一种e型电子枪蒸发源制造技术

技术编号:13525602 阅读:195 留言:0更新日期:2016-08-14 20:00
本实用新型专利技术属于真空镀膜技术,具体涉及一种e型电子枪蒸发源。所述阴极由阴极基底上表面沉积石墨烯组成。所述阴极石墨烯的开启电压3‑5V。本实用新型专利技术有益效果:石墨烯阴极开启电压低,电子输出稳定,发射效率高,使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】
201620243389

【技术保护点】
一种e型电子枪蒸发源,包括熔池(1)、阴极(2)、屏蔽装置(3)和偏转系统(4),其特征在于:所述阴极(2)由阴极基底(22)上表面沉积石墨烯(21)组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:乔宪武
申请(专利权)人:中国计量学院
类型:新型
国别省市:浙江;33

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