一种惯性传感器的解粘连结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种惯性传感器的解粘连结构，包括位于惯性传感器质量块运动方向上的驱动装置，相对于止挡机构固定安装的驱动装置包括用于与质量块接触的顶针组件；所述驱动装置被配置为：当质量块与止挡机构发生粘连时，所述驱动装置发生位移，驱动顶针组件将质量块与止挡机构分离。本实用新型专利技术的解粘连结构，当质量块与止挡机构粘连在一起后，控制驱动装置发生位移，从而使顶针组件朝向质量块的方向移动，并最终驱动质量块与止挡机构分离，从而实现了质量块的解粘连，提高了惯性传感器的使用寿命。本实用新型专利技术的解粘连结构，可以借用质量块外侧的冗余边框结构来设计，从而不会增加芯片的占用面积，不会影响MEMS芯片的整体尺寸。

【技术实现步骤摘要】
201620007610

【技术保护点】
一种惯性传感器的解粘连结构，其特征在于：包括位于惯性传感器质量块(3)运动方向上的止挡机构；还包括位于惯性传感器质量块(3)运动方向上的驱动装置，相对于止挡机构固定安装的驱动装置包括用于与质量块(3)接触的顶针组件(10)；其中，所述驱动装置被配置为：当质量块(3)与止挡机构发生粘连时，所述驱动装置发生位移，驱动顶针组件(10)将质量块(3)与止挡机构分离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑国光，方华斌，孙艳美，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37