确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置制造方法及图纸

本公开涉及一种确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置。一种确定用于检测的光照强度的方法包括：获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像；对于每个成像元件，计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准差；根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。采用根据本公开提供的方法确定的光照强度对待检测对象进行检测，能够提高检测的准确度。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施例涉及自动光学检测领域，尤其涉及一种确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置。
技术介绍
自动光学检测(AOI,Automated Optical Inspection)为工业自动化有效的检测方法，使用机器视觉作为检测标准技术，大量应用于LCD/TFT、晶体管与PCB工业制程上，在民生用途方面则可延伸至保全系统。自动光学检测是工业制程中常见的代表性手法，利用光学方式取得检测对象的表面状态，以影像处理来检出异物或图案异常等瑕疵。因为是非接触式检查，所以可在中间工程检查半成品。当自动检测时，机器通过摄像头自动扫描检测对象，采集图像，测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出检测对象上的缺陷，并通过显示器或自动标志把缺陷显示/标示出来，供维修人员修整。在进行自动光学检测时，所使用的光照强度的大小对检测的准确性具有较大的影响。通常情况下，人们首先通过对待检测样品在不同的光照强度下进行检测，根据检测出的缺陷数量来判断光照强度是否是最佳光照强度，检测出的缺陷数量越多，认为在该光照强度下进行检测的结果越准确，然后可以使用该光照强度对待检测对象进行批量检测。图1a和图1b分别示出了缺陷数量与反射照明时的光照强度和透射照明时的光照强度的关系曲线。如图1a和图1b所示，无论是反射照明还是透射照明，光照强度越强，检测出的缺陷数量越多，因此理论上采用较强的照明可以提高检测准确度。但是，实际上，当光照强度较强时，图像细
节容易丢失，检测出的缺陷中可能包含误检的成分。图2a和图2b分别示出通过反射照明使用较强光照强度和较弱光照强度对待检测样品拍摄的图像，图3a和图3b分别示出通过透射照明使用较强光照强度和较弱光照强度对待检测样品拍摄的图像。从图2a、2b、3a和3b可知，无论是反射照明还是透射照明，当光照强度较大时，图像细节丢失严重，因此会造成误检。另一方面，虽然光照强度较弱时，图像细节比较明显，但是从图1a和图1b可知光照强度较弱时，没有峰值出现，因此无法确定较佳的光照强度。由此可见，需要一种能够确定用于检测的光照强度方法，以能够尽量多地检测出缺陷，同时又能够减少误检的概率，提高检测准确性。
技术实现思路
本公开的实施例提供了一种确定用于检测的光照强度的方法和装置、及一种光学检测方法和装置，能够获得用于检测的光照强度，使用该光照强度对待检测对象进行检测时，可以提高检测的准确性。在本文描述的一个实施例中，一种确定用于检测的光照强度的方法，包括：获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像；对于每个成像元件，计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准差；根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在一个示例中，所述至少一个成像元件中的每个成像元件被配置为对所述待检测样品的不同区域拍摄图像。在一个示例中，根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度包括：对于每个成像元件，归一化所述灰度标准差；根据归一化的灰度标准差及其与所述多个光照强度之间的对应关系，
确定每个成像元件的优选光照强度范围；获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集；根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在一个示例中，确定每个成像元件的所述优选光照强度范围包括：将等于预定值的归一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个成像元件的所述优选光照强度范围。在一个示例中，获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集包括：判断各个成像元件的所述优选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取所述交集；否则，逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的所述优选光照强度范围之间存在交集，并获取所述交集。在一个示例中，所述预定值不小于0.8。在一个示例中，根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度包括：将所述交集中的中间值确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在一个示例中，根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度包括：对于每个成像元件，将所述灰度标准差中最大的灰度标准差对应的光照强度确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在一个示例中，所述待检测样品为用于液晶显示器的彩膜基板、薄膜晶体管阵列基板、或印刷电路板。在另一个实施例中，一种光学检测方法包括：从多个待检测对象中选择至少一个待检测对象作为待检测样品；使用所述待检测样品，根据前述任一实施例描述的方法确定至少一个成像元件中的每个成像元件的用于检测的光照强度；使用所确定的光照强度对所述多个待检测对象进行光学检测。