具备鼓风机的激光振荡器制造技术

提供一种具备鼓风机的激光振荡器，在以往技术中，问题在于，解除激光振荡器的暂时停止，在开始生成激光时，激光介质的压力由于热影响等上升至生成激光时的压力目标值以上。激光振荡器具备控制部、激光介质流路、谐振器部、鼓风机、压力检测部、激光介质供排部以及暂时停止指令部。当被指令暂时停止时，控制部控制谐振器部使激光的生成动作停止，控制鼓风机使该鼓风机的转速从第一转速减速至第二转速，控制激光介质供排部使得压力成为第二目标值。将第二目标值设定为比鼓风机的转速成为第二转速的时刻的压力低的值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具备鼓风机的激光振荡器。
技术介绍
已知一种技术，即在使激光振荡器的动作暂时停止时，对激光振荡器的激光介质流路内的激光介质的压力进行控制(例如，日本特开2011-228624号公报)。在上述现有技术中，问题在于，在解除激光振荡器的暂时停止并开始生成激光时，激光介质的压力由于热影响等上升至生成激光时的压力目标值以上。
技术实现思路
在本专利技术的一个方式中，激光振荡器具备：控制部；激光介质流路，其形成激光介质的流路；谐振器部，其使用流过激光介质流路的激光介质生成激光；以及鼓风机，其在激光介质流路中使激光介质流动。另外，激光振荡器具备：压力检测部，其检测激光介质流路中的激光介质的压力；激光介质供排部，其向激光介质流路供给激光介质，从激光介质流路排出激光介质；以及暂时停止指令部，其将谐振器部的激光生成的暂时停止向控制部进行指令。控制部在暂时停止指令部指令暂时停止前，控制鼓风机使得该鼓风机以预定的第一转速进行旋转，并且控制激光介质供排部使得压力成为第一目标值。另外，控制部在暂时停止指令部指令暂时停止时，控制谐振器部使激光的生成动作停止，控制鼓风机使该鼓风机的转速减速至小于第一转速的第二转速。此时，控制部控制激光介质供排部使得压力成为第二目标值。在此，将该第二目标值设定为比鼓风机的转速成为第二转速的时刻的压力低的值。也可以使用P2＝Pn-Pn×ΔPa/P1的式子求出第二目标值P2。在此，P1为第一目标值，P2为第二目标值，Pn为鼓风机的转速成为第二转速的时刻的压力，ΔPa
为使控制部已停止的谐振器部的动作恢复时的压力的上升幅度。第二转速也可以为零。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式所涉及的激光振荡器的图。图2是图1示出的激光振荡器的框图。图3是表示图1示出的激光振荡器的动作流程的一例的流程图。图4是表示时间t与鼓风机的转速R之间的关系的图表。图5是表示在将第二目标值P2设定为在图3中的步骤S5判断为“是”的时刻的压力Pn的情况下的、时间t与激光介质的压力P之间的关系的图表。图6是表示在将第二目标值P2设定为比在图3中的步骤S5判断为“是”的时刻的压力Pn低的值的情况下的、时间t与激光介质的压力P之间的关系的图表。具体实施方式以下，根据附图详细说明本专利技术的实施方式。首先，参照图1和图2说明本专利技术的一个实施方式所涉及的激光振荡器10。激光振荡器10具备控制部12、谐振器部14、激光介质流路16、鼓风机18、压力检测部20、激光介质供排部22以及暂时停止指令部24。控制部12直接或者间接地控制激光振荡器10的各结构要素。谐振器部14根据来自控制部12的指令生成激光。具体地说，谐振器部14具有输出镜26、后视镜27以及放电管28。输出镜26与后视镜27相互相对地配置。放电管28为中空的要素，配置在输出镜26与后视镜27之间。输出镜26由具有99％以上反射率的部分反射镜(所谓半反射镜)构成。另一方面，后视镜27由全反射镜构成。放电管28内部与激光介质流路16连通。放电管28具有相互相对配置的放电电极(未图示)，这些放电电极与激光电源29进行电连接。激光电源29根据来自控制部12的指令，对放电电极施加电压。对放电管28内部供给二氧化碳、氮气、氩气等激光介质。当对放电电极施加电压时，通过在放电电极之间产生的放电激励激光介质，并生成激光。在放电管28内生成的激光在输出镜26与后视镜27之间通过光谐振而被放大，
通过输出镜26作为输出激光30向外部射出。激光介质流路16与放电管28内部连通，形成在放电管28内部流动的激光介质的流路。具体地说，激光介质流路16由与放电管28的一端和另一端相连接的闭环的流路管构成。在激光介质流路16封装激光介质。鼓风机18设置在激光介质流路16内的预定位置。具体地说，鼓风机18例如由风扇或者风机构成，具有包含多个叶片的旋转体以及使该旋转体进行旋转驱动的电动机(均未图示)。在鼓风机18上连接有鼓风机逆变器32。鼓风机逆变器32根据来自控制部12的指令，向鼓风机18供给电力。鼓风机18通过从鼓风机逆变器32供给的电力，使上述旋转体进行旋转。由此，鼓风机18使激光介质流路16内的激光介质产生压力变动，使激光介质向图1中的箭头34示出的方向流动。