【技术实现步骤摘要】
201610137969
【技术保护点】
一种蚀刻过程中酸浓度的监控方法，其特征在于，所述方法包括：获取蚀刻体系当前已蚀刻的产品数量；根据所述产品数量和已建立的对应所述蚀刻体系的酸浓度变化模型，确定所述蚀刻体系当前蚀刻酸液中不同酸的浓度值，所述酸浓度变化模型用于表征蚀刻酸液中不同酸的浓度随蚀刻产品数量的变化关系。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐蕊，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。