【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种刻蚀机。
技术介绍
现有的刻蚀机，都是只有一条气路，效率低下，且时间长了之后，会沾染灰层，影响刻蚀效果。
技术实现思路
本技术的目的在于：提供一种效率高，且能清洗气路方便的刻蚀机。本技术是通过以下技术方案实现的： 一种刻蚀机，包括机体及真空室，所述机体内有六条气管连通至真空室，其中两条气管连通至高压气泵，另外四条气管连通至真空泵；所述气管上均设有电磁阀，连通至真空泵的四条气管上还设有电磁流量计。进一步的，所述气管为合金气管。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术的刻蚀机，采用六路气管，两路气管连通高压气泵，起到清洗气路的作用，另外四路用来抽真空，效率高。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图，对本技术作详细的说明。为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1所示， 1、一种刻蚀机，包括机体1及真空室2，所述机体1内有六条气管3连通至真空室2，其中两条气管3连通至高压气泵4，另外四条气管3连通至真空泵5；所述气管3上均设有电磁阀6，连通至真空泵5的四条气管3上还设有电磁流量计7。所述气管3为合金气管。
【技术保护点】
一种刻蚀机，包括机体（1）及真空室（2），其特征在于：所述机体（1）内有六条气管（3）连通至真空室（2），其中两条气管（3）连通至高压气泵（4），另外四条气管（3）连通至真空泵（5）；所述气管（3）上均设有电磁阀（6），连通至真空泵（5）的四条气管（3）上还设有电磁流量计（7）。
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机，包括机体（1）及真空室（2），其特征在于：所述机体（1）内有六条气管（3）连通至真空室（2），其中两条气管（3）连通至高压气泵（4），另外四条气管（3）连通至真空...
【专利技术属性】
技术研发人员：王君辉，
申请(专利权)人：江苏锦润光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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