分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置，属于超精密测量领域。该装置解决了基于PBS分光的移相干涉共焦系统中存在的抗干扰能力差，系统结构复杂、集成度低的问题。本发明专利技术装置主要包括四路移相干涉光路和分瞳式共焦差分探测光路；该装置利用二维Ronchi光栅分出的四束光，经偏振移相阵列后，转变成相位差依次为90°的线偏振光；1、3象限两束光通过分瞳式位相滤波器实现正移焦，2、4象限两束光通过分瞳式位相滤波器实现负移焦；最后利用CCD相机构成的软针孔阵列同时采集四路干涉、共焦信号。本发明专利技术将移相干涉与共焦差分探测集成在同一光路，可在较大测量范围内实现微位移测量。

【技术实现步骤摘要】
201610317208

【技术保护点】
一种分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置，其特征在于：包括激光器(1)、检偏器(2)、准直扩束镜(3)、1/2波片(4)、偏振分光棱镜(5)、第一1/4波片(6)、第一测量物镜(7)、被测物(8)、第二1/4波片(9)、参考反射镜(10)、第三1/4波片(11)、二维Ronchi光栅(12)、分光光阑(13)、偏振移相阵列(14)、分瞳式位相光瞳滤波器(15)、收集物镜(16)、CCD相机(17)；其中激光器(1)、检偏器(2)、准直扩束镜(3)、1/2波片(4)、偏振分光棱镜(5)、第一1/4波片(6)、被测物(8)、第二1/4波片(9)、参考反射镜(10)、第三1/4波片(11)组成泰曼格林干涉系统；二维Ronchi光栅(12)、分光光阑(13)与偏振移相阵列(14)组成四路分光移相偏振结构；激光器(1)、第一测量物镜(7)、被测物(8)与分瞳式位相光瞳滤波器(15)、收集物镜(16)、CCD相机(17)组成差分共焦探测装置。

【技术特征摘要】
1.一种分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置，其特征在于：包括激光器(1)、检偏器(2)、准直扩束镜(3)、1/2波片(4)、偏振分光棱镜(5)、第一1/4波片(6)、第一测量物镜(7)、被测物(8)、第二1/4波片(9)、参考反射镜(10)、第三1/4波片(11)、二维Ronchi光栅(12)、分光光阑(13)、偏振移相阵列(14)、分瞳式位相光瞳滤波器(15)、收集物镜(16)、CCD相机(17)；其中激光器(1)、检偏器(2)、准直扩束镜(3)、1/2波片(4)、偏振分光棱镜(5)、第一1/4波片(6)、被测物(8)、第二1/4波片(9)、参考反射镜(10)、第三1/4波片(11)组成泰曼格林干涉系统；二维Ronchi光栅(12)、分光光阑(13)与偏振移相阵列(14)组成四路分光移相偏振结构；激光器(1)、第一测量物镜(7)、被测物(8)与分瞳式位相光瞳滤波器(15)、收集物镜(16)、CCD相机(17)组成差分共焦探测装置。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄向东，谭久彬，向小燕，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23