多电极堆叠布置制造技术

本发明专利技术涉及一种电极堆叠(70)，其包括用于操纵沿着光轴(A)的带电粒子束的堆叠的电极(71‑80)。每个电极包括电极主体，该电极主体具有用于所述带电粒子束的孔。电极主体相互间隔开并且电极孔沿着光轴同轴地对准。电极堆叠包括介于每一对相邻的电极之间的电绝缘间隔结构(89)，电绝缘间隔结构(89)用于沿着轴向方向(Z)以预定相互距离来定位电极(71‑80)。第一电极和第二电极各自包括具有一个或多个支撑部分(86)的电极主体，其中每个支撑部分被配置为容纳至少一个间隔结构(89)。电极堆叠具有至少一个夹紧构件(91‑91c)，夹紧构件(91‑91c)被配置为将第一电极和第二电极的支撑部分(86)以及中间间隔结构(89)保持在一起。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480071827

【技术保护点】
一种电极堆叠(70)，特别地为准直器电极堆叠，其中所述电极堆叠包括：‑多个堆叠的电极(71‑80)，其用于操纵沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个电极包括具有电极孔(82)的电极主体(81)，所述电极孔(82)用于容许所述带电粒子束通过，其中所述电极主体沿着与所述光轴基本上平行的轴向方向(Z)相互间隔开，并且其中所述电极孔沿着所述光轴同轴地对准，以及‑间隔结构(89)，其主要由电绝缘材料构成，并且布置在每一对相邻的电极之间，以用于沿着所述轴向方向(Z)以预定相互距离来定位所述电极(71‑80)；其中第一电极和第二电极(71‑80)各自包括具有一个或多个支撑部分(86)的电极主体(81)，其中每个支撑部分被配置为容纳至少一个间隔结构(89)，其中所述电极堆叠形成有至少一个夹紧构件(91‑91c)，所述至少一个夹紧构件(91‑91c)被配置以用于将所述第一电极和所述第二电极的相应的支撑部分(86)与位于所述第一电极和所述第二电极之间的所述至少一个间隔结构(89)保持在一起。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：WH乌尔巴努斯，MJJ维兰德，
申请(专利权)人：迈普尔平版印刷IP有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL