MEMS电磁力驱动器及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种MEMS电磁力驱动器，包括一端为固定端另一端为悬空端的长方形线圈状悬臂梁、外电路输入电极、外电路输出电极、悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极，一绝缘垫高层位于覆盖于悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极上表面，绝缘垫高层具有输入通孔、输出通孔，位于所述线圈状悬臂梁固定端的输入端通过位于输入通孔内的导电柱与悬臂梁输入电极电连接，位于所述线圈状悬臂梁固定端的输出端通过位于输出通孔内的导电柱与悬臂梁输出电极电连接，线圈状悬臂梁下表面、输入通孔侧表面、输出通孔侧表面均覆有Si3N4绝缘层，线圈状悬臂梁上表面覆有Si3N4保护膜。本发明专利技术延长了器件的使用寿命，大大降低了电荷累积问题，减少了故障率，机械强度高，其驱动间隙变化大，实现了低驱动电压或者低驱动电流运行。

【技术实现步骤摘要】
201610383420

【技术保护点】
一种MEMS电磁力驱动器，其特征在于：包括一端为固定端另一端为悬空端的长方形线圈状悬臂梁（8）、外电路输入电极、外电路输出电极、悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极，所述外电路输入电极、外电路输出电极位于衬底上表面一端，所述悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极位于衬底上表面另一端，一绝缘垫高层位于覆盖于所述悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极上表面，所述绝缘垫高层具有输入通孔、输出通孔，位于所述线圈状悬臂梁（8）固定端的输入端通过位于输入通孔内的导电柱（10）与悬臂梁输入电极电连接，位于所述线圈状悬臂梁（8）固定端的输出端通过位于输出通孔内的导电柱（10）与悬臂梁输出电极电连接，所述线圈状悬臂梁（8）下表面、输入通孔侧表面、输出通孔侧表面均覆有Si3N4绝缘层（7），所述线圈状悬臂梁（8）上表面覆有Si3N4保护膜，位于所述线圈状悬臂梁（8）悬空端的Si3N4保护膜（9）下表面具有一金属接触电极，此金属接触电极与外电路输入电极、外电路输出电极在竖直方向留有间隙，并位于外电路输入电极、外电路输出电极上方；当电压或电流信号从悬臂梁输入电极（2a）引入，自下而上流过位于输入通孔内的导电柱（10），从固定端的线圈状悬臂梁（8）的输入端流进，从线圈状悬臂梁（8）的输出端流出，然后自上而下流过位于输出通孔内的导电柱（10），最后从悬臂梁输出电极（2b）导出，形成悬臂梁的工作回路，且外加一个水平方向的磁场时，线圈状悬臂梁（8）的悬空端在电磁力和静电力的共同作用下，下移动或者上移动，从而实现金属接触电极（6）的两端与外电路输入电极（3a）和外电路输出电极（3b）导通或者断开。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈娇艳，陈立军，程新利，王耀东，
申请(专利权)人：苏州科技学院，
类型：发明
国别省市：江苏;32