液体补充装置以及具备该液体补充装置的冷却剂再生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种液体补充装置(7)，其包括贮存处理过的冷却剂的液体补充用罐(70)和在液体补充用罐(70)向处理过的冷却剂补充水的水补充机构(71)，其中，所述处理过的冷却剂是被进行了用于将在切断加工中使用过的冷却剂中所含的切削屑从冷却剂去除的处理的冷却剂。据此，能够对进行了用于去除在切断加工中使用过的冷却剂中所含的切削屑的处理的处理过的冷却剂补充水。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种与对硅、蓝宝石、镓砷、磁铁等各种材料进行切断加工的切断加工装置一起使用的液体补充装置以及具备该液体补充装置的冷却剂再生装置。
技术介绍
例如在制造半导体元件、太阳能电池元件等制品的过程中，进行将块状的硅锭(硅材料)切断为预先规定的尺寸的切片工序。在该切片工序，当使用线锯装置切断硅锭时，为了抑制切断部分的温度上升以及赋予润滑性而使用冷却剂。在切片工序使用后的冷却剂(使用过的冷却剂)中含有硅等切削屑(淤渣)。例如，在日本专利公开公报特开2010-253622号中公开了向线锯(固定磨粒线)供给冷却剂并切断硅材料的线锯的冷却剂管理方法以及装置。该日本专利公开公报特开2010-253622号中设有接收从线锯掉下的切断浆料的浆料接收槽。在该浆料接收槽中接收的切断浆料被导向离心分离机。在离心分离机，切断浆料被分离为粗粒固体成分和分离液。在离心分离机被分离的分离液被供给到膜过滤装置，并被分离为微粒混合液和回收冷却剂。在离心分离机被分离的分离液的一部分和在膜过滤装置分离的回收冷却剂在调配罐被调配而再次被供给到线锯。冷却剂中含有水分、油分(例如二醇系的油剂)、切断加工所需的有效成分(各种添加剂)等。被供给至线锯的冷却剂在用线锯进行切断加工的过程中有时达到非常高的温度。因此，包含在冷却剂中的水分的一部分在切断加工中蒸发。此外，在离心分离机中被分离并排出到系统外的粗粒固体成分中也包含水分。此外，在包含离心分离机以及膜过滤装置的处理装置中，因在处理过程中产生的热，水分的一部分会蒸发。因此，在日本专利公开公报特开2010-253622号的装置中，在处理装置中被处理的冷却剂(处理过的冷却剂)中所含的水分量少于使用于切断加工前的冷却剂(新冷却剂)中所含的水分量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够向被进行了用于去除在切断加工中使用过的冷
却剂中所含的切削屑的处理的处理过的冷却剂补充水的液体补充装置以及具备该液体补充装置的冷却剂再生装置。本技术的一方面所涉及的液体补充装置包括：液体补充用罐，用于贮存处理过的冷却剂，该处理过的冷却剂是被进行了用于将在切断加工中使用过的冷却剂中所含的切削屑从所述冷却剂去除的处理的冷却剂；以及水补充机构，在所述液体补充用罐向所述处理过的冷却剂补充水。在本技术中，在贮存处理过的冷却剂的液体补充用罐设有向处理过的冷却剂补充水的水补充机构。因此，能够在液体补充用罐向处理过的冷却剂补充减少的水分，即：在用线锯装置等切断加工装置进行切断加工的过程中蒸发的水分、被排出到系统外的粗粒固体成分中所含的水分、以及因在去除被使用于切断加工而包含在冷却剂中的切削屑的处理过程中产生的热而蒸发的水分等。据此，能够抑制因水分的减少而处理过的冷却剂的粘度变高的情况。所述液体补充装置也可以还包括：水补充机构控制部，用于控制所述水补充机构。在该结构中，水补充机构被水补充机构控制部自动控制，因此，能够自动地进行向处理过的冷却剂的水的补充。此时，例如，可举出水补充机构控制部以向贮存在液体补充用罐的处理过的冷却剂供给预先决定的规定量(恒定量)的水的方式控制水补充机构的控制例。但是，并不限定于此种自动控制，例如也可进行如下的自动控制。所述液体补充装置优选还包括：含水率计，用于测量所述处理过的冷却剂的含水率。在该结构中，能够利用含水率计准确地把握处理过的冷却剂的含水率，因此，能够向处理过的冷却剂补充更适当的量的水。利用含水率计的含水率的测量可由用户手动进行，也可如下地通过控制器自动进行。所述含水率计也可以被固定于构成所述液体补充用罐的部件。所述液体补充装置也可以还包括：水补充机构控制部，用于控制所述水补充机构，其中，所述水补充机构控制部如下地控制所述水补充机构：基于所述含水率计测量的所述处理过的冷却剂的含水率向所述处理过的冷却剂补充水，从而使所述处理过的冷却剂的含水率接近预先决定的设定值。在该结构中，水补充机构以基于在补充水之前用含水率计测量的处理过的冷却剂的含水率向处理过的冷却剂补充水的方式被自动控制。因此，能够自动且准确地调节用于使处理过的冷却剂的含水率接近设定值所需的水的补充量。在所述液体补充装置中，优选：所述水补充机构控制部如下地控制所述水补充机构：
在向所述处理过的冷却剂补充水后，基于所述含水率计再测量的所述处理过的冷却剂的含水率，向所述处理过的冷却剂再补充水，从而使所述处理过的冷却剂的含水率阶段性地接近所述设定值。在该结构中，分多次阶段性地进行向处理过的冷却剂的水的补充。即，在向处理过的冷却剂补充水后，使用含水率计再测量含水率。并且，基于该再测量的含水率向处理过的冷却剂再补充水。如此地阶段性地进行水的补充，因此，能够抑制向处理过的冷却剂的水的补充量过剩。在所述液体补充装置中，优选：所述水补充机构控制部以使向所述处理过的冷却剂再补充的水的补充量少于向所述处理过的冷却剂最初补充的水的补充量的方式控制所述水补充机构。在该结构中，在分多次阶段性地进行向处理过的冷却剂的水的补充时，使最初补充的水的补充量多，且使再补充的水的补充量少。如此地在该结构中，水的再补充作为向处理过的冷却剂的水的补充量的微调而进行。据此，在该结构中，能够更可靠地抑制向处理过的制冷剂的水的补充量过剩。作为如此地使最初补充的水的补充量多而使再补充的水的补充量少的控制，可例示后述的控制例。所述水补充机构控制部也可以使向贮存在所述液体补充用罐的处理过的冷却剂供给预先决定的恒定量的水的方式控制所述水补充机构。所述水补充机构也可以具有贮存水的水罐和通过水配管输送水的泵，其中，所述水补充机构控制部控制所述水补充机构的所述泵的运转和停止的动作。所述液体补充装置优选还包括：冷却剂补充机构，在所述液体补充用罐向所述处理过的冷却剂补充新冷却剂。在该结构中，由于设有冷却剂补充机构，因此，能够在液体补充用罐向处理过的冷却剂补充新冷却剂。据此，能够将包含在新冷却剂的有效成分(切断加工所需的有效成分)补充到处理过的冷却剂中。具体而言如下所述。新冷却剂中除了含有水以外还含有切断加工所需的有效成分，但新冷却剂中的有效成分的含有率在处理装置中对使用于切断加工的冷却剂进行处理的过程中会减少。例如，在离心分离机被分离而被排出到系统外的粗粒固体成分中含有有效成分的一部分。因此，处理过的冷却剂中的有效成分的含有率小于新冷却剂中的有效成分的含有率。对此，在该结构中，设有在贮存处理过的冷却剂的液体补充用罐向处理过的冷却剂补充新冷却剂的冷却剂补充机构。因此，通过将含有规定量的有效成分的新冷却剂补充到处
