【技术实现步骤摘要】
201510016711
【技术保护点】
一种检测金属缺陷的方法，其特征在于，所述方法至少包括：1)提供待检测的金属线，所述金属线埋设在介质层中由介质层隔离；2)去除其中一条金属线一端上的介质层，露出该端头，并用探针接触；3)用电子束打在同一条金属线的另一端，并将电子束移向探针端，或者用电子束打在另一条金属线的一端上，并将电子束沿着金属线移动，电子束移动过程中，从探针端读取吸收电流值，若发现电流值出现变化，则说明在电流变化处存在金属缺陷。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：殷原梓，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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