【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电荷粒子射线的射束轴调整装置,其特征在于该装置包括:射束位置检测器,其设置于电荷粒子射线的射束输送系统中;转向机构,其用于对应于该射束位置检测器的输出、调整射束轴的位置,该机构设置于该射束轴位置检测器的进入侧,其由可调整射束轴的 位置的转向电磁铁或偏转电磁铁形成。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:片冈昌治,立川敏树,
申请(专利权)人:住友重机械工业株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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