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一种采用石墨烯光电器件的单片光电集成电路制造技术

技术编号:13516910 阅读:95 留言:0更新日期:2016-08-12 10:41
本发明专利技术公开了一种采用石墨烯光电器件的单片光电集成电路,其特征在于,包括:衬底;设置于所述衬底上的电路层;所述电路层上设置有包含石墨烯光电器件的光器件层;所述光器件层与所述电路层之间电性互联,并能将光器件层中传输的光信号转换成电信号传输至电路层,同时接收电路层传输过来的电信号,转换成光信号后继续在光器件层中进行传输。本发明专利技术采用石墨烯光电器件与现有的常规集成电路工艺基本兼容,只需在现有的常规集成电路工艺的基础上进行简单的扩展,就可以实现比较完整的、低成本、兼容性好的单片光电集成。

【技术实现步骤摘要】
201610290587

【技术保护点】
一种采用石墨烯光电器件的单片光电集成电路,其特征在于,包括:衬底;设置于所述衬底上的电路层;所述电路层上设置有包含石墨烯光电器件的光器件层;所述光器件层与所述电路层之间电性互联,并能将光器件层中传输的光信号转换成电信号传输至电路层,同时接收电路层传输过来的电信号,转换成光信号后继续在光器件层中进行传输。

【技术特征摘要】
1.一种采用石墨烯光电器件的单片光电集成电路,其特征在于,包括:衬底;设置于所述衬底上的电路层;所述电路层上设置有包含石墨烯光电器件的光器件层;所述光器件层与所述电路层之间电性互联,并能将光器件层中传输的光信号转换成电信号传输至电路层,同时接收电路层传输过来的电信号,转换成光信号后继续在光器件层中进行传输。2.根据权利要求1所述的一种采用石墨烯光电器件的单片光电集成电路,其特征在于,所述电路层包含的电路器件含有场效应器件和双极型器件中的一种或两种。3.根据权利要求2所述的一种采用石墨烯光电器件的单片光电集成电路,其特征在于,所述电路层包含的电路器件含有电阻、电容、可变电容、电感和耦合电感中的一种或几种。4.根据权利要求2或3中任意一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:邹望辉曾云
申请(专利权)人:湖南大学
类型:发明
国别省市:湖南;43

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