稀释剂组合物制造技术

公开了稀释剂组合物，包括：丙二醇C1‑C10烷基醚；C1‑C10烷基C1‑C10烷氧基丙酸酯；和C1‑C10烷基乳酸酯，从而可以提高光致抗蚀剂的适用性，同时显著减少光致抗蚀剂的使用量以及对不同的光致抗蚀剂、BARC和底层具有优异的溶解性和EBR性能。

【技术实现步骤摘要】
201610081251

【技术保护点】
稀释剂组合物，包括：丙二醇C1‑C10烷基醚；C1‑C10烷基C1‑C10烷氧基丙酸酯；和C1‑C10烷基乳酸酯。

【技术特征摘要】
2015.02.06 KR 10-2015-00185101.稀释剂组合物，包括：丙二醇C1-C10烷基醚；C1-C10烷基C1-C10烷氧基丙酸酯；和C1-C10烷基乳酸酯。2.根据权利要求1所述的稀释剂组合物，其中所述丙二醇C1-C10烷基醚为选自由丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚和丙二醇丁醚所组成的组中的至少一种。3.根据权利要求1所述的稀释剂组合物，其中所述C1-C10烷基C1-C10烷氧基丙酸酯为选自由甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸甲酯、甲氧基丙酸乙酯和乙氧基丙酸乙酯所组成的组中的至少一种。4.根据权利要求1所述的稀释剂组合物，其中所述C1-C10烷基乳酸酯为选自由乳酸甲酯、乳酸乙酯...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔哲珉，宋寅珏，李京浩，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR