【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480070583
【技术保护点】
一种图像处理方法，其特征在于，包括：第1步骤，其获取以半导体设备为对象而测定的测定图像、及对应于所述测定图像且表示所述半导体设备的图案的第1图案图像；第2步骤，其获取以所述半导体设备或作为与所述半导体设备不同的半导体设备的参照用半导体设备为对象而测定的参照用测定图像、及对应于所述参照用测定图像且表示所述参照用半导体设备的图案的第2图案图像；第3步骤，其基于所述第1图案图像与所述第2图案图像，获取表示所述第1图案图像与所述第2图案图像的相对关系的匹配信息；及第4步骤，其通过基于所述匹配信息求出所述测定图像与所述参照用测定图像的差分而获取比较图像。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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