其结果，激光介质经由激光介质流路16被导入到放电管28内部，通过放电管28内，从放电管28排出。为了抑制鼓风机18的发热，在激光介质流路16设置有冷却装置36。冷却装置36具有在冷却通路38内使制冷剂循环的制冷剂循环装置40以及使制冷剂35冷却的制冷剂冷却装置42。使用流过冷却通路38内的制冷剂对鼓风机18进行冷却。作为该制冷剂，例如能够使用冷却水。制冷剂循环装置40由加压制冷剂的泵等构成。另一方面，制冷剂冷却装置42由例如通过与大气之间的热交换使制冷剂冷却的换热器等构成。在鼓风机18的上游侧和下游侧的激光介质流路16上分别配置有第一换热器44和第二换热器46。对第一换热器44和第二换热器46分别供给制冷剂(例如冷却水)。通过与该制冷剂之间的热交换在第一换热器44和第二换热器46通过时对激光介质进行冷却，使之保持为规定温度。将压力检测部20设置在激光介质流路16内的预定位置。在本实施方式中，将压力检测部20配置在鼓风机18的上游侧且放电管28的下游侧的位置。压力检测部20例如包含能够对气体等流体的压力进行测量的压力传感器。压力检测部20根据来自控制部12的指令，对激光介质流路16内的激光介质的压力进行测量，将与压力有关的数据发送到控制部12。激光介质供排部22根据来自控制部12的指令，对激光介质流路16供给激光介质，并使激光介质从激光介质流路16排出。具体地说，激光介质供排部22具有供气流路48、供气装置50、排气流路52、排气阀54以及排气装置56。供气流路48的一端与储存激光介质的存储罐(未图示)连接，其另一端在放电管28的上游侧与激光介质流路16连接。上述存储罐的内部维持在比激光介质流路16内部高的压力。供气装置50设置在供气流路48中。供气装置50由对供气流路48的开口面积进行变更的可变阀那样的、能够使供气流路48打开和关闭的阀构成。供气装置50根据来自控制部12的指令，使供气流路48打开和关闭。当通过供气装置50打开供气流路48时，如箭头58所示，将储存在存储罐内的激光介质经由供气流路48提供给激光介质流路16。排气流路52的一端例如配置在大气中，其另一端在放电管28的上游侧与激光介质流路16连接。排气阀54和排气装置56设置在排气流路52中。排气阀54例如由对排气流路52的开口面积进行变更的可变阀那样的、能够使排气流路52打开和关闭的阀构成。排气装置56例如由风扇构成，从激光介质流路16吸入激光介质，如箭头60所示，经由排气流路52从激光介质流路16排出激光介质。排气装置56与排气逆变器62电连接，由经由排气逆变器62供给的电力进行驱动。根据排气装置56的驱动电力(转速)和排气阀54的开度，能够从激光介质流路16排出激光介质。暂时停止指令部24从用户接收使谐振器部14的激光生成暂时停止的意思的指令，将暂时停止指令发送到控制部12。作为一例，暂时停止指令部24包括按压式开关。在该情况下，暂时停止指令部24在用户按本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光振荡器(10)，其特征在于，具备：控制部；激光介质流路，其形成激光介质的流路；谐振器部，其使用流过上述激光介质流路的上述激光介质生成激光；鼓风机，其使上述激光介质在上述激光介质流路中流动；压力检测部，其检测上述激光介质流路中的上述激光介质的压力；激光介质供排部，其向上述激光介质流路供给上述激光介质，从上述激光介质流路排出上述激光介质；以及暂时停止指令部，其将上述谐振器部的激光生成的暂时停止向上述控制部进行指令，在上述暂时停止指令部指令暂时停止前，上述控制部控制上述鼓风机使得上述鼓风机以预定的第一转速进行旋转，并且控制上述激光介质供排部使得上述压力成为第一目标值，如果通过上述暂时停止指令部指令暂时停止，则上述控制部控制上述谐振器部停止激光的生成动作，控制上述鼓风机而使该鼓风机的转速减速至小于上述第一转速的第二转速，控制上述激光介质供排部，使得上述压力成为比上述鼓风机的转速成为上述第二转速的时刻的上述压力更低的第二目标值。

【技术特征摘要】
2015.02.16 JP 2015-0280211.一种激光振荡器(10)，其特征在于，具备：控制部；激光介质流路，其形成激光介质的流路；谐振器部，其使用流过上述激光介质流路的上述激光介质生成激光；鼓风机，其使上述激光介质在上述激光介质流路中流动；压力检测部，其检测上述激光介质流路中的上述激光介质的压力；激光介质供排部，其向上述激光介质流路供给上述激光介质，从上述激光介质流路排出上述激光介质；以及暂时停止指令部，其将上述谐振器部的激光生成的暂时停止向上述控制部进行指令，在上述暂时停止指令部指令暂时停止前，上述控制部控制上述鼓风机使得上述鼓风机以预定的第一转速进行旋转，并且控制上述激光介质供排部使得上述压...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾明彦，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP