一种三轴气浮台结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三轴气浮台结构，在所述水平横向滑槽内设置有水平横向滑板，且所述水平横向滑板与所述水平横向滑槽之间设置有第一气浮层，所述水平横向滑板由该第一气浮层支撑而沿所述水平横向滑槽往复滑动；在所述承载底座上方还设置有水平纵向滑槽，在该水平纵向滑槽内设置有水平纵向滑板，且所述水平纵向滑板与所述水平纵向滑槽之间设置有第二气浮层，所述水平纵向滑板由该第二气浮层支撑而沿所述水平纵向滑槽往复滑动；在所述水平纵向滑板的端部还结合设置有立向轴套，所述立向轴套内设置有立向滑轴，所述立向滑轴与所述立向轴套之间设置有第三气浮层，所述立向滑轴由设置于水平纵向滑板上的驱动机构驱动而于所述立向轴套内往复移动。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种气浮台结构，尤其涉及一种三轴气浮台结构。
技术介绍
气浮台是一种精密控制装备，其通过气浮层承载，实现高负荷、超稳定、无摩擦的相对运动。但是，对于提供向上方向承载力的气浮层而言，当偶然遇到向上方向的外加力时，就会破坏原有的力学平衡结构，使得气浮层承载的工作台工作状态发生变化，从而影响整个气浮台的精度。
技术实现思路
本技术针对现有技术的弊端，提供一种三轴气浮台结构。本技术所述的三轴气浮台结构，包括承载底座，所述承载底座设置有水平横向滑槽，在该水平横向滑槽内设置有水平横向滑板，且所述水平横向滑板与所述水平横向滑槽之间设置有第一气浮层，所述水平横向滑板由该第一气浮层支撑而沿所述水平横向滑槽往复滑动；在所述承载底座上方还设置有水平纵向滑槽，在该水平纵向滑槽内设置有水平纵向滑板，且所述水平纵向滑板与所述水平纵向滑槽之间设置有第二气浮层，所述水平纵向滑板由该第二气浮层支撑而沿所述水平纵向滑槽往复滑动；在所述水平纵向滑板的端部还结合设置有立向轴套，所述立向轴套内设置有立向滑轴，所述立向滑轴与所述立向轴套之间设置有第三气浮层，所述立向滑轴由设置于水平纵向滑板上的驱动机构驱动而于所述立向轴套内往复移动。本技术所述的三轴气浮台结构中，所述承载底座内结合设置有水平
吸附铁件；所述水平横向滑板内结合设置有水平吸附磁件；所述水平横向滑板在第一气浮层的向上的气浮力和水平吸附铁件与水平吸附磁件之间的向下的吸附力的共同作用下而平稳滑动。本技术所述的三轴气浮台结构中，在所述水平横向滑槽的底面及两个侧面均布有多个出气孔，所述出气孔通过气管连接外部气源；所述外部气源通过各出气孔喷出气体而形成第一气浮层。本技术所述的三轴气浮台结构中，在所述水平纵向滑槽的底面及两个侧面均布有多个出气孔，所述出气孔通过气管连接外部气源；所述外部气源通过各出气孔喷出气体而形成第二气浮层。本技术所述的三轴气浮台结构中，所述水平纵向滑槽内结合设置有水平吸附铁件；所述水平纵向滑板内结合设置有水平吸附磁件；所述水平纵向滑板在第二气浮层的向上的气浮力和水平吸附铁件与水平吸附磁件之间的向下的吸附力的共同作用下而平稳滑动。本技术所述的三轴气浮台结构中，所述立向轴套的内表面均布有多个出气孔，所述出气孔通过气管连接外部气源；所述外部气源通过各出气孔而形成第三气浮层。本技术所述的三轴气浮台结构中，在水平方向运动的水平横向滑槽和水平纵向滑槽内分别结合设置水平吸附铁件、在水平方向运动的水平横向滑板和水平纵向滑板内分别结合设置水平吸附磁件，使水平运动的水平横向滑板和水平纵向滑板分别受到向上的气浮力和向下的磁性吸附力的作用，并且，向下的磁性吸附力通过计算而确定充分余量，从而避免了因遭受意外的向上外力作用而破坏力学平衡的状况发生，提高了三轴气浮台的稳定性。附图说明图1为本技术所述三轴气浮台的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图1所示，本技术所述的三轴气浮台，包括承载底座1，所述承载底座1设置有水平横向滑槽11，在该水平横向滑槽11内设置有水平横向滑板2，且所述水平横向滑板2与所述水平横向滑槽11之间设置有第一气浮层(图中未示)，所述水平横向滑板2由该第一气浮层支撑而沿所述水平横向滑槽11往复滑动。在所述承载底座1上方还设置有水平纵向滑槽4，在该水平纵向滑槽4内设置有水平纵向滑板5，且所述水平纵向滑板5与所述水平纵向滑槽4之间设置有第二气浮层(图中未示)，所述水平纵向滑板5由该第二气浮层支撑而沿所述水平纵向滑槽4往复滑动；在所述水平纵向滑板5的端部还结合设置有立向轴套7，所述立向轴套7内设置有立向滑轴6，所述立向滑轴6与所述立向轴套7之间设置有第三气浮层(图中未示)，所述立向滑轴6由设置于水平纵向滑板5上的驱动机构(图中未示)驱动而于所述立向轴套7内往复移动。进一步的，为了提高气浮台的工作稳定性，本技术中，还在所述承载底座1内结合设置有水平吸附铁件12；对应的，在所述水平横向滑板2内结合设置有水平吸附磁件21；所述水平横向滑板2在第一气浮层的向上的气浮力和水平吸附铁件12与水平吸附磁件21之间的向下的吸附力的共同作用下而平稳滑动。本技术所述的三轴气浮台结构中，在所述水平横向滑槽11的底面及两个侧面均布有多个出气孔13，所述出气孔13通过气管连接外部气源(图中未示)；所述外部气源通过各出气孔13喷出气体而形成第一气浮层。同样，在所述水平纵向滑槽4的底面及两个侧面均布有多个出气孔42，所述出气孔42通过气管连接外部气源(图中未示)；所述外部气源通过各出气孔42喷出气体而形成第二气浮层。在所述水平纵向滑槽4内结合设置有水平吸附铁件41；所述水平纵向滑板5内结合设置有水平吸附磁件51；所述水平纵向滑板5在第二气浮层的向上的气浮力和水平吸附铁件41与水平吸附磁件51之间的向下的吸附力的共
同作用下而平稳滑动。本技术所述的三轴气浮台结构中，所述立向轴套7的内表面均布有多个出气孔(图中未示)，所述出气孔通过气管连接外部气源；所述外部气源通过各出气孔而形成第三气浮层。本技术所述的三轴气浮台结构中，在水平方向运动的水平横向滑槽和水平纵向滑槽内分别结合设置水平吸附铁件、在水平方向运动的水平横向滑板和水平纵向滑板内分别结合设置水平吸附磁件，使水平运动的水平横向滑板和水平纵向滑板分别受到向上的气浮力和向下的磁性吸附力的作用，并且，向下的磁性吸附力通过计算而确定充分余量，从而避免了因遭受意外的向上外力作用而破坏力学平衡的状况发生，提高了三轴气浮台的稳定性。尽管本技术的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本技术的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本技术并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三轴气浮台结构，包括承载底座，其特征在于，所述承载底座设置有水平横向滑槽，在该水平横向滑槽内设置有水平横向滑板，且所述水平横向滑板与所述水平横向滑槽之间设置有第一气浮层，所述水平横向滑板由该第一气浮层支撑而沿所述水平横向滑槽往复滑动；在所述承载底座上方还设置有水平纵向滑槽，在该水平纵向滑槽内设置有水平纵向滑板，且所述水平纵向滑板与所述水平纵向滑槽之间设置有第二气浮层，所述水平纵向滑板由该第二气浮层支撑而沿所述水平纵向滑槽往复滑动；在所述水平纵向滑板的端部还结合设置有立向轴套，所述立向轴套内设置有立向滑轴，所述立向滑轴与所述立向轴套之间设置有第三气浮层，所述立向滑轴由设置于水平纵向滑板上的驱动机构驱动而于所述立向轴套内往复移动。

【技术特征摘要】
2016.03.18 CN 20162023042031.一种三轴气浮台结构，包括承载底座，其特征在于，所述承载底座设置有水平横向滑槽，在该水平横向滑槽内设置有水平横向滑板，且所述水平横向滑板与所述水平横向滑槽之间设置有第一气浮层，所述水平横向滑板由该第一气浮层支撑而沿所述水平横向滑槽往复滑动；在所述承载底座上方还设置有水平纵向滑槽，在该水平纵向滑槽内设置有水平纵向滑板，且所述水平纵向滑板与所述水平纵向滑槽之间设置有第二气浮层，所述水平纵向滑板由该第二气浮层支撑而沿所述水平纵向滑槽往复滑动；在所述水平纵向滑板的端部还结合设置有立向轴套，所述立向轴套内设置有立向滑轴，所述立向滑轴与所述立向轴套之间设置有第三气浮层，所述立向滑轴由设置于水平纵向滑板上的驱动机构驱动而于所述立向轴套内往复移动。2.如权利要求1所述的三轴气浮台结构，其特征在于，所述承载底座内结合设置有水平吸附铁件；所述水平横向滑板内结合设置有水平吸附磁件；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞杰，
申请(专利权)人：天津中精微仪器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12