【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及离子注入机的一种照明连锁装置。
技术介绍
首先随着半导体产业的迅速发展，离子注入机作为其产业的重要一环，在市场的地位越来越大。同时对工艺提出了更高的要求，不仅需要技术更先进，精度更高的设备，还需要更加人性化、更加方便实用的离子注入机。其次，能源问题已经是二十一世纪经济发展的首要问题。任何设备的投入使用都有着严格的耗能指标。离子注入机作为国家重点的高科技装备，更应该在节能的方面起到表率作用。
技术实现思路
本专利技术是针对上述现有技术中存在的问题而提出的一种用于离子注入机的照明连锁装置。本专利技术通过以下技术方案实现：一种离子注入机的照明连锁装置。包括主电路和控制电路。主电路由断路器(QF)、接触器(KM)和照明灯(L1～L3)组成，通过断路器(QF)和接触器控制主电路的通断，具体连接方式如图1所示。控制回路由行程开关(SQ1～SQ5)、继电器(K1～K5)和24V开关电源组成，通过门动作触发行程开关控制接触器(KM)的通断，具体连接方式如图2所示。相对现有技术，本专利技术所述电路的有益效果在于：1.照明可以实现连锁控制。打开任意门，都能使照明灯亮，只有关闭所有
门，才能使照明灯灭。2.节能方便。不需要照明时，灯会自动关闭。附图说明图1：是本专利技术所述离子注入机的照明连锁装置的主电路图。图2：是本专利技术所述离子注入机的照明连锁装置的控制电路图。具体实施方式当操作员开任意门时，门触发行程开关(SQ)的常开触点闭合，中间继电器线圈(K)通电，触点吸合，从而使接触器线圈(KM)通电，触点闭合，主电路通电，照明灯(L1～L3)亮；当操...
【技术保护点】
一种离子注入机的照明连锁装置。包括主电路和控制电路。
【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的照明连锁装置。包括主电路和控制电路。2.如权利要求1所述的一种照明连锁装置，其特征在于：照明可...
【专利技术属性】
技术研发人员：马少志，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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