一种多晶硅还原炉用电极的测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，本实用新型专利技术的主要技术方案为：一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。采用本实用新型专利技术可降低电极测试成本，降低操作难度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种多晶硅还原炉用电极的测试装置。
技术介绍
多晶硅是生产单晶硅的直接材料，高纯度多晶硅是光电转换电池、集成电路等半导体器件的基础材料。随着世界半导体工业的迅猛发展、超大规格集成电路的大量应用、光伏电池的大量需求，整个世界对多晶硅的需求量在大幅增加。多晶硅还原炉是生产多晶硅的主要设备，而电极是多晶硅还原炉的主要器件。目前，多晶硅还原炉电极在投入使用前，对电极的测试是通过生产用的还原炉进行测试。生产用的还原炉安装的电极数量较多，如果电极的四氟套出现问题，则需要整炉停止测试，更换四氟套；但是，还原炉体积巨大，需要动用大型行车吊装，操作难度较大，影响测试效率，且对电极气密性检测是通过生产用的压缩氮气，成本较高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，主要目的在于降低电极测试成本，降低操作难度。为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：本技术的实施例提供一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。进一步地，还包括：空气压缩机，设置在所述支架上；所述空气压缩机与所述进气口连通，用于提供压缩空气。进一步地，所述进气口设置在所述炉腔的顶部。进一步地，所述炉腔与所述炉盘的连接部位设置有密封垫。进一步地，所述四氟套与所述通孔过渡配合；所述电极与所述四氟套过渡配合。进一步地，所述炉腔与所述炉盘通过螺栓连接。进一步地，所述空气压缩机提供的空气压强为7-9kgf/cm2。进一步地，所述耐压测试装置提供的电压为18-22KV。借由上述技术方案，本技术多晶硅还原炉用电极的测试装置至少具有下列优点：其结构简单，操作便捷；本技术提供的多晶硅还原炉用电极的测试装置，降低了电极的测试成本，降低了操作难度，进而提高了生产效率。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。附图说明图1为本技术实施例提供的一种多晶硅还原炉用电极的测试装置的示意 图。图中所示：1为支架，2为炉腔，2-1为进气口，3为电极，4为四氟套，5为螺栓，6为炉盘，7为耐压测试装置。具体实施方式为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。如图1所示，本技术的一个实施例提出的一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，包括:支架1、炉盘6、四氟套4、炉腔2和耐压测试装置7。支架1为框架结构，为成型钢材焊接而成。成型钢材优选304不锈钢材质。炉盘6设置在支架1上；与支架1固定连接，优选将炉盘6焊接在支架1上，连接可靠；炉盘6上至少具有一个通孔，用于安装套装有四氟套4的电极3，电极3被通孔支撑。四氟套4设置在通孔中，被通孔支撑；四氟套4与通孔过渡配合安装，以使四氟套4与通孔密封设置。当然四氟套4与通孔之间可以设置密封圈，以增加其密封性。电极3插装在四氟套4中，被四氟套4支撑，四氟套4使电极3与炉盘6隔离；电极3与四氟套4之间为密封配合；电极3与四氟套4之间可以为过渡配合。当然也不排除电极3与四氟套4之间设置有密封圈，以使其形成密封配合。炉腔2具有进气口2-1；进气口2-1通过管道与空气压缩机连接，以接收被压缩的空气；炉腔2能够拆卸地设置在炉盘6上，本实施例优选炉腔2与炉盘6通 过螺栓5连接，连接可靠，拆卸方便。当然也不排除与炉腔2与炉盘6通过螺纹连接，在炉腔2上设置有内螺纹，在炉盘6上设置有外螺纹，通过内外螺纹配合，将炉腔2与炉盘6锁紧；当然也可以相反设置。炉腔2与炉盘6形成容腔，用于容纳电极3和四氟套4，将电极3和四氟套4置于密封空间，以进行密封性测试。耐压测试装置7与电极3连接，用于给电极3提供高电压，对四氟套4的绝缘性进行测试。作为上述实施例的优选，还包括：空气压缩机，图中未示出。空气压缩机设置在支架上；空气压缩机与进气口2-1连通，用于提供压缩空气。作为上述实施例的优选，进气口2-1设置在炉腔2的顶部，以方便操作。作为上述实施例的优选，炉腔2与炉盘6的连接部位设置有密封垫，以增加其密封性。作为上述实施例的优选，四氟套4与通孔过渡配合，以使四氟套4与通孔之间密封；电极3与四氟套4过渡配合，以使电极3与四氟套4之间密封。作为上述实施例的优选，空气压缩机提供的空气压强为7-9kgf/cm2。作为上述实施例的优选，耐压测试装置7提供的电压为18-22KV。四氟套4为聚四氟乙烯材料的套筒。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，其特征在于，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，其特征在于，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉用电极的测试装置，其特征在于，还包括：空气压缩机，设置在所述支架上；所述空气压缩机与所述进气口连通，用于提供压缩空气。3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉用电极的测试装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮江海，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆;65