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一种低电容硅像素探测器制造技术

技术编号:13528841 阅读:85 留言:0更新日期:2016-08-15 11:42
本实用新型专利技术涉及一种低电容硅像素探测器,探测器的像素单元电极包括中心部、若干连接部及若干外围部,中心部通过连接部连接外围部,连接部与外围部沿圆周均布在中心部外围,中心部、连接部与外围部形成探测器像素单元电极,且像素单元电极的有效面积小于像素单元的上表面积。本实用新型专利技术的优点体现在:在保持探测器有效体积不变的前提下,通过减小探测器电极的有效面积达到减小探测器的电容,减小噪声,进而减小噪声提高信噪比,应用于能谱仪可提高能谱仪对能量的分辨率。

【技术实现步骤摘要】
201620259382

【技术保护点】
一种低电容硅像素探测器,其特征在于,探测器的像素单元电极包括中心部、若干连接部及若干外围部,中心部通过连接部连接外围部,连接部与外围部沿圆周均布在中心部外围,中心部、连接部与外围部形成探测器像素单元电极,且像素单元电极的有效面积小于像素单元的上表面积;所述中心部为圆形,连接部为杆形,外围部为以中心部为圆心的圆弧形,外围部两端也为圆弧形。

【技术特征摘要】
1.一种低电容硅像素探测器,其特征在于,探测器的像素单元电
极包括中心部、若干连接部及若干外围部,中心部通过连接部连接外
围部,连接部与外围部沿圆周均布在中心部外围,中心部、连接部与
外围部形成探测器像素单元电极,且像素单元电极的有效面积小于像
素单元的上表面积;
所述中心部为圆形,连接部为杆形,外围部为以中心部为圆心的
圆弧形,外围部两端也为圆弧形。
...

【专利技术属性】
技术研发人员:李正熊波李玉云刘曼文冯明富
申请(专利权)人:湘潭大学
类型:新型
国别省市:湖南;43

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