【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造领域,具体涉及一种可提高光刻精度的遮罩。
技术介绍
光刻是集成电路制造领域常会用到的一种工艺流程,随着集成电路的制造工艺的提升,
技术实现思路
针对现有技术的不足,本专利技术公开了一种可提高光刻精度的遮罩。本专利技术的技术方案如下:一种可提高光刻精度的遮罩,包括透镜组;深紫外光经由透镜组射出;透镜组的光射出方向固定有光刻遮罩;所述光刻遮罩;所述光刻遮罩下方设置有待处理晶片;待处理晶片之上粘贴有光刻胶;所述光刻胶有多个,相邻的光刻胶之间为第一空档;多块光刻胶组成光刻图案;光刻遮罩也有多个,每个光刻遮罩的位置与光刻胶的位置严格对应;相邻的光刻遮罩之间为第二空档;每两个相邻的光刻遮罩为一组,组成一组的两个光刻遮罩下方安装有一个移向透镜;每个光刻遮罩只有一个边缘被光刻遮罩覆盖。本专利技术的有益技术效果是:本专利技术通过增加移向透镜,改变了深紫外光在光刻胶边缘的相位,使得光刻边缘的深紫外光分辨率更高,有利于提高半导体器件的关键宽度。附图说明图1是本专利技术的结构图。图2是本专利技术的原理图。图3是现有技术的深紫外线相位图。具体实施方式图1是本专利技术的结构图。如图1所示,本专利技术包括透镜组4。深紫外光经由透镜组4射出。透镜组4的光射出方向固定有光刻遮罩。光刻遮罩3。光刻遮罩3下方设置有待处理晶片1。待处理晶片1之上粘贴有光刻胶2。光刻胶2有多个,相邻的光刻胶2之间为第一空档21。多块光刻胶2组成光刻图案。光
刻遮罩3也有多个,每个光刻遮罩3的位置与光刻胶2的位置严格对应。相邻的光刻遮罩3之间为第二空档31。每两个相邻的光刻遮 ...
【技术保护点】
一种可提高光刻精度的遮罩,其特征在于,包括透镜组(4);深紫外光经由透镜组(4)射出;透镜组(4)的光射出方向固定有光刻遮罩;所述光刻遮罩(3);所述光刻遮罩(3)下方设置有待处理晶片(1);待处理晶片(1)之上粘贴有光刻胶(2);所述光刻胶(2)有多个,相邻的光刻胶(2)之间为第一空档(21);多块光刻胶(2)组成光刻图案;光刻遮罩(3)也有多个,每个光刻遮罩(3)的位置与光刻胶(2)的位置严格对应;相邻的光刻遮罩(3)之间为第二空档(31);每两个相邻的光刻遮罩(3)为一组,组成一组的两个光刻遮罩下方安装有一个移向透镜(32);每个光刻遮罩(3)只有一个边缘被光刻遮罩(3)覆盖。
【技术特征摘要】
1.一种可提高光刻精度的遮罩,其特征在于,包括透镜组(4);深紫外光经由透镜组(4)射出;透镜组(4)的光射出方向固定有光刻遮罩;所述光刻遮罩(3);所述光刻遮罩(3)下方设置有待处理晶片(1);待处理晶片(1)之上粘贴有光刻胶(2);所述光刻胶(2)有多个,相邻的光刻胶(2)之间为第一空档(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:吕耀安,
申请(专利权)人:无锡宏纳科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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