在又一种实施例中，一种确定用于检测的光照强度的装置，包括：至少一个成像元件，用于对待检测样品拍摄图像；图像获取单元，用于获取每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像；计算单元，用于对于每个成像元件计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准差；光照强度确定单元，用于根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在一个示例中，所述至少一个成像元件中的每个成像元件用于对所述待检测样品的不同区域拍摄图像。在一个示例中，所述光照强度确定单元包括：归一化单元，用于对于每个成像元件归一化所述灰度标准差；优选光照强度范围确定单元，用于根据归一化的灰度标准差及其与所述多个光照强度之间的对应关系，确定每个成像元件的优选光照强度范围；交集获取单元，用于获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集；光照强度确定子单元，用于根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在一个示例中，所述优选光照强度范围确定单元还用于：将等于预定值的归一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个成像元件的所述优选光照强度范围。在一个示例中，所述交集获取单元还用于：判断各个成像元件的所述优选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集；否则，逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的所述优选光照强度范围之间存在交集。在一个示例中，所述预定值为大于或等于0.8。在一个示例中，所述光照强度确定子单元还用于：将所述交集中的中间值确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在一个示例中，所述光照强度确定单元还用于：对于每个成像元件，将所述灰度标准差中最大的灰度标准差对应的光照强度确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。在又一个实施例中，一种光学检测装置，包括上述任一实施例描述的确定用于检测的光照强度的装置。在本文中描述的示例性的实施例中，根据图像的灰度标准差来确定用于检测的光照强度。由于图像的灰度标准差越大，表明图像包含的细节信息越多，越利于待检测样品的缺陷的检测，通过使用本文中的实施例描述的方法确定的光照强度对待检测对象进行检测，能够提高检测的准确性。适应性的进一步的方面和范围从本文中提供的描述变得明显。应当理解，本申请的各个方面可以单独或者与一个或多个其他方面组合实施。还应当理解，本文中的描述和特定实施例旨在仅说明的目的并不旨在限制本申请的范围。附图说明本文中描述的附图用于仅对所选择的实施例的说明的目的，并不是所有可能的实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种确定用于检测的光照强度的方法，其特征在于，所述方法包括：获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像；对于每个成像元件，计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准差；根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。

【技术特征摘要】
1.一种确定用于检测的光照强度的方法，其特征在于，所述方法包括：获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像；对于每个成像元件，计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准差；根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一个成像元件中的每个成像元件被配置为对所述待检测样品的不同区域拍摄图像。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度包括：对于每个成像元件，归一化所述灰度标准差；根据归一化的灰度标准差及其与所述多个光照强度之间的对应关系，确定每个成像元件的优选光照强度范围；获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集；根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，确定每个成像元件的所述优选光照强度范围包括：将等于预定值的归一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个成像元件的所述优选光照强度范围。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集包括：判断各个成像元件的所述优选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取所述交集；否则，逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的所述优选光照强度范围之间存在交集，并获取所述交集。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预定值不小于0.8。7.根据权利要求3至6中任一项所述的方法，其特征在于，根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度包括：将所述交集中的中间值确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度包括：对于每个成像元件，将所述灰度标准差中最大的灰度标准差对应的光照强度确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，所述待检测样品为用于液晶显示器的彩膜基板、薄膜晶体管阵列基板、或印刷电路板。10.一种光学检测方法，其特征在于，所述方法包括：从多个待检测对象中选择至少一个待检测对象作为待检测样品；使用所述待检测样品，根据权利要求1-9中任一项所述的方法确...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭，刘超强，习征东，刘洋，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，重庆京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11