本实用新型专利技术公开了一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置，包括与氢氟酸废水来水连接的氢氟酸废水收集池和氢氟酸废水处理系统；氢氟酸废水收集池依次连接的废水泵、预处理水池和原水箱；原水箱的出水分两路：一路依次经低压泵、多介质过滤器、保安过滤器和一级高压泵，连接至一级反渗透系统的原水进口，另一路依次经反洗泵连接至多介质过滤器的反洗进口，多介质过滤器的反洗出口连接至氢氟酸废水处理系统；使用本实用新型专利技术不仅能够将氢氟酸废水回用约60％，而且处理后的水质优于自来水的水质，可直接回用于纯水制备系统或直接回用给工艺水系统，使回用的废水在厂区中循环使用，降低废水排放总量，节约用水成本。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种废水处理系统，尤其涉及一种氢氟酸废水回用系统。
技术介绍
光伏、半导体行业近年来飞速发展，是一个朝阳行业，然而这也是一个高耗能、高污染、用水量极大的行业，以100MW多晶硅生产线为例，每天用水量在1500吨左右，在所产生的废水中含氢氟废水占废水总量的70％左右，含氢氟废水是刻蚀工序中产生的，一般PH在2左右，氟离子含量一般在50-800ppm之间，电导在2000-4000us/cm之间。目前，用于光伏、半导体行业的废水处理系统中对含氟废水的典型处理方法为沉淀法，其基本原理为：Ca2++2F＝CaF2↓如上式，在处理过程中需要向废水中投加CaCl2或其他钙盐，使Ca2+与水中的F反应生成CaF2沉淀，从而使F-从水中去除。该工艺最终能够将排放水中的氟离子的含量控制在6～10mg/L，以保证达标排放，然而由于源废水本身成分较为单一，但该沉淀法工艺过程中人为引入了大量钙、镁离子等，这不仅大大降低了废水进一步回用出水的品质，降低了废水回用的级别，更为该废水回用增大了难度和风险。光伏、半导体行业产生的稀氢氟废水，具有pH值低、腐蚀性强、电导高的特点，这无疑增加了处理的难度，但稀氢氟废水具有浊度低、硬度低、废水中成分相对单一的特性，因此，需要开发一种针对光伏、半导体行业废水回用的新工艺。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术提供一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理工艺，将含氟废水经过本技术工艺后处理后，水质能够满足光伏、半导体行业回用，可直接回用于光伏、半导体行业工艺水系统，回用率高，可达60％，降低了废水排放总量，节约用水成本。而且在处理过程中不会产生废气，无二次污染。为了解决上述技术问题，本技术提出的一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置，包括与氢氟酸废水来水连接的氢氟酸废水收集池和氢氟酸废水处理系统；所述氢氟酸废水收集池依次连接的废水泵、预处理水池和原水箱；所述原水箱的出水分两路：一路依次经低压泵、多介质过滤器、保安过滤器和一级高压泵，连接至一级反渗透系统的原水进口，另一路依次经反洗泵连接至所述多介质过滤器的反洗进口，所述多介质过滤器的反洗出口连接至所述氢氟酸废水处理系统；所述一级反渗透系统包括两段反渗透单元，所述一级反渗透系统的产水口连接到一级pH调节池，所述一级反渗透系统的浓水口连接到
氢氟酸废水处理系统；所述一级pH调节池的出液口依次连接到二级pH调节池、二级高压泵后连接到二级反渗透系统的原水进口；所述二级反渗透系统为两段反渗透结构，所述二级反渗透系统的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统，所述二级反渗透系统的产水口连接到产水箱，所述产水箱的出口通过回用水泵后分别连接到回水管道和氢氟酸废水收集池；所述预处理水池、所述一级pH调节池、所述二级pH调节池均分别连接有氢氧化钠自动加药装置，每套氢氧化钠自动加药装置配套有搅拌器和pH在线检测仪；所述保安过滤器的进口管道上连接有阻垢剂自动加药装置；各氢氧化钠自动加药装置、阻垢剂自动加药装置、多介质过滤器均与一PLC控制装置相连；所述氢氟酸废水收集池、预处理水池、原水箱、一级pH调节池、二级pH调节池和产水箱均分别设有与所述PLC控制装置连接的液位传感器；所述一级反渗透系统、二级反渗透系统和回水管道上均各自配套有与所述PLC控制装置连接的水质监视仪表。与现有技术相比，本技术的有益效果是：使用本技术回用装置可以将氢氟酸废水来水通过调节pH，再经过耐腐蚀的多介质过滤器过滤及两级反渗透工艺处理，且在两级反渗透系统之间连续进行两次Ph值的调整，逐步将pH由3左右调制至4～6后在达到8～9，最终不仅能够将约60％的氢氟酸废水回用，而且pH值可以稳定在7-8，氟离子含量稳定在5ppm以下，电导稳定在20us/cm以下，直接回用给用户的工艺水系统，使回用处理后的废水在厂区中循环使用的。另一方面，经过反渗透工艺浓缩后的氢氟酸废水进入厂区中原有的氢氟酸废水处理系统，由于进入到氢氟酸废水处理系统的废水浓度增减，从而可以减少氢氟酸废水处理系统中所需处理药品的投加量，节省了成本，减少了设备投资，操作更加简单。附图说明图1是笨技术氢氟酸废水回用装置的结构图。图中：1-氢氟酸废水收集池，2-废水泵，3-预处理水池，4、14、16-氢氧化钠自动加药装置，5-原水箱，6-低压泵，7-多介质过滤器，8-反洗泵，9-阻垢剂自动加药装置，10-保安过滤器，11-一级高压泵，12-一级反渗透系统，13-一级pH调节池，15-二级pH调节池，17-二级高压泵，18-二级反渗透，19-产水箱，20-回用水泵。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术技术方案作进一步详细描述，所描述的具体实施例仅对本技术进行解释说明，并不用以限制本技术。本技术的设计思路是；由于光伏、半导体行业产生的氢氟酸废水具有pH值低、腐蚀性强、电导高的特点，因此，在整个回用处理过程中，经过pH预调节、过滤去除悬浮物、一级反渗透在低pH值下对氟离子的去除率较低，然而对于水中所存在的氟硅酸盐去除率非
常高，经过一级反渗透能够有效去除水中的氟硅酸盐以和部分氟离子，经过两级调整将废水的pH值提高并稳定在8～9，然后经过二级反渗透系统进一步脱氟除盐，使最终的产水的pH稳定在7左右，氟离子含量稳定在5ppm以下，电导稳定在20us/cm以下，其水质优于自来水，不但可直接回用于光伏、半导体行业的工艺水，而且还可以回用于纯水制备系统，从而使光伏、半导体行业厂区内的水循环使用，降低废水排放总量，节约用水成本。如图1所示，本技术一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置，包括与氢氟酸废水来水连接的氢氟酸废水收集池1和氢氟酸废水处理系统，通常光伏、半导体行业企业均有该氢氟酸废水处理系统。所述氢氟酸废水收集池1依次连接的废水泵2、预处理水池3和原水箱5；所述原水箱5的出水分两路：一路依次经低压泵6、多介质过滤器7、保安过滤器10和一级高压泵11，连接至一级反渗透系统12的原水进口，另一路依次经反洗泵8连接至所述多介质过滤器7的反洗进口，所述多介质过滤器7的反洗出口连接至所述氢氟酸废水处理系统。所述一级反渗透系统12包括两段反渗透单元，所述一级反渗透系统12的产水口连接到一级pH调节池13，所述一级反渗透系统12的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统；其特征在于：所述一级pH调节池13的出液口依次连接到二级pH调节池15、二级高压泵17后连接到二级反渗透系统18的原水进口；所述二级反渗透系统18为两段反渗透结构，所述二级反渗透系统18的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统，所述二级反渗透系统18的产水口连接到产水箱19，所述产水箱19的出口通过回用水泵20后分别连接到回水管道和氢氟酸废水收集池1。所述预处理水池3、所述一级pH调节池13、所述二级pH调节池15均分别连接有氢氧化钠自动加药装置，每套氢氧化钠自动加药装置配套有搅拌器和pH在线检测仪；所述保安过滤器10的进口管道上连接有阻垢剂自动加药装置9；各氢氧化钠自动加药装置、阻垢剂自动加药装置9、多介质过滤器7均与一PLC控制装置相连；所述氢氟酸废水收集池1、预处理水池3、原水箱5、一级pH调节本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置，包括与氢氟酸废水来水连接的氢氟酸废水收集池(1)和氢氟酸废水处理系统；所述氢氟酸废水收集池(1)依次连接的废水泵(2)、预处理水池(3)和原水箱(5)；所述原水箱(5)的出水分两路：一路依次经低压泵(6)、多介质过滤器(7)、保安过滤器(10)和一级高压泵(11)，连接至一级反渗透系统(12)的原水进口，另一路依次经反洗泵(8)连接至所述多介质过滤器(7)的反洗进口，所述多介质过滤器(7)的反洗出口连接至所述氢氟酸废水处理系统；所述一级反渗透系统(12)包括两段反渗透单元，所述一级反渗透系统(12)的产水口连接到一级pH调节池(13)，所述一级反渗透系统(12)的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统；其特征在于：所述一级pH调节池(13)的出液口依次连接到二级pH调节池(15)、二级高压泵(17)后连接到二级反渗透系统(18)的原水进口；所述二级反渗透系统(18)为两段反渗透结构，所述二级反渗透系统(18)的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统，所述二级反渗透系统(18)的产水口连接到产水箱(19)，所述产水箱(19)的出口通过回用水泵(20)后分别连接到回水管道和氢氟酸废水收集池(1)；所述预处理水池(3)、所述一级pH调节池(13)、所述二级pH调节池(15)均分别连接有氢氧化钠自动加药装置，每套氢氧化钠自动加药装置配套有搅拌器和pH在线检测仪；所述保安过滤器(10)的进口管道上连接有阻垢剂自动加药装置(9)；各氢氧化钠自动加药装置、阻垢剂自动加药装置(9)、多介质过滤器(7)均与一PLC控制装置相连；所述氢氟酸废水收集池(1)、预处理水池(3)、原水箱(5)、一级pH调节池(13)、二级pH调节池(15)和产水箱(19)均分别设有与所述PLC控制装置连接的液位传感器；所述一级反渗透系统(12)、二级反渗透系统(18)和回水管道上均各自配套有与所述PLC控制装置连接的水质监视仪表。...
【技术特征摘要】
1.一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置，包括与氢氟酸废水来水连接的氢氟酸废水收集池(1)和氢氟酸废水处理系统；所述氢氟酸废水收集池(1)依次连接的废水泵(2)、预处理水池(3)和原水箱(5)；所述原水箱(5)的出水分两路：一路依次经低压泵(6)、多介质过滤器(7)、保安过滤器(10)和一级高压泵(11)，连接至一级反渗透系统(12)的原水进口，另一路依次经反洗泵(8)连接至所述多介质过滤器(7)的反洗进口，所述多介质过滤器(7)的反洗出口连接至所述氢氟酸废水处理系统；所述一级反渗透系统(12)包括两段反渗透单元，所述一级反渗透系统(12)的产水口连接到一级pH调节池(13)，所述一级反渗透系统(12)的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统；其特征在于：所述一级pH调节池(13)的出液口依次连接到二级pH调节池(15)、二级高压泵(17)后连接到二级反渗透系统(18)的原水进口；所述二级反渗透系统(18)为两段...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩骥东，王会民，陈启伟，田利梅，
申请(专利权)人：天津特立环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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