理过的冷却剂中，能够将处理装置的处理过程中减少的有效成分与水等其它成分一起在液体补充用罐补充到处理过的冷却剂中。如此地在该结构中，能够对处理过的冷却剂补充水和有效成分双方，因此，能够使含水率和有效成分的含有率双方接近新冷却剂。据此，能够进一步提高处理过的冷却剂的质量。所述液体补充装置优选还包括：冷却剂补充机构控制部，用于控制所述冷却剂补充机构。在该结构中，冷却剂补充机构被冷却剂补充机构控制部自动控制，因此，能够自动地向处理过的冷却剂补充新冷却剂。此时，例如可举出冷却剂补充机构控制部以对贮存在液体补充用罐的处理过的冷却剂供给预先决定的规定量(恒定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体补充装置，其特征在于包括：液体补充用罐，用于贮存处理过的冷却剂，该处理过的冷却剂是被进行了用于将在切断加工中使用过的冷却剂中所含的切削屑从所述冷却剂去除的处理的冷却剂；以及水补充机构，在所述液体补充用罐向所述处理过的冷却剂补充水。

【技术特征摘要】
2015.02.04 JP 2015-000507U1.一种液体补充装置，其特征在于包括：液体补充用罐，用于贮存处理过的冷却剂，该处理过的冷却剂是被进行了用于将在切断加工中使用过的冷却剂中所含的切削屑从所述冷却剂去除的处理的冷却剂；以及水补充机构，在所述液体补充用罐向所述处理过的冷却剂补充水。2.根据权利要求1所述的液体补充装置，其特征在于还包括：水补充机构控制部，用于控制所述水补充机构。3.根据权利要求1所述的液体补充装置，其特征在于还包括：含水率计，用于测量所述处理过的冷却剂的含水率。4.根据权利要求3所述的液体补充装置，其特征在于：所述含水率计被固定于构成所述液体补充用罐的部件。5.根据权利要求3所述的液体补充装置，其特征在于还包括：水补充机构控制部，用于控制所述水补充机构，其中，所述水补充机构控制部如下地控制所述水补充机构：基于所述含水率计测量的所述处理过的冷却剂的含水率向所述处理过的冷却剂补充水，从而使所述处理过的冷却剂的含水率接近预先决定的设定值。6.根据权利要求5所述的液体补充装置，其特征在于：所述水补充机构控制部如下地控制所述水补充机构：在向所述处理过的冷却剂补充水后，基于所述含水率计再测量的所述处理过的冷却剂的含水率，向所述处理过的冷却剂再补充水，从而使所述处理过的冷却剂的含水率阶段性地接近所述设定值。7.根据权利要求6所述的液体补充装置，其特征在于：所述水补充机构控制部以使向所述处理过的冷却剂再补充的水的补充量少于向所述处理过的冷却剂最初补充的水的补充量的方式控制所述水补充机构。8.根据权利要求5所述的液体补充装置，其特征在于：所述水补充机构控制部以使向贮存在所述液体补充用罐的处理过的冷却剂供给预先决定的恒定量的水的方式控制所述水补充机构。9.根据权利要求5所述的液体补充装置，其特征在于：所述水补充机构具有贮存水的水罐和通过水配管输送水的泵，其中，所述水补充机构控制部控制所述水补充机构的所述泵的运转和停止的动作。10.根据权利要求1所述的液体补充装置，其特征在于还包括：冷却剂补充机构，在所述液体补充用罐向所述处理过的冷却剂补充新冷却剂。11.根据权利要求10所述的液体补充装置，其特征在于还包括：冷却剂补充机构控制部，用于控制所述冷却剂补充机构。12.根据权利要求11所述的液体补充装置，其特征在于：所述冷却剂补充...

【专利技术属性】
技术研发人员：安井隆文，井上一真，荻田大，玉井雅之，西田高治，
申请(专利权)人：株式会社可乐丽，
类型：新型
国别省市：日本;JP