一种一体式石英双振梁加速度计制造技术

技术编号:13537649 阅读:72 留言:0更新日期:2016-08-17 11:17
本发明专利技术提供一种一体式石英双振梁加速度计,包括质量块和振梁,所述质量块通过折叠梁与固定框连接,所述振梁包括左振梁和右振梁,且所述左、右振梁与质量块构成反对称关系,所述左振梁的一端通过转接块与质量块连接,另一端通过转接块与固定框连接;所述右振梁的一端通过转接块与质量块连接,另一端通过转接块与固定框连接,所述左、右振梁均包括两根振梁,且两根振梁的极性相反。本发明专利技术采用一体式石英双振梁加速度计采用一个质量块,两对双振梁,采用MEMS工艺一体成型,相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点,另外采用双振梁,可以避免真空封装,在使用中更加稳定可靠。

【技术实现步骤摘要】
201610291353

【技术保护点】
一种一体式石英双振梁加速度计,包括质量块和振梁,其特征在于,所述质量块通过折叠梁与固定框连接,所述振梁包括左振梁和右振梁,且所述左、右振梁与质量块构成反对称关系,所述左振梁的一端通过转接块与质量块连接,另一端通过转接块与固定框连接;所述右振梁的一端通过转接块与质量块连接,另一端通过转接块与固定框连接,所述左、右振梁均包括两根振梁,且两根振梁的极性相反。

【技术特征摘要】
1.一种一体式石英双振梁加速度计,包括质量块和振梁,其特征在于,所述质量块通过折叠梁与固定框连接,所述振梁包括左振梁和右振梁,且所述左、右振梁与质量块构成反对称关系,所述左振梁的一端通过转接块与质量块连接,另一端通过转接块与固定框连接;所述右振梁的一端通过转接块与质量块连接,另一端通过转接块与固定框连接,所述左、右振梁均包括两根振梁,且两根振梁的极性相反。2.根据权利要求1所述的一体式石英双振梁加速度计,其特征在于,左振梁的两根梁前表面分别镀有金属电极;右振梁的两根梁前表面分别镀有金属电极。3.根据权利要求2所述的一体式石英双振梁加速度计,其特征在于,所述金属电极由两种不同极性的电极构成,所属金属电极包括中间电极、左侧电极和右侧电极,中间部分称为中间电...

【专利技术属性】
技术研发人员:张照云苏伟唐彬高杨彭勃陈颖慧熊壮
申请(专利权)人:中国工程物理研究院电子工程研究所
类型:发明
国别省市:四川;51

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