【技术实现步骤摘要】
201610340121
【技术保护点】
一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，所述第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；所述第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，所述Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，所述第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；所述第二滑块安装有用于固定测试样品的夹具；所述X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头；第一读数头读取其与第一光栅尺平行的X轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算X轴上扫描点位置信息；第二读数头读取其与第二光栅尺平行的Y轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算Y轴上扫描点位置信息。
【技术特征摘要】
1.一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，所述第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；所述第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，所述Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，所述第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；所述第二滑块安装有用于固定测试样品的夹具；所述X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头；第一读数头读取其与第一光栅尺平行的X轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算X轴上扫描点位置信息；第二读数头读取其与第二光栅尺平行的Y轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算Y轴上扫描点位置信息。2.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述第一支架的两端还安装有X轴接近开关，X轴接近开关用于检测第一滑块与第一支架两端的距离，并传送至控制器产生使能信号来控制X轴传动机构工作。3.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述X轴支撑导向机构包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨对称固定在第一支架的两侧。4.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述第二支架的两端还安装有Y轴接近开关，Y轴接近开关用于检测第二滑块与第二支架两端的距离，并传送至控制器产生使能信号来控制Y轴传动机构工作。5.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述Y轴支撑导向机构包括第三导轨和第四导轨，所述第三导轨和第四导轨对称固定在第二支架的两侧。6.一种用于太赫兹无损检测的扫描成像装置，其特征在于，其包括如权利要求1-7任一所述的扫描台，以及太赫兹发射源，所述太赫兹发射源发射太赫兹波穿过测试样品。7.如权利要求6所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描成像装置，其特征在于，所述控制器与上位机采用位置串口和命令串口的这两种串口分离模式进行相互通信。8.一种如权利要求6-7任一所述的用于太赫兹无损检测的扫描成像装置的工作方法，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张延波，杨传法，孙中琳，常天英，刘陵玉，葛兆斌，张献生，
申请(专利权)人：山东省科学院自动化研究所，
类型：发明
国别省市：山东;37
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