一种绒面单晶硅的制备方法技术

本发明专利技术提供一种绒面单晶硅的制备方法，包括：将氢氧化钾、甘油、碳酸钾、柠檬酸脂肪酸甘油酯和水混合得到第一混合溶液，将单晶硅片在氢氟酸溶液中浸泡，然后在第一混合溶液中超声波振荡处理，清洗，干燥；在真空环境下，在单晶硅片表面沉积银纳米薄膜，退火；将氢氟酸、双氧水和水混合，得到第二混合溶液，将单晶硅片在第二混合溶液中浸泡，然后在硝酸溶液中浸泡，清洗，干燥后得到绒面单晶硅。碳酸钾增加金字塔结构的成核起点，提高成核密度。柠檬酸脂肪酸甘油酯具有羟基等亲水基团，使制绒液的表面张力减小，提高亲水性，使得制绒液更好地浸润硅片。因此，本发明专利技术提供的绒面单晶硅的制备方法绿色环保，制备的绒面单晶硅可以有效降低光反射。

【技术实现步骤摘要】
201610290387

【技术保护点】
一种绒面单晶硅的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤a)将10‑50质量份氢氧化钾、100‑200质量份甘油、10‑30质量份碳酸钾、50‑100质量份柠檬酸脂肪酸甘油酯和500‑800质量份去离子水混合，得到第一混合溶液，将单晶硅片在氢氟酸溶液中浸泡12‑24小时，然后在所述第一混合溶液中超声波振荡处理10‑20分钟，清洗，干燥；步骤b)在真空环境下，利用真空热蒸镀系统在所述步骤b得到的单晶硅片表面沉积银纳米薄膜，退火；步骤c)将100‑200质量份氢氟酸、20‑30质量份双氧水和700‑1000质量份去离子水混合，得到第二混合溶液，将步骤b处理后的单晶硅片在所述第二混合溶液中浸泡，然后在硝酸溶液中浸泡，清洗，干燥后得到绒面单晶硅。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏亮，
申请(专利权)人：宁波高新区夏远科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33