一种可在线更换籽晶的方法技术

本发明专利技术公开了可在线更换籽晶的方法，使用一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括如下步骤：打开电动挡板阀；将籽晶从主炉腔提升至副炉腔中；关闭电动挡板阀；打开冷却阀通入冷却气体；开启炉门更换籽晶；打开电动挡板阀并对主炉腔内部抽真空；下降籽晶杆重新引晶。上述泡生法蓝宝石晶体生长炉具有主炉腔和副炉腔，炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开，在副炉腔左面设有冷却阀，右面设有开启副炉腔的炉门；籽晶杆安装在提拉系统上，并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖，最终到达主炉腔的内部。本发明专利技术能够实现在线更换籽晶，具有能耗低、生产成本低的优点，与此同时可有效避免因籽晶问题无法引晶而耽误生产周期的发生，确保生产的连续性。

【技术实现步骤摘要】
201610247987

【技术保护点】
一种可在线更换籽晶的方法，其特征在于：使用一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括如下步骤：①打开电动挡板阀；②将籽晶从主炉腔提升至副炉腔中；③关闭电动挡板阀；④打开冷却阀通入冷却气体；⑤开启炉门更换籽晶；⑥打开电动挡板阀并对主炉腔内部抽真空；⑦下降籽晶杆重新引晶。

【技术特征摘要】
1.一种可在线更换籽晶的方法，其特征在于：使用一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括如下步骤：①打开电动挡板阀；②将籽晶从主炉腔提升至副炉腔中；③关闭电动挡板阀；④打开冷却阀通入冷却气体；⑤开启炉门更换籽晶；⑥打开电动挡板阀并对主炉腔内部抽真空；⑦下降籽晶杆重新引晶。2.如权利要求1所述可在线更换籽晶的方法，其特征在于：在步骤①中电动挡板阀的打开速率为3-5cm/min。3.如权利要求1所述可在线更换籽晶的方法，其特征在于：在步骤④中冷却气体的流量为1-10L/h。4.如权利要求1所述可在线更换籽晶的方法，其特征在于：在步骤⑦中待真空小于1.0×10-3pa后缓慢下降籽晶杆，籽晶杆的下降速度为0.5mm/min，待籽晶离熔体液面20-30mm处，停止下降籽晶，预热籽晶30分钟后下降籽晶至熔体液面，重新引晶。5.如权利要求1至4任一项所述可在线更换籽晶的方法，其特征在于：所述泡生法蓝宝石晶体生长炉包括主炉腔、炉盖、提拉系统、籽晶杆、籽晶、真空系统、管体、...

【专利技术属性】
技术研发人员：余剑云，李庆跃，李凯，张会选，徐峰，
申请(专利权)人：黄山市东晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34