图案检查装置及图案检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置包括孔部信息获取部，获取表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，确定与形成有目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以目视焊盘为起点而延伸的线方向；判别点获取部，将检查图像中，作为目视孔部区域的边缘、且包含于配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自目视孔部区域的中心向线方向延伸的线与目视孔部区域的边缘相交的位置的、对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，检测目视孔部所致的颈部缺陷。藉此，可容易地检测印刷基板的颈部缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种印刷基板的图案检查装置及图案检查方法。
技术介绍
一直以来，关于对形成于印刷基板上的配线图案及孔部(例如通路孔(via)或通孔(through hole))进行的检查，提出有各种技术。例如，在日本专利特开2010-175483号公报(文献1)中，将检查区域的图像二值化，对垫(pad)以外的区域执行标记(labeling)处理，根据标记区域的个数而判定通孔的位置偏离的有无。在日本专利特开平9-203620号公报(文献2)中，包含焊盘大小的区域的图像数据中，使用边缘抽取滤波器，按照预先规定的方向成分而将配线图案的边缘以边缘图像数据的形式分解抽取。继而，一边进行模糊处理(blurring processing)及细化处理(thinning processing)，一边利用分层式积和型滤波器整合多个边缘图像数据，通过将显示出与相当于线中断的形状近似的程度的输出值算出，从而判定颈部破损的有无。另外，在日本专利特开平4-355352号公报(文献3)中，配线图案的二值化图像被分为对应于焊盘的焊盘图像(land image)及对应于线的线图像(line image)。另外，还获取孔(hole)的二值化图像即孔图像(hole image)，基于对孔图像进行放大处理所得的放大孔图像与线图像的重叠部分的大小，而判定颈部破损的有无。在日本专利特开平4-184244号公报(文献4)中，基于表示印刷基板的图像数据而求出表示配线图案的图案图像(pattern image)、与表示通孔的孔图像，对图案图像实施细线化处理而求出细线化图案图像。并且，根据包含孔图像的窗口内的细线化图案图像的端点的个数，检测配线图案的颈部破损。然而，在文献1至文献4中，基于亮度值对表示焊盘附近的图像的整体的像素进行处理(标记处理或膨胀处理)，因而运算量大。实际上，如现场可编程门阵列(field-programmable gate array，FPGA)这样需要能够进行并行运算的高价电路，而导致对印刷基板进行检查所需的成本增加。另外，配线图案中，要求不仅检测由于孔部而焊盘与线完全分离的颈部破损，而且还检测由于孔部而焊盘与线部分地分离的缺陷(以下将此种缺陷及颈部破损统称为“颈部缺陷”)。
技术实现思路
本专利技术指向印刷基板的图案检查装置，目的在于容易地检测颈部缺陷。本专利技术的图案检查装置包括：孔部信息获取部，获取对形成有包含焊盘与线的配线图案以及孔部的印刷基板进行拍摄所得的检查图像中，表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，基于表示所述配线图案的参照图案数据、或所述检查图像，确定与形成有所述目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以所述目视焊盘为起点而延伸的方向、即线方向；判别点获取部，将所述检查图像中，作为所述目视孔部区域的边缘、且包含于表示所述配线图案的配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自所述目视孔部区域的所
述中心向所述线方向延伸的线与所述目视孔部区域的所述边缘相交的位置的、所述对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，当所述判别点位于表示所述目视焊盘的目视焊盘区域外时、或位于表示所述目视线的目视线区域内时，检测所述目视孔部所致的颈部缺陷。根据本专利技术，可容易地检测颈部缺陷。本专利技术的优选实施方式之一为：所述孔部信息获取部通过在所述检查图像中，以所述目视孔部区域的所述中心为基准并以一定的角度间隔来设定多个角度方向，而求出分别为一个角度方向上的所述对象边缘上的点的多个候选点，所述判别点获取部获取所述多个候选点中的一个候选点而作为所述判别点。此时，更优选为：图案检查装置还包括存储部，存储参照数据，所述参照数据包含所述参照图案数据、与表示所述孔部的中心的坐标的参照孔部数据；所述线方向确定部通过在所述参照图案数据所示的所述配线图案中，以所述参照孔部数据所示的所述目视孔部的中心为所述目视焊盘的中心，获取自所述目视焊盘的所述中心至所述多个角度方向的各方向上的所述配线图案的边缘为止的距离，而确定所述线方向及所述目视焊盘区域的半径。进而，也可为：所述颈部缺陷检测部通过以所述参照孔部数据所示的所述目视孔部的所述中心为所述目视焊盘区域的中心，来比较所述目视焊盘区域的所述中心与所述判别点之间的距离、及所述目视焊盘区域的所述半径，从而检测所述颈部缺陷。在求出所述多个候选点的图案检查装置中，也可为：将由于不存在所述对象边缘而未求出候选点的角度方向设为无候选方向，当在圆周方向上存在连续的规定数以上的无候选方向的集合即无候选方向群时，所述孔部信息获取部检测所述目视孔部所致的基部缺陷。更优选为：图案检查装置还包括颈部破损检测部，当已检测出所述颈部缺陷的所述目视孔部的所述判别点介于在圆周方向上不连续的两个无候选方向群、且所述两个无候选方向群的代表方向所成的角度为规定角度以下时，检测所述目视孔部所致的颈部破损。在本专利技术的其他优选实施方式中，当所述检查图像中，自所述目视焊盘区域的中心朝向所述目视孔部区域的所述中心的方向与所述线方向所成的角度为规定角度以上时，所述判别点获取部不对所述目视孔部进行所述判别点的获取。本专利技术还指向印刷基板的图案检查方法。