支撑设备及支撑方法技术

一种支撑设备及支撑方法。支撑设备包括：承载基板，用于承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间，其中所述分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种。支撑设备包括：承载基板，用于承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间，其中所述分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。【专利说明】
本专利技术的实施例涉及一种。
技术介绍
在显示基板的制备过程中，需要对显示基板进行各种加工处理，例如蒸镀、溅射等。在进行各种加工处理时，通常采用承载基板支撑显示基板。在加工处理结束之后，承载基板与显示基板被一同传送到分离腔室，通过顶销基座将显示基板顶起，以实现显示基板与承载基板的分离。在该分离过程中，由于显示基板与顶销的接触面积较小，显示基板在与顶销接触的位置处承受压力，从而容易损伤显示基板，导致产品缺陷，尤其是对于大尺寸的显示基板而言可能会导致严重的形变量。
技术实现思路
本专利技术的一个方面提供了一种支撑设备，包括:承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间；其中所述分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。在一个实施例中，所述承载基板在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第一通孔;所述支承装置还包括分离装置，所述分离装置包括第一突出部;并且所述第一突出部可穿过所述第一通孔并将所述分压板顶起。在一个实施例中，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一通孔对应的定位结构和/或结合结构。在一个实施例中，所述定位结构为从所述分压板的面向所述承载基板的一侧向远离所述承载基板的一侧延伸的盲孔。在一个实施例中，所述第一突出部上设置有另一结合结构；并且所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构相互结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。在一个实施例中，所述分压板上的结合结构和所述第一突出部上的另一结合结构通过磁性吸附力而相互结合。在一个实施例中，所述承载基板的所述第一主表面上设有支撑结构，该支撑结构支撑所述被承载部件。在一个实施例中，所述支撑结构设置有粘结部，该粘结部将所述被承载部件粘结至所述承载基板。在一个实施例中，所述支撑结构在从所述承载基板到所述被承载部件的方向上的尺寸大于所述分压板的厚度。在一个实施例中，所述承载基板的所述第一主表面上设置有第一固定结构;所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一固定结构相对应的第二固定结构;并且所述第一固定结构和所述第二固定结构相互结合以将所述分压板固定到所述承载基板。在一个实施例中，所述第一固定结构和所述第二固定结构通过磁性吸附力而彼此全士么云口口 ο在一个实施例中，所述承载基板设有贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第二通孔;所述分压板设置有与所述第二通孔位置相对应的通孔;所述支撑设备还包括转移装置，该转移装置包括第二突出部;并且所述第二突出部可穿过所述第二通孔和所述分压板的所述通孔。在一个实施例中，所述第二突出部包括设置在其端部的吸附装置。本专利技术的另一个方面提供了一种支撑方法，包括:提供承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面;提供分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间；使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动，以带动所述被承载部件与所述承载基板分离。在一个实施例中，所述承载基板在其厚度方向上设置贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第一通孔;并且使所述分压板向远离所述承载基板的一侧运动以带动所述被承载部件与所述承载基板分离包括:提供分离装置，所述分离装置包括第一突出部;并且使所述第一突出部穿过所述第一通孔且将所述分压板顶起，从而所述分压板带动所述被承载部件与所述承载基板分离。在一个实施例中，所述分压板的面向所述承载基板的表面上设置有位置与所述第一通孔对应的定位结构和/或结合结构;所述第一突出部穿过所述第一通孔后通过所述定位结构和/或结合结构与所述分压板结合，以在所述第一突出部将所述分压板顶起的过程中所述第一突出部与所述分压板相互固定。在一个实施例中，所述承载基板设有贯穿所述第一主表面和所述第二主表面的第二通孔;所述分压板设置有与所述第二通孔位置相对应的通孔;并且所述支撑方法还包括:提供转移装置，该转移装置包括第二突出部;并且在所述第二突出部穿过所述第二通孔和所述分压板的所述通孔之后，所述被承载部件被放置在所述第二突出部上，然后控制第二突出部运动以将放置在其上的被承载部件移动至所述承载基板上。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本专利技术的一些实施例，而非对本专利技术的限制。图1a为本专利技术实施例的支撑设备的俯视示意图；图1b为沿图1a的A-Al方向的剖视示意图；图2a为本专利技术实施例的设有第一通孔的承载基板的结构示意图；图2b为本专利技术实施例的分离装置结构示意图；图3为本专利技术实施例的将被承载部件与承载基板分离的示意图；图4a为本专利技术实施例的分压板设有盲孔的俯视示意图；图4b为图4a的侧视不意图；图5a为本专利技术实施例的第一突出部设有另一结合结构的示意图；图5b为本专利技术实施例的分压板设有结合结构的示意图；图6a为本专利技术实施例的在承载基板上设置支撑结构的俯视示意图；图6b为沿图6a的C-Cl方向的剖视示意图；图7a为本专利技术实施例的承载基板设置第一固定结构的俯视示意图；图7b为本专利技术实施例的分压板设置第二固定结构的俯视示意图；图8为本专利技术实施例的转移装置将被承载部件转移至承载基板的示意图；以及图9为本专利技术实施例的承载基板上设置多个分压板的俯视示意图。【具体实施方式】为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的一个方面提供了一种支撑设备，包括:承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间。分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。例如，在分离所述被承载部件与所述承载基板时，所述分压板向远离所述承载基板的方向运动以带动所述被承载部件与所述承载基板分离。在根据本专利技术实施例的支撑设备中，通过设置分压板，可避免被承载部件在与承载基板分离时受到损伤，提高产品良率;例如，在施加外力以分离被承载部件与承载基板时，该外力可以直接施加在分压板上而不直接施加在被承载部件上，以避免被承载部件收到损伤。例如，被承载部件为显示基板;在此情形下，通过设置分压板，可避免显示基板在与承载基板分尚时受到损伤，提尚广品良率，尤其是对于大尺寸显不基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种支撑设备，包括：承载基板，承载被承载部件，所述承载基板具有面向所述被承载部件的第一主表面以及位于所述第一主表面的相反侧的第二主表面；以及分压板，设置在所述承载基板的第一主表面上并位于所述承载基板和所述被承载部件之间，其中所述分压板构造为可带动所述被承载部件与所述承载基板分离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏志玮，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11