【技术实现步骤摘要】
201620012134
【技术保护点】
一种针对盐酸体系的蚀刻液再生循环设备,其特征在于:包括带有阳极(8)的阳室组件(6),所述阳室组件(6)设置于一对阴室组件(5)之间,在各阴室组件(5)内设置阴极(9);各阴室组件(5)的内侧与阳室组件(6)的两侧之间分别设置阴膜(7),于各阴室组件(5)的外侧也分别设置阴模(7);于所述阴室组件(5)的两端分别开设阴室进液口(1)及再生液出液口(4),于所述阳室组件(6)的两端分别开设阳室进液口(2)及残液出液口(3),各阳室组件(6)、阴室组件(5)及阴膜(7)均连接形成一体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭峰,郭志敏,陈启山,林元吉,佟永明,
申请(专利权)人:无锡市瑞思科环保科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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