胺取代的三甲硅烷基胺和三-二甲硅烷基胺化合物制造技术

本发明专利技术描述了不含卤素的被胺取代的三甲硅烷基胺和三‑二甲硅烷基胺化合物以及它们的制备方法，其中相应未取代的三甲硅烷基胺和胺在过渡金属催化剂的催化下进行脱氢偶联反应。这种新方法是基于Si‑H和N‑H结构部分的催化脱氢偶联以形成含Si‑N的化合物和氢气。此方法可以用过渡金属多相催化剂催化，例如负载在碳上的Ru(0)、负载在MgO上的Pd(0)，以及用作均相催化剂的过渡金属有机金属络合物。含‑Si‑N的产物是不含卤素的。这些化合物可以用于通过化学气相沉积方法沉积薄膜，或通过原子层沉积方法沉积含Si膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480064594

【技术保护点】
一种具有下式的化合物：其中n＝1‑3；m＝0‑3；k＝0‑3；R1、R3和R5独立地选自H，直链或支化的C1‑C6烷基，直链或支化的C1‑C8链烯基，直链或支化的C1‑C8炔基，C6‑C10芳基，直链或支化的C1‑C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或被直链或支化C1‑C6烷基取代的甲硅烷基；R2、R4和R6独立地选自直链或支化的C1‑C6烷基，直链或支化的C1‑C8链烯基，直链或支化的C1‑C8炔基，C6‑C10芳基，直链或支化的C1‑C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或被直链或支化C1‑C6烷基取代的甲硅烷基；R1R2N、R3R4N和R5R6N R1R2N、R3R4N和R5R6N可以是独立地选自以下的环状仲胺：氮丙啶、氮杂环丁烷、哌啶、吡咯烷、吡咯、咪唑、吡唑、吲哚或所述环状仲胺的任何在碳上被取代的衍生物，并且不包括具有式C18H48N4Si3、C15H41N3Si3、C6H21NSi3和C7H23NSi3的化合物，所述化合物不包括公知化合物：[(SiH3)2N]2SiH2。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.09.27 US 61/883,4521.一种具有下式的化合物：其中n＝1-3；m＝0-3；k＝0-3；R1、R3和R5独立地选自H，直链或支化的C1-C6烷基，直链或支化的C1-C8链烯基，直链或支化的C1-C8炔基，C6-C10芳基，直链或支化的C1-C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或被直链或支化C1-C6烷基取代的甲硅烷基；R2、R4和R6独立地选自直链或支化的C1-C6烷基，直链或支化的C1-C8链烯基，直链或支化的C1-C8炔基，C6-C10芳基，直链或支化的C1-C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或被直链或支化C1-C6烷基取代的甲硅烷基；R1R2N、R3R4N和R5R6NR1R2N、R3R4N和R5R6N可以是独立地选自以下的环状仲胺：氮丙啶、氮杂环丁烷、哌啶、吡咯烷、吡咯、咪唑、吡唑、吲哚或所述环状仲胺的任何在碳上被取代的衍生物，并且不包括具有式C18H48N4Si3、C15H41N3Si3、C6H21NSi3和C7H23NSi3的化合物，所述化合物不包括公知化合物：[(SiH3)2N]2SiH2。2.具有下式的化合物：其中n＝1-3；m＝0-3；k＝0-3；R1、R3和R5独立地选自H，直链或支化的C1-C6烷基，直链或支化的C1-C8链烯基，直链或支化的C1-C8炔基，C6-C10芳基，直链或支化的C1-C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或者被直链或支化C1-C6烷基取代的甲硅烷基；R2、R4和R6独立地选自直链或支化的C1-C6烷基，直链或支化的C1-C8链烯基，直链或支化的C1-C8炔基，C6-C10芳基，直链或支化的C1-C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或者被直链或支化C1-C6烷基取代的甲硅烷基；R1R2N、R3R4N和R5R6N R1R2N、R3R4N和R5R6N可以是独立地选自以下的环状仲胺：氮丙啶、氮杂环丁烷、哌啶、吡咯烷、吡咯、咪唑、吡唑、吲哚或所述环状仲胺的任何在碳上被取代的衍生物。3.具有下式的化合物：其中，R1、R2独立地选自直链或支化的C1-C6烷基，直链或支化的C1-C8链烯基，直链或支化的C1-C8炔基，C6-C10芳基，直链或支化的C1-C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或者被直链或支化C1-C6烷基取代的甲硅烷基；R3、R4和R5独立地选自H，直链或支化的C1-C6烷基，直
\t链或支化的C1-C8链烯基，直链或支化的C1-C8炔基，C6-C10芳基，直链或支化的C1-C6烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或者被直链或支化的C1-C6烷基取代的甲硅烷基，选自氮丙啶、氮杂环丁烷、哌啶、吡咯烷、吡咯、咪唑、吡唑、吲哚的环状仲胺或所述环状仲胺的任何在碳上被取代的衍生物，R1R2N可以是选自以下的环状仲胺：氮丙啶、氮杂环丁烷、哌啶、吡咯烷、吡咯、咪唑、吡唑、吲哚或所述环状仲胺的任何在碳上被取代的衍生物，其中R选自直链或支化的C1-C6烷基、直链或支化的C1-C8链烯基、直链或支化的C1-C8炔基、C6-C10芳基、直链或支化的C1-C6烷基醚。4.权利要求3的化合物，其具有下式：其中R1和R2＝乙基；R3、R4和R5＝H。5.权利要求3的化合物，其中R1、R2独立地选自H，甲基，乙基，异丙基和叔丁基；或NR1R2是具有3-8个碳原子的环状饱和或不饱和的环状胺，当R1是H时，R2不是甲基或乙基。6.权利要求3的化合物，其中R1、R2是乙基。7.一种制备根据权利要求1的化合物的方法，包括：a)使得反应物TSA和(R1R2NH)n和(R3R4NH)m和(R5R6NH)k在过渡金属催化剂的存在下接触以形成反应混合物；b)任选地将溶剂加入反应混合物；c)使得反应混合物保持在约0-250℃的温度下；d)进行反应以形成(R1R2N)n(R3R4N)m(R5R6N)k(NSi3H(9-n–m-k))；e)从反应混合物分离(R1R2N)n(R3R4N)m(R5R6N)k(NSi3H(9-n–m-k))；其中反应混合物的温度可以在合成期间变化，并且使得反应混合物的温度保持不会低于约0℃且不超过约250℃。8.权利要求5的方法，其中催化剂选自Ru、Pd、Rh、Ir、Fe、Ni、Pt、Cr、Cu和Au。9.一种制备根据权利要求2的化合物的方法，包括：a)使得反应物TDSA和(R1R2NH)n和(R3R4NH)m和(R5R6NH)k在过渡金属催化剂的存在下接触以形成反应混合物；b)任选地将溶剂加入反应混合物；c)...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·桑切斯，JM·吉拉尔，G·伊托夫，M·坎多尔沃，M·D·斯蒂芬斯，P·张，
申请(专利权)人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司，
类型：发明
国别省市：法国;FR