低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明专利技术的低温泵系统具备：低温泵(10)；及再生控制部(102)，根据包括排出处理的再生顺序控制低温泵(10)，所述排出处理为从低温泵(10)排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行低温泵(10)的粗抽。再生控制部(102)具备：压力下降率运算部(114)，运算出低温泵(10)粗抽中的低温泵(10)内的压力下降率；及压力下降率监视部(116)，检测出粗抽中的压力下降率的缩小。

【技术实现步骤摘要】
本申请主张基于2015年2月20日申请的日本专利申请第2015-031852号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法。
技术介绍
低温泵是将气体分子通过冷凝或吸附捕捉到冷却至超低温的低温板上而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中所要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行向外部排出已捕捉的气体的再生。专利文献1：日本特开2008-223538号公报
技术实现思路
本专利技术的一种实施方式的示例性的目的之一在于缩短低温泵的再生时间。根据本专利技术的一种实施方式，提供一种低温泵系统，其具备：低温泵；及再生控制部，根据包括排出处理的再生顺序控制所述低温泵，所述排出处理为从所述低温泵排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行所述低温泵的粗抽。所述再生控制部具备：压力下降率运算部，运算出所述低温泵粗抽中的所述低温泵内的压力下降率；及压力下降率监视部，检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小。根据本专利技术的一种实施方式，提供一种低温泵控制装置，其具备根据包括排出处理的再生顺序控制所述低温泵的再生控制部，所述排出处理为从低温泵排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行所述低温泵的粗抽。所述再生控制部具备：压力下降率运算部，运算出所述低温泵粗抽中的所述低温泵内的
压力下降率；及压力下降率监视部，检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小。根据本专利技术的一种实施方式，提供一种低温泵再生方法，所述方法具备根据包括排出处理的再生顺序控制所述低温泵的工序，所述排出处理为从低温泵排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行所述低温泵的粗抽。所述控制具备如下工序：运算出所述低温泵粗抽中的所述低温泵内的压力下降率、检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小。另外，以上构成要件的任意组合、本专利技术的构成要件或表现在装置、方法、系统、计算机程序、存储计算机程序的存储媒介等之间的相互置换也作为本专利技术的方式有效。根据本专利技术，能够缩短低温泵的再生时间。附图说明图1是示意地表示本专利技术的一种实施方式所涉及的低温泵系统的图。图2是概略地表示本专利技术的一种实施方式所涉及的低温泵控制部的结构的图。图3是表示本专利技术的一种实施方式所涉及的低温泵再生方法的主要步骤的流程图。图4是概略表示本专利技术的一种实施方式所涉及的低温泵内的压力变化的图。图中：10-低温泵，18-低温低温板，19-高温低温板，38-壳体，72-粗抽阀，74-排气阀，94-压力传感器，100-低温泵控制部，102-再生控制部，110-阀控制部，112-压力监视部，114-压力下降率运算部，116-压力下降率监视部，118-相变推断部。具体实施方式以下，参考附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。另外，在说明中，对相同要件标注相同符号，并适当省略重复说明。并且，以下叙述的结构为示例，并不对本专利技术的范围作任何限定。图1是示意地表示本专利技术的一种实施方式所涉及的低温泵系统的图。低温泵系统具备低温泵10、控制低温泵10的真空排气运行及再生运行的低温泵控制部100。低温泵10例如安装于离子注入装置或溅射装置等的真空腔室，用于将真空腔室内部的真空度提高至所希望的工艺中要求的水平。低温泵控制部100可以与低温泵10设置成一体，也可以构成为与低温泵10分体的控制装置。低温泵10具有用于接收气体的吸气口12。吸气口12是通向低温泵10的内部空间14的入口。应排出的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口12进入到低温泵10的内部空间14。另外，以下为了更通俗易懂地表示低温泵10的构成要件之间的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”等术语。轴向表示通过吸气口12的方向，径向表示沿吸气口12的方向。为方便起见，有时将在轴向上相对靠近吸气口12的一侧称作“上”，相对远离吸气口12的一侧称作“下”。即，有时将相对远离低温泵10底部的一侧称作“上”，相对靠近低温泵10底部的一侧称作“下”。关于径向，有时将靠近吸气口12的中心的一侧称作“内”，将靠近吸气口12的周边的一侧称作“外”。另外，这种表达与低温泵10安装于真空腔室时的配置无关。例如，低温泵10也可以以使吸气口12沿铅垂方向朝下的方式安装于真空腔室内。