本专利技术的图案检查方法包括：a步骤：获取对形成有包含焊盘与线的配线图案以及孔部的印刷基板进行拍摄所得的检查图像中，表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；b步骤：基于表示所述配线图案的参照图案数据、或所述检查图像，确定与形成有所述目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以所述目视焊盘为起点而延伸的方向、即线方向；c步骤：将所述检查图像中，作为所述目视孔部区域的边缘、且包含于表示所述配线图案的配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自所述目视孔部区域的所述中心向所述线方向延伸的线与所述目视孔部区域的所述边缘相交的位置的、所述对象边缘上的点而作为判别点；及d步骤：当所述判别点位于表示所述目视焊盘的目视焊盘区域外时、或位于表示所述目视线的目视线区域内时，检测所述目视孔部所致的颈部缺陷。根据参照附图并在下文中对本专利技术做出的详细说明，而可明确所述目的及其他目的、特征、形态及优点。附图说明图1是表示图案检查装置的构成的图。图2是表示计算机(computer)的构成的图。图3是表示图案检查装置的功能构成的方块图。图4是表示参照图像的图。图5是表示检查图像的图。图6是表示检查图像的图。图7是表示检查图像的图。图8是表示检查图像的图。图9A是表示图案检查装置对印刷基板进行检查处理的流程的图。图9B是表示图案检查装置对印刷基板进行检查处理的流程的图。图10是表示检查图像的图。图11是表示检查图像的图。图12是表示检查图像的图。图13是表示检查图像的图。图14A是表示参照图像的图。图14B是表示参照图像的图。图14C是表示参照图像的图。图15A是表示检查图像的图。图15B是表示检查图像的图。图16A是表示检查图像的图。图16B是表示检查图像的图。图16C是表示检查图像的图。图16D是表示检查图像的图。图17A是表示检查图像的图。图17B是表示检查图像的图。图17C是表示检查图像的图。图17D是表示检查图像的图。图18A是表示检查图像的图。图18B是表示检查图像的图。图18C是表示检查图像的图。图19是表示检查图像的图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案检查装置，其为印刷基板的图案检查装置，其特征在于包括：孔部信息获取部，获取对形成有包含焊盘与线的配线图案以及孔部的印刷基板进行拍摄所得的检查图像中，表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，基于表示所述配线图案的参照图案数据、或所述检查图像，确定与形成有所述目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以所述目视焊盘为起点而延伸的方向、即线方向；判别点获取部，将所述检查图像中，作为所述目视孔部区域的边缘、且包含于表示所述配线图案的配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自所述目视孔部区域的所述中心向所述线方向延伸的线与所述目视孔部区域的所述边缘相交的位置的、所述对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，当所述判别点位于表示所述目视焊盘的目视焊盘区域外时、或位于表示所述目视线的目视线区域内时，检测所述目视孔部所致的颈部缺陷。

【技术特征摘要】
2015.02.23 JP 2015-0332181.一种图案检查装置，其为印刷基板的图案检查装置，其特征在于包括：孔部信息获取部，获取对形成有包含焊盘与线的配线图案以及孔部的印刷基板进行拍摄所得的检查图像中，表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，基于表示所述配线图案的参照图案数据、或所述检查图像，确定与形成有所述目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以所述目视焊盘为起点而延伸的方向、即线方向；判别点获取部，将所述检查图像中，作为所述目视孔部区域的边缘、且包含于表示所述配线图案的配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自所述目视孔部区域的所述中心向所述线方向延伸的线与所述目视孔部区域的所述边缘相交的位置的、所述对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，当所述判别点位于表示所述目视焊盘的目视焊盘区域外时、或位于表示所述目视线的目视线区域内时，检测所述目视孔部所致的颈部缺陷。2.根据权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，所述孔部信息获取部通过在所述检查图像中，以所述目视孔部区域的所述中心为基准并以一定的角度间隔来设定多个角度方向，而求出分别为一个角度方向上的所述对象边缘上的点的多个候选点，所述判别点获取部获取所述多个候选点中的一个候选点而作为所述判别点。3.根据权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，还包括存储部，存储参照数据，所述参照数据包含所述参照图案数据、与表示所述孔部的中心的坐标的参照孔部数据；所述线方向确定部通过在所述参照图案数据所示的所述配线图案中，以所述参照孔部数据所示的所述目视孔部的中心为所述目视焊盘的中心，获取自所述目视焊盘的所述中心至所述多个角度方向的各方向上的所述配线图案的边缘为止的距离，而确定所述线方向及所述目视焊盘区域的半径。4.根据权利要求3所述的图案检查装置，其特征在于，所述颈部缺陷检测部通过以所述参照孔部数据所示的所述目视孔部的所述中心为所述目视焊盘区域的中心，来比较所述目视焊盘区域的所述中心与所述判别点之间的距离、及所述目视焊盘区域的所述半径，从而检测所述颈部缺陷。5.根据权利要求2至4中任一项所述的图案检查装置，其特征在于，将由于不存在所述对象边缘而未求出候选点的角度方向设为无候选方向，当在圆周方向上存在连续的规定数以上的无候选方向的集合即无候选方向群时，所述孔部信息获取部检测所述目视孔部所致的基部缺陷。6.根据权利要求5所述的图案检查装置，其特征在于，还包括颈部破损检测部，当已检测出所述颈部缺陷的所述目视孔部的所述判别点介于在圆周方向上不连续的两个无候选方向群、且所述两个无候选方向群的代表方向所成的角度为规定角度以下时，检测所述目视孔部所致的颈部破损。7.根据权利要求1至4中任一项所述的图案检查装置，其特征在于，当所述检查图像中，自所述目视焊盘区域的中心朝向所述目视孔部区域的所述中心的方
\t向与所述线方向所成的角度为规定角度以...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上学，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP