一种有机材料蒸镀设备和方法技术

本发明专利技术的实施例提供一种有机材料蒸镀设备和方法，涉及有机显示器制造技术领域，用于避免OLED制造过程中有机电致发光层厚度不均匀的问题，该设备包括：加热装置、蒸发装置、测量装置以及反射片；加热装置用于产生热能；蒸发装置用于通过加热装置产生的热能蒸发有机材料使有机材料在基板上形成有机材料膜层；测量装置用于实时监测有机材料膜层的厚度；反射片设置于有机材料膜层厚度较小的位置与加热装置和/或蒸发装置对应的位置，用于对接收的热能进行反射。本发明专利技术实施例用于显示设备的制造。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机显示器制造
，尤其涉及一种有机材料蒸镀设备和方法。
技术介绍
有机电致发光显示(英文名称：Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)由于具备自发光、对比度高、视角广、反应速度块、使用温度范围广、制造工艺简单等优势，被认为是下一代平面显示的主流发展方向。OLED的基本结构包括：阴极层、阳极层以及位于阴极层和阳极层之间的有机电致发光层。传统OLED的制造工艺中制作有机电致发光层的装置为线性加热丝和线性排列的坩埚形成的线性蒸发源。其工作工程为：通过线性加热丝对坩埚进行加热，坩埚内盛放的有机材料分子在受热后经过喷嘴(英文名称：Nozzle)蒸镀到低温多晶硅(英文全称：Low Temperature Poly-silicon，简称LTPS)基板上形成有机电致发光层。然而，由于传统OLED的制造工艺中的使用的加热丝为线性加热丝，所以在对坩埚进行加热过程中可能存在加热不均匀，进而导致形成有机电致发光层厚度不均匀的现象。此外，坩埚本身也是线性排列，各个坩埚吸收热量的能力存在差异，因此也可能会造成有机电致发光层厚度不均匀的现象。而若有机电致发光层厚度不同，则会影响有机电致发光层的发光特征性，进而影响OLED的显示效果。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种有机材料蒸镀设备和方法，用于避免OLED制造过程中有机电致发光层厚度不均匀的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：第一方面，提供一种有机材料蒸镀设备，包括：加热装置、蒸发装置、测量装置以及反射片；所述加热装置用于产生热能；所述蒸发装置用于通过所述加热装置产生的热能蒸发有机材料使
所述有机材料在基板上形成有机材料膜层；所述测量装置用于实时监测所述有机材料膜层的厚度；所述反射片设置于所述有机材料膜层厚度较小的位置与所述加热装置和/或所述蒸发装置对应的位置，用于对接收的热能进行反射。可选的，所述加热装置为线性加热装置，所述蒸发装置为线性蒸发装置；所述线性蒸发装置与所述线性加热装置平行设置。可选的，所述反射片由不锈钢材料制作形成。可选的，所述反射片的厚度大于等于0.5mm且小于等于1mm。可选的，所述反射片为镜面反射片或非镜面反射片。可选的，所述线性加热装置包括：均位于所述线性蒸发装置侧面且相互平行设置的第一加热丝和第二加热丝；所述反射片位于所述有机材料膜层厚度较小的位置与所述第一加热丝和/或所述第二加热丝对应的位置。可选的，所述线性蒸发装置包括至少两个线性排列的坩埚；所述反射片位于所述有机材料膜层厚度较小的位置对应所述坩埚的底部。可选的，所述设备还包括：匀化板；所述匀化板位于所述蒸发装置与基板之间，用于对所述蒸发装置的蒸发有机材料进行匀化。可选的，所述有机材料膜层厚度较小的位置与所述加热装置和/或所述蒸发装置对应的位置设置有n个反射片；其中，n为大于1的正整数。第二方面，提供一种有机材料蒸镀方法，包括：控制加热装置产生热能；控制蒸发装置通过所述加热装置产生的热能蒸发有机材料使所述有机材料在基板上形成有机材料膜层；实时监测所述有机材料膜层的厚度；在所述有机材料膜层厚度较小的位置与所述加热装置和/或所述蒸发装置对应的位置设置反射片。本专利技术实施例提供的一种有机材料蒸镀设备包括：加热装置、蒸
发装置、测量装置以及反射片；其中，加热装置可以产生热能，蒸发装置可以通过加热装置产生的热能蒸发有机材料使有机材料在基板上形成有机材料膜层，所以本专利技术实施例首先能够蒸镀形成有机材料膜层；其次，测量装置在有机材料膜层形成过程中实时监测有机材料膜层的厚度，并将反射片设置于有机材料膜层厚度较小的位置与加热装置和/或蒸发装置对应的位置，因为反射片可以对接收的热能进行反射，所以反射片可以增加有机材料膜层厚度较小的位置有机材料的蒸发量进而增加该位置有机材料膜层的厚度，使有机材料膜层厚度均匀，所以本专利技术实施例提供的有机材料蒸镀设备可以避免OLED制造过程中有机电致发光层厚度不均匀的问题。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的实施例提供的有机材料蒸镀设备的示意性结构图；图2为本专利技术的实施例提供的检测装置的示意性结构图之一；图3为本专利技术的实施例提供的检测装置的示意性结构图之二；图4为本专利技术的实施例提供的反射片的位置示意图之一；图5为本专利技术的实施例提供的反射片的位置示意图之二；图6为本专利技术的实施例提供的反射片的位置示意图之三；图7为本专利技术的实施例提供的反射片的位置示意图之四；图8为本专利技术的实施例提供的有机材料蒸镀方法的步骤流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，本申请中的术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。还需要说明的是，本申请文件中描述的“A和/或B”表示三种选择：A，或者，B，或者，A和B。也即“和/或”即可以表示“和“的关系，也可以表示“或”的关系。本专利技术的专利技术原理为：针对有机材料蒸发过程中加热装置不同位置产生热量不均匀和/或蒸发装置不同位置吸收热量不均匀，进而导致有机材料蒸发量不同，形成有机材料膜层不均匀的问题，本专利技术实施例在有机材料蒸发过程中实时测量形成有机膜层的厚度，且在有机材料膜层厚度较小的位置与加热装置和/或蒸发装置对应的位置设置能够对热量发射的反射片，进而提高该厚度较小的位置的有机材料的蒸发量，保证有机材料膜层厚度均匀。本专利技术的实施例提供一种有机材料蒸镀设备，具体的，参照图1所示，该有机材料蒸镀设备100包括：加热装置11、蒸发装置12、测量装置13以及反射片14。其中，加热装置11用于产生热能。具体的，加热装置11可以为任意能够产生热能的装置，例如：可以进行电热转换的电热丝等装置。蒸发装置12用于通过加热装置11产生的热能蒸发有机材料使有机材料在基板上形成有机材料膜层。蒸发装置能够通过加热装置产生的热能蒸发有机材料，因此要求蒸发装置能够吸收加热装置产生的热能且蒸发装置需要形成能够盛放有机材料的容置腔，进而通过吸收的热能对有机材料进行加热是有机材料蒸发。测量装置13用于实时监测有机材料膜层的厚度。具体的，参照图2所示，测量装置可以包括：激光光源21和接收器22；激光光源21和接收器22位于有机材料膜层23的同一侧。工作
时，激光光源21产生激光光束，并将激光光束透射在有机材料膜层上，其中一部分光线被发射接收并被接收器22，从而通过接收器接收光束的时间测量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机材料蒸镀设备，其特征在于，包括：加热装置、蒸发装置、测量装置以及反射片；所述加热装置用于产生热能；所述蒸发装置用于通过所述加热装置产生的热能蒸发有机材料使所述有机材料在基板上形成有机材料膜层；所述测量装置用于实时监测所述有机材料膜层的厚度；所述反射片设置于所述有机材料膜层厚度较小的位置与所述加热装置和/或所述蒸发装置对应的位置，用于对接收的热能进行反射。

【技术特征摘要】
1.一种有机材料蒸镀设备，其特征在于，包括：加热装置、蒸发装置、测量装置以及反射片；所述加热装置用于产生热能；所述蒸发装置用于通过所述加热装置产生的热能蒸发有机材料使所述有机材料在基板上形成有机材料膜层；所述测量装置用于实时监测所述有机材料膜层的厚度；所述反射片设置于所述有机材料膜层厚度较小的位置与所述加热装置和/或所述蒸发装置对应的位置，用于对接收的热能进行反射。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述反射片由不锈钢材料制作形成。3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述反射片的厚度大于等于0.5mm且小于等于1mm。4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述反射片为镜面反射片或非镜面反射片。5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述加热装置为线性加热装置，所述蒸发装置为线性蒸发装置。6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述线性加热装置包括：均位于所述线性蒸发装置侧面且相互平行设置的第一加热丝和第二加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海兵，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11