溅射靶盘透磁率检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种溅射靶盘透磁率检测装置。所述溅射靶盘透磁率检测装置检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接，所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器及检测结果分析控制器，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接。本实用新型专利技术的溅射靶盘透磁率检测装置采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率，有效降低人工劳动强度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及溅射靶盘测试
，特别涉及一种溅射靶盘透磁率检测装置。
技术介绍
目前测量溅射靶盘透磁率是采用在圆形靶盘下方固定一块标准的U型磁铁，将靶盘固定在距离磁铁NS极面上方一定距离位置上，通过霍尔传感器测试靶盘上方透过的磁场数据对靶盘进行检测；通常采用人工检测纪录的方法进行，通过手动控制圆形靶盘逐点通过标准磁铁上方进行检验和纪录，存在检测效率低、劳动强度大及标定缺陷位置不准确的实际问题。检验一个靶盘耗时长，给靶盘的生产带来了极大的人力成本消耗，生产效率难以提高。现有检测数据获取过程中，一般为人眼观察检测数据状况，无法对检测结果进行分析，无法直观了解检测结果。另外，现有检测为一个靶盘检测一次，不能多个靶盘一次检测，检测效率低
技术实现思路
为了解决现有溅射靶盘透磁率检测耗时耗力，检测结果为检测数据而无检测结果分析、检测效率低的技术问题，本技术提供一种省时省力，检测结果具有检测结果分析、检测效率高的溅射靶盘透磁率检测装置。本技术提供的溅射靶盘透磁率检测装置包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘 装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接；所述检测盘装置包括旋转主盘、旋转辅助盘、移动步进蜗杆平台、蜗杆、步进电机及水平磁条移动手轮，所述旋转辅助盘设于所述旋转主盘；所述旋转辅盘包括设于其中的限位轴承、助力平面轴承、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽；所述蜗杆及所述步进电机均设于所述移动步进蜗杆平台，所述蜗杆一端与所述步进电机连接，所述蜗杆另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮与所述平移磁条连接；所述检测装置包括磁钢、霍尔探头及探头支架座，所述磁钢设于所述旋转辅助盘，所述霍尔探头设于所述旋转主盘相对上方，并与所述探头支架座连接；所述检测结果获取装置包括水平数字显示表及游标卡尺，所述霍尔探头与所述水平数字显示表连接，所述游标卡尺与所述旋转主盘连接；所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器、检测结果分析控制器及控制面板，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接，所述探头控制器、所述检测结果控制器、所述移动控制器、所述游标卡尺控制器、所述检测结果分析控制器均与所述控制面板连接。在本技术提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述旋转主盘包括支撑轴及定位块，所述支撑轴设于旋转主盘表面，相邻所述支撑轴之间的夹角为120度，所述支撑轴设有卡槽，所述定位块设于所述支撑轴的所述卡槽。在本技术提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述旋转主盘与所述旋转辅助盘为无轴同心盘结构。在本技术提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述定位块上设有斜齿。在本技术提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述旋转主盘数量为多个，多个所述旋转主盘均设于所述旋转辅盘，所述霍尔探头可移动位置与多个所述旋转主盘连接。相对于现有技术，本技术的溅射靶盘透磁率检测装置具有如下的有益效果：采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率，有效降低人工劳动强度，省时省力，且通过所述检测结果分析控制器的设置，能对检测结果具有检测结果分析、检测效率高。采用将旋转主盘与旋转辅盘整体固定，再通过所述移动控制器控制所述步进电机，带动所述旋转主盘移动，再通过所述探头控制器控制所述霍尔探头，完成对溅射靶盘透磁率的检测，在实现高精度测量的同时，提高自动化程度，有效降低人工劳动强度；采用多个所述旋转主盘的设置，可一次对多个靶盘进行检测，更进一步提高了工作效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1是本技术提供的溅射靶盘透磁率检测装置一较佳实施例的结构示意图；图2是图1所示的溅射靶盘透磁率检测装置的控制器一较佳实施例的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请一并参阅图1及图2，其中图1是本技术提供的溅射靶盘透磁率检测装置一较佳实施例的结构示意图，图2是图1所示的溅射靶盘透磁率检测装置的控制器一较佳实施例的结构示意图。