多探针测试组件制造技术

技术编号:13532581 阅读:114 留言:0更新日期:2016-08-15 23:53
本实用新型专利技术涉及一种用于晶圆芯片的自动化测试组件,尤其是多探针测试组件,包括安装座和固定于安装座上的探针盘,阵列探针固定于探针盘上,阵列探针通过导线与测试仪器实现电连接。本实用新型专利技术将安装座固定在全自动探针台的机械臂上,测试台上放置被测试晶圆片,阵列探针与晶圆片上的芯片单元接触,在多个测试仪器同时发出的测试信号作用下,可一次性完成多个芯片单元的电性能测试,大大提高了测试效率,降低了测试成本。

【技术实现步骤摘要】
201620060253

【技术保护点】
多探针测试组件,其特征在于:包括安装座和固定于安装座上的探针盘,阵列探针固定于探针盘上,阵列探针通过导线与测试仪器实现电连接;所述安装座为铝合金材质,所述探针盘为聚乙烯材质,所述阵列探针的同一列探针逐一连接同一个测试仪器。

【技术特征摘要】
1.多探针测试组件,其特征在于:包括安装座和固定于安装座上的探针盘,阵列探针固定于探针盘上,阵列探针通过导线与测试仪器实...

【专利技术属性】
技术研发人员:谢晓东
申请(专利权)人:绍兴科盛电子有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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