低温泵10具备低温低温板18及高温低温板19。并且，低温泵10具备对高温低温板19及低温低温板18进行冷却的冷却系统。该冷却系统具备制冷机16及压缩机36。制冷机16例如为吉福德-麦克马洪式制冷机(所谓GM制冷机)等超低温制冷机。制冷机16是具备第1冷却台20、第2冷却台21、第1缸体22、第2缸体23、第1置换器24及第2置换器25的二级式制冷机。因此，制冷机16的高温级具备第1冷却台20、第1缸体22及第1置换器24。制冷机16的低温级具备第2冷却台21、第2缸体23及第2置换器25。第1缸体22和第2缸体23串联连接。第1冷却台20设置于第1缸体22和第2缸体23的结合部。第2缸体23连结第1冷却台20和第2冷却台21。第2冷却台21设置于第2缸体23的末端。在第1缸体22和第2缸体23各自的内部以沿制冷机16的长度方向(图1中为左右方向)能够移动的方式配设
有第1置换器24及第2置换器25。第1置换器24和第2置换器25以能够一体移动的方式连结在一起。在第1置换器24和第2置换器25上分别组装有第1蓄冷器及第2蓄冷器(未图示)。制冷机16具备驱动机构17，该驱动机构17设置于第1缸体22的高温端。驱动机构17与第1置换器24及第2置换器25连接，以使第1置换器24及第2置换器25分别在第1缸体22及第2缸体23的内部能够往复移动。并且，驱动机构17包括流路切换机构，该流路切换机构切换工作气体的流路，以便周期性地重复工作气体的供给和排出。流路切换机构例如包括阀部及用于驱动阀部的驱动部。阀部例如包括回转阀，驱动部包括用于使回转阀旋转的马达。马达可以是例如AC马达或DC马达。并且，流路切换机构也可以为通过直线马达而被驱动的直动式的机构。制冷机16经由高压导管34及低压导管35与压缩机36连接。制冷机16使从压缩机36供给过来的高压工作气体(例如氦气)在制冷机16的内部膨胀从而使第1冷却台20及第2冷却台21产生寒冷。压缩机36回收在制冷机16中膨胀的工作气体并再次进行加压后供给至制冷机16。具体而言，首先，驱动机构17使高压导管34与制冷机16的内部空间连通。高压工作气体从压缩机36通过高压导管34供给至制冷机16。若制冷机16的内部空间被高压工作气体充满，则驱动机构17切换流路，使制冷机16的内部空间与低压导管35连通。由此工作气体进行膨胀。膨胀的工作气体回收至压缩机36。与这样的工作气体的供排气同步，第1置换器24及第2置换器25分别在第1缸体22及第2缸体23的内部进行往复移动。通过重复这种热循环，制冷机16使第1冷却台20及第2冷却台21产生寒冷。制冷机16构成为将第1冷却台20冷却至第1温度水平，将第2冷却台21冷却至第2温度水平。第2温度水平为低于第1温度水平的低温。例如，第1冷却台20冷却至65K～120K左右，优选冷却至80K～100K，第2冷却台21冷却至10K～20K左右。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵；及再生控制部，根据包括排出处理的再生顺序控制所述低温泵，所述排出处理为从所述低温泵排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行所述低温泵的粗抽，所述再生控制部具备：压力下降率运算部，运算出所述低温泵粗抽中的所述低温泵内的压力下降率；及压力下降率监视部，检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小。

【技术特征摘要】
2015.02.20 JP 2015-0318521.一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵；及再生控制部，根据包括排出处理的再生顺序控制所述低温泵，所述排出处理为从所述低温泵排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行所述低温泵的粗抽，所述再生控制部具备：压力下降率运算部，运算出所述低温泵粗抽中的所述低温泵内的压力下降率；及压力下降率监视部，检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小。2.根据权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，所述再生顺序包括升温处理，在该升温处理中，将所述低温泵从超低温度加热至所述冷凝物的融点或比该融点更高的温度，所述再生控制部具备相变推断部，所述相变推断部在检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小时推断所述冷凝物再次冻结。3.根据权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，所述低温泵具备：低温板；低温泵容器，容纳所述低温板；粗抽阀，设置于所述低温泵容器，在开阀时将所述低温泵容器连接于粗抽泵，在关阀时从所述低温泵容器隔断所述粗抽泵；及排气阀，设置于所述低温泵容器，在开阀时将所述低温泵容器连接于吹扫气体源，在关阀时从所述低温泵容器隔断所述吹扫气体源，所述再生控制部具备阀控制部，所述阀控制部响应于检测出的所述压力下降率的缩小而暂时关闭所述粗抽阀和/或暂时打开所述排气阀。4.根据权利要求3所述的低温泵系统，其特征在于，所述阀控制部响应于检测出的所述压力下降率的缩小而暂时...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷津贵裕，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP