本发明专利技术提供一种可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而使图案的尺寸稳定性良好的感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明专利技术的感光性树脂组合物含有(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂，(A)聚合物成分包含下述(1)及(2)的至少一个：(1)含有(a1)具有酸基经酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物(A1)，及(2)含有结构单元(a1)的聚合物(A2)、及含有结构单元(a2)的聚合物(A3)；且(3)聚合物(A1)～聚合物(A3)的至少一种为含有(a4)具有通过碱水解而产生羧基的基团的结构单元的聚合物，或(4)进而含有具有结构单元(a4)且不具有结构单元(a1)及结构单元(a2)的聚合物(A4)；相对于构成(A)聚合物成分的所有结构单元，结构单元(a2)的比例为10摩尔％～40摩尔％，结构单元(a4)的比例为1.0摩尔％～20摩尔％。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种感光性树脂组合物(以下有时简称为“本专利技术的组合物”)。另外，本专利技术涉及一种使用所述感光性树脂组合物的硬化膜的制造方法、使感光性组合物硬化而成的硬化膜、使用所述硬化膜的各种图像显示装置。更详细而言，本专利技术涉及一种适于形成液晶显示装置、有机电致发光(有机EL(Electroluminescence))显示装置、集成电路元件、固体摄像元件等电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物及使用其的硬化膜的制造方法。
技术介绍
在薄膜晶体管(以下称为“TFT(Thin Film Transistor)”)型液晶显示元件或磁头元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子零件中，通常为了使以层状而配置的配线之间绝缘而设有层间绝缘膜。形成层间绝缘膜的材料优选为用以获得必要图案形状的步骤数少而且具有充分的平坦性者，故广泛使用感光性树脂组合物(例如参照专利文献1)。另一方面，在专利文献2中揭示了一种含有共聚物的放射线感光材料，所述共聚物包括具有3级酯基的重复单元与具有酸酐结构的重复单元。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本专利特开2011-209681号公报专利文献2：日本专利特开平7-234511号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]近年来，需要可使耐化学品性良好、相对介电常数进一步降低，而且图案尺寸稳定性良好的感光性树脂组合物。本申请专利技术是为了解决所述课题而成者，且目的在于提供一种可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而可使图案尺寸稳定性良好的感光性树脂组合物。[解决问题的技术手段]本申请专利技术者根据所述状况进行了研究，结果发现：通过感光性树脂组合物中的聚合物成分含有具有酸基经酸分解性基保护的基团的结构单元，且以特定的比率含有具有交联性基的结构单元，进而以特定的比率含有通过碱水解而产生羧基的结构单元，可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而可使图案尺寸稳定性良好，从而完成了本专利技术。具体而言，通过以下的解决手段<1>、优选为解决手段<2>～解决手段<15>解决
了所述课题。<1>一种感光性树脂组合物，含有(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂，且(A)聚合物成分包含下述(1)及(2)的至少一个，并且满足下述(3)及(4)的至少一个；(1)含有(a1)具有酸基经酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物(A1)，(2)含有结构单元(a1)的聚合物(A2)、及含有结构单元(a2)的聚合物(A3)；(3)聚合物(A1)～聚合物(A3)的至少一种为含有(a4)具有通过碱水解而产生羧基的基团的结构单元的聚合物，(4)进而含有具有结构单元(a4)且不具有结构单元(a1)及结构单元(a2)的聚合物(A4)；相对于构成(A)聚合物成分的所有结构单元，结构单元(a2)的比例为10摩尔％～40摩尔％，结构单元(a4)的比例为1.0摩尔％～20摩尔％。<2>根据<1>所记载的感光性树脂组合物，其中结构单元(a4)为含羧酸酐结构或内酯结构的结构单元。<3>根据<2>所记载的感光性树脂组合物，其中羧酸酐结构为5员环或6员环的环状羧酸酐结构。<4>根据<2>或<3>所记载的感光性树脂组合物，其中羧酸酐结构含有下述通式(1)所表示的部分结构，[化1]通式(1)中，RA1a表示取代基，n1a个的RA1a分别独立，可相同也可不同；Z1a表示含有-C(＝O)-O-C(＝O)-的单环或多环结构；n1a表示0以上的整数。<5>根据<1>至<4>中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中结构单元(a4)由下述式(1A)及/或式(1B)表示，[化2]<6>根据<1>至<4>中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中结构单元(a4)由式(1A)表示。<7>根据<1>至<6>中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中(A)聚合物成分中含有(a3)具有酸基的结构单元。<8>根据<7>所记载的感光性树脂组合物，其中(A)聚合物成分中的结构单元(a3)的比例为5摩尔％～20摩尔％。<9>根据<1>至<8>中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中结构单元(a2)所具有的交联性基为选自环氧基、氧杂环丁基及-NH-CH2-OR2中的至少一种；其中，R2表示氢原子或碳数1～20的烷基。<10>根据<1>～<9>中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中结构单元(a1)为具有酸基经缩醛的形式保护的基团的结构单元。<11>根据<1>～<10>中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中(B)光酸产生剂为肟磺酸酯化合物。<12>一种硬化膜的制造方法，包括：(1)将根据<1>至<11>中任一项所记载的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；(2)自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；(3)利用光化射线对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤；(4)利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及(5)对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤。<13>一种硬化膜，其是使根据<1>至<11>中任一项所记载的感光性树脂组合物硬化而成，或利用根据<12>所记载的硬化膜的制造方法而形成。<14>根据<13>所记载的硬化膜，其为层间绝缘膜。<15>一种液晶显示装置或有机EL显示装置，具有根据<13>或<14>所记载的硬化膜。[专利技术的效果]根据本专利技术，可提供一种可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而可使图案的尺寸稳定性良好的感光性树脂组合物。附图说明图1表示有机EL显示装置的一例的构成概念图。其表示底部发光(bottom emission)型的有机EL显示装置中的基板的示意性剖面图，具有平坦化膜4。图2表示液晶显示装置的一例的构成概念图。其表示液晶显示装置中的有源矩阵基板的示意性剖面图，具有作为层间绝缘膜的硬化膜17。图3表示液晶显示装置的一例的构成概念图。图4表示液晶显示装置的一例的构成概念图。具体实施方式以下，对本专利技术的内容加以详细说明。以下记载的构成要件的说明有时是根据本专利技术的具代表性的实施形态来进行，但本专利技术不限定于此种实施形态。另外，本申请说明书中，“～”是以包括其前后所记载的数值作为下限值及上限值的含意而使用。再者，在本说明书中的基团(原子团)的表述中，未记载经取代及未经取代的表述包含不具有取代基的基团(原子团)，并且也包含具有取代基的基团(原子团)。例如所谓“烷基”，不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基)，而且也包含具有取代基的
烷基(经取代的烷基)。本专利技术的感光性树脂组合物的特征在于：含有(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂，且所述(A)聚合物成分本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，含有(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂，且所述(A)聚合物成分包含下述(1)及(2)的至少一个，并且满足下述(3)及(4)的至少一个；(1)含有(a1)具有酸基经酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物(A1)，(2)含有所述结构单元(a1)的聚合物(A2)、及含有所述结构单元(a2)的聚合物(A3)；(3)所述聚合物(A1)～聚合物(A3)的至少一种为含有(a4)具有通过碱水解而产生羧基的基团的结构单元的聚合物，(4)进而含有具有所述结构单元(a4)且不具有所述结构单元(a1)及所述结构单元(a2)的聚合物(A4)；相对于构成所述(A)聚合物成分的所有结构单元，所述结构单元(a2)的比例为10摩尔％～40摩尔％，所述结构单元(a4)的比例为1.0摩尔％～20摩尔％。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.09.25 JP 2013-1983941.一种感光性树脂组合物，含有(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂，且所述(A)聚合物成分包含下述(1)及(2)的至少一个，并且满足下述(3)及(4)的至少一个；(1)含有(a1)具有酸基经酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物(A1)，(2)含有所述结构单元(a1)的聚合物(A2)、及含有所述结构单元(a2)的聚合物(A3)；(3)所述聚合物(A1)～聚合物(A3)的至少一种为含有(a4)具有通过碱水解而产生羧基的基团的结构单元的聚合物，(4)进而含有具有所述结构单元(a4)且不具有所述结构单元(a1)及所述结构单元(a2)的聚合物(A4)；相对于构成所述(A)聚合物成分的所有结构单元，所述结构单元(a2)的比例为10摩尔％～40摩尔％，所述结构单元(a4)的比例为1.0摩尔％～20摩尔％。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述结构单元(a4)为含有羧酸酐结构或内酯结构的结构单元。3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中所述羧酸酐结构为5员环或6员环的环状羧酸酐结构。4.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中所述羧酸酐结构含有下述通式(1)所表示的部分结构；[化1]通式(1)中，RA1a表示取代基，n1a个的RA1a分别独立，可相同也可不同；Z1a表示含有-C(＝O)-O-C(＝O)-的单环或多环结构；n1a表示0以上的整数。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述结构单元(a4)由下述式(1A)及/或式(1B)表示...
【专利技术属性】
技术研发人员：松田知树，山田悟，山﨑健太，霜山达也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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