一种图形化蓝宝石衬底的回收方法技术

本发明专利技术公开了一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，包括以下步骤：在氮气和/或氢气的气氛下，对LED外延片进行高温烘烤，去除图形化蓝宝石衬底上的外延层；使用氢氧化钾溶液和/或氢氧化钠溶液，对高温烘烤后的图形化蓝宝石衬底进行腐蚀；使用超纯水对腐蚀后的图形化蓝宝石衬底进行清洗，从而得到能够重新使用的图形化蓝宝石衬底，极大地提高了图形化蓝宝石衬底的利用率，进而降低了LED芯片的生产成本。此外，该方法简单易行，安全方便，回收周期短，效果好。

【技术实现步骤摘要】
201510021864

【技术保护点】
一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：在氮气和/或氢气的气氛下，对LED外延片进行高温烘烤，去除图形化蓝宝石衬底上的外延层；使用氢氧化钾溶液和/或氢氧化钠溶液，对高温烘烤后的图形化蓝宝石衬底进行腐蚀；使用超纯水对腐蚀后的图形化蓝宝石衬底进行清洗。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡红坡，刘英策，袁述，
申请(专利权)人：广东量晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44