15，中心部分经过加工以包含所需图案。沿着罩幕10的边缘，可配置具有一个或更多个对准孔18的一个或更多个突出部16。在一些实施例中，活动零件(未图示)与对准孔18是一体成形，使得这些活动零件支撑于位于下方平台上的销并与其对准。这些活动零件可由碳化硅制成。活动零件的上表面可以是v形，以便与对准销对准。这些活动零件可以有效地使罩幕10与工件精准对准。如上所述，在特定情况下，同时植入例如4×4阵列的多个工件可以是有利的。举例来说，可能想要结合毯覆式与图案式植入以达成每小时超过3000个晶片的植入速度。然而，十六个罩幕的各别对准与安置是耗时的，因而构成对于使用同时植入的需求的主要原因。图2呈现用来容纳罩幕10的阵列的罩幕框100。即使罩幕框100被图示为能够容纳十六个罩幕10，但罩幕框100可为任意尺寸而用以容纳任何数量的罩幕10。罩幕框100包含上部平板110，上部平板具有相当于罩幕框100所能支撑的罩幕10的数目的多个开口115。开口115的尺寸与形状必须设置成可经由开口115看见各罩幕10的中心部分15。罩幕10相对于上部平板110配置，使得罩幕10的突出部16可被上部平板110的支撑部125覆盖。图3是图1所示罩幕10的上视图。一个或更多个突出部16可包含对准孔18。如上所述，这些对准孔18可填充有活动零件，此活动零件用来与配置于平台上的对准销配合。在一些实施例中，这些对准孔18可配置于罩幕10的两相邻侧边上。此外，这些突出部16中的一个或更多个可包含固定孔25。这些固定孔25是用来将罩幕10附接至罩幕框100，下文将描述更多细节。图4是罩幕10对准至平台或静电夹具50的侧视图。罩幕10包含对准孔18，对准孔填充有活动零件27。活动零件27安置于配置在平台或静电夹具50上的对准销35上。对准销35的上部可具有与活动零件27的v形凹槽接合的球状末端。对准销35也可具有侧部36，其作为工件1的硬停止元件。可将工件1向侧部36推动，使侧部作为工件1的侧对准零件。因此，对准销35是用来使工件1与罩幕10一同对准至单个参考点。这减 少产生公差叠加的主要原因，且可精准对准至十微米范围内。即使图4呈现单个对准销35，但本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于工件处理的系统，其特征在于，包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将所述罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个所述罩幕包括具有图案的中心部分，以及从所述中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于所述一个或更多个突出部中的固定孔并连接至所述上部平板的底面，使得所述多个罩幕的每一个所述中心部分与所述上部平板中的个别所述开口对准；以及偏置元件，在所述上部平板的所述底面与每一个所述罩幕之间产生分离力。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.07.26 US 61/858,852;2014.07.03 US 14/323,0881.一种用于工件处理的系统，其特征在于，包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将所述罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个所述罩幕包括具有图案的中心部分，以及从所述中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于所述一个或更多个突出部中的固定孔并连接至所述上部平板的底面，使得所述多个罩幕的每一个所述中心部分与所述上部平板中的个别所述开口对准；以及偏置元件，在所述上部平板的所述底面与每一个所述罩幕之间产生分离力。2.根据权利要求1所述的用于工件处理的系统，其特征在于，所述固定孔具有直径，且每一个所述固定器具有头部与轴部，其中每一个所述固定器的所述头部的直径大于所述固定孔的直径，而所述轴部的直径小于所述固定孔的直径，使得所述罩幕与所述罩幕框之间进行相对移动。3.根据权利要求2所述的用于工件处理的系统，其特征在于，所述偏置元件包括配置于所述轴部周围且安置于所述上部平板的所述底面与所述罩幕之间的弹簧。4.根据权利要求1所述的用于工件处理的系统，其特征在于，每一个所述罩幕还包括配置于所述一个或更多个突出部上的对准孔，用以与配置于所述工作表面上的个别对准销配对。5.根据权利要求1所述的用于工件处理的系统，其特征在于，还包括配置于所述垂直侧壁上的固持零件，以将所述罩幕框固持于所述工作表面上。6.根据权利要求5所述的用于工件处理的系统，其特征在于，所述固持零件包括配置于所述垂直侧壁末端的磁性材料与配置于所述工作表面中的电切换磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚隆·P·威波，查理斯·T·卡尔森，麦克·河南，陆伊基·G·亚玛多，克里斯多夫·尼尔·葛兰特，詹姆斯·D·史瑞斯奈，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：新型
国别省市：美国;US