所述溅射靶盘透磁率检测装置包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接；所述检测盘装置包括旋转主盘1、旋转辅助盘2、移动步进蜗杆平台4、蜗杆5、步进电机10及水平磁条移动手轮13，所述旋转辅助盘2设于所述旋转主盘1。所述旋转主盘1与所述旋转辅助盘2为无轴同心盘结构。所述旋转主盘包括支撑轴及定位块，所述支撑轴设于旋转主盘表面，相邻所述支撑轴之间的夹角为120度，所述支撑轴设有卡槽，所述定位块设于所述支撑轴的所述卡槽，所述定位块上设有斜齿。所述旋转辅盘2包括设于其中的限位轴承17、助力平面轴承16、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽。所述蜗杆5及所述步进电机10均设于所述移动步进蜗杆平台4，所述蜗杆5一端与所述步进电机10连接，所述蜗杆5另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮13与所述平移磁条连接。所述检测装置包括磁钢15、霍尔探头3及探头支架座11，所述 磁钢15设于所述旋转辅助盘2，所述霍尔探头3设于所述旋转主盘1相对上方，并与所述探头支架座11连接。所述检测结果获取装置包括水平数字显示表7及游标卡尺6，所述霍尔探头3与所述水平数字显示表7连接，所述游标卡尺6与所述旋转主盘1连接。所述控制器8包括探头控制器81、检测结果控制器82、移动控制器83、游标卡尺控制器84、检测结果分析控制器85及控制面板86。所述霍尔探头3与所述探头控制器81连接，所述水平数字显示表7与所述检测结果控制器82连接、所述步进电机10与所述移动控制器83连接，所述游标卡尺6与游标卡尺控制器84连接，所述检测结果分析控制器85与所述检测结果控制器82连接，所述探头控制器81、所述检测结果控制器82、所述移动控制器83、所述游标卡尺控制器84、所述检测结果分析控制器85均与所述控制面板86连接。作为本实施例的进一步改进，所述旋转主盘1数量为多个，多个所述旋转主盘1均设于所述旋转辅盘2，所述霍尔探头3可移动位置与多个所述旋转主盘1连接。本技术的溅射靶盘透磁率检测装置1具有如下的有益效果：采用自本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接；所述检测盘装置包括旋转主盘、旋转辅助盘、移动步进蜗杆平台、蜗杆、步进电机及水平磁条移动手轮，所述旋转辅助盘设于所述旋转主盘；所述旋转辅盘包括设于其中的限位轴承、助力平面轴承、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽；所述蜗杆及所述步进电机均设于所述移动步进蜗杆平台，所述蜗杆一端与所述步进电机连接，所述蜗杆另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮与所述平移磁条连接；所述检测装置包括磁钢、霍尔探头及探头支架座，所述磁钢设于所述旋转辅助盘，所述霍尔探头设于所述旋转主盘相对上方，并与所述探头支架座连接；所述检测结果获取装置包括水平数字显示表及游标卡尺，所述霍尔探头与所述水平数字显示表连接，所述游标卡尺与所述旋转主盘连接；所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器、检测结果分析控制器及控制面板，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接，所述探头控制器、所述检测结果控制器、所述移动控制器、所述游标卡尺控制器、所述检测结果分析控制器均与所述控制面板连接。...

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接；所述检测盘装置包括旋转主盘、旋转辅助盘、移动步进蜗杆平台、蜗杆、步进电机及水平磁条移动手轮，所述旋转辅助盘设于所述旋转主盘；所述旋转辅盘包括设于其中的限位轴承、助力平面轴承、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽；所述蜗杆及所述步进电机均设于所述移动步进蜗杆平台，所述蜗杆一端与所述步进电机连接，所述蜗杆另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮与所述平移磁条连接；所述检测装置包括磁钢、霍尔探头及探头支架座，所述磁钢设于所述旋转辅助盘，所述霍尔探头设于所述旋转主盘相对上方，并与所述探头支架座连接；所述检测结果获取装置包括水平数字显示表及游标卡尺，所述霍尔探头与所述水平数字显示表连接，所述游标卡尺与所述旋转主盘连接；所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱逸豪，
申请(专利权)人：朱逸豪，
类型：新型
国别省市：湖南;43