用于透镜组件的UV保护涂层制造技术

一种透镜组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。一种方法，包括：应用光吸收剂，该光吸收剂不向透镜透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及配置该光吸收剂和该粘合剂从而使得所吸收的光无法入射至该粘合剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】用于透镜组件的UV保护涂层 本申请要求2013年9月6日提交的美国申请序列号14/020102在美国法典第35篇第120条款下的优先权的权益，其内容通过引用以其全文依赖且结合在此。
本说明书总体上涉及透镜的保护涂层以及用于将透镜粘附至光学系统的方法。
技术介绍
透镜系统被用于各种最终用户应用，包括用于光刻和半导体检查设备。在这些应用中，来自光源的光被引入到系统以便进行操作。然而，在一些应用中，引入到透镜元件的UV光可降解(degrade)被定位成将透镜元件耦合至透镜固持器的粘合剂。粘合剂的降解可导致透镜元件的未对准。从而，用于光学系统的UV保护涂层是可期望的。
技术实现思路
根据一个实施例，描述了一种光学组件，包括:透镜;光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光;透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。在另一个实施例中，描述了一种光学组件，包括:透镜;光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及定位于该光吸收剂上的保护层。在又一个实施例中，描述了一种用于减少光学组件中的粘合剂的降解的方法，包括:将光吸收剂应用于透镜，其中，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光;配置所述光吸收剂和所述粘合剂从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至所述粘合剂。附加特征以及优点将在以下详细描述中予以阐明、并且部分从该描述中对本领域普通技术人员而言将变得非常明显或者通过实践本文中所描述的实施例很容易被识别，包括以下详细描述、权利要求书以及所附附图。应当理解，上述概括描述和以下详细描述两者均描述各实施例并且旨在为理解所请求保护的主题的本质和特征提供概要或框架。附图被包括以便提供对各实施例的进一步理解，并被结合在本说明书中并构成本说明书的一部分。附图展示了本文所描述的各实施例，并且与详细描述一起用于解释所请求包括的主题的原理和操作。【附图说明】附图中阐明的实施例在本质上是说明性的且示例性的并且并不旨在限制由权利要求书限定的主题。当结合以下附图阅读时，能够理解说明性实施例的以下详细描述，其中，相似结构用相似参考数字指示，并且在附图中:图1示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的光学系统的切除前视图；图2示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的俯视图；图3示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的沿图2的线A-A示出的截面前视图；图4示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的在图3的视图J示出的详细截面前视图；图5示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的俯视图；图6示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的沿图5的线B-B示出的截面前视图；图7示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的用于将透镜粘附至透镜固持器的层状结构；图8示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的包括防反射层和保护层的用于将透镜粘附至透镜固持器的层状结构；图9示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的包括多个防反射层和多个吸收剂的用于将透镜粘附至透镜固持器的层状结构；以及图10是根据实施例示出了透镜组件的透射率和反射率的图。【具体实施方式】现在将详细参照具有透镜和透镜固持器的透镜组件以及用于将透镜粘附至透镜组件的方法的各实施例。结合透镜组件的光学系统的各实施例可包括透镜和透镜固持器。该透镜可通过粘合剂固定到该透镜固持器上。该粘合剂以多种配置被安排在透镜被配置成与透镜固持器相接触的位置处。在各实施例中，包括透镜和透镜固持器的该透镜组件可被结合在包括光源以便向透镜提供光的光学系统中。该光源可具有能够在粘合剂暴露于光源时降解粘合剂的波长。因此，在各实施例中，该透镜组件包括被定位以便防止粘合剂暴露于降解光的吸收剂。参考图1，示意性地描绘了光学系统90的一部分，为了简洁，某些部件被切除。在所描绘的实施例中，光学系统90包括光源92、至少一个波束成形元件94、透镜组件100以及零件载体96。透镜组件100包括透镜固持器110和透镜130。由光源92提供的光被引导通过透镜组件100的透镜130，其朝向被支撑在零件载体96上的工件80透射并反射光。光学系统90可被用于在工件80上例如以光刻工艺进行制造操作，例如检查工件80或修改工件80。现在参考图2，描绘了透镜组件100的一个实施例。在此实施例中，透镜组件100包括透镜固持器110和透镜130。在图3中以横截面被示出的透镜固持器110包括紧固部分112和透镜支撑部分118。紧固部分112包括多个安装元件114，该多个安装元件提供固定位置以便耦合光学系统中的透镜固持器110和/或光学系统内的其他透镜固持器。在图2示出的实施例中，通孔穿过紧固部分112。紧固部分112也可包括定时元件116，例如键和/或键槽。定时元件116可提供光学系统90的相邻部件之间的定向参考从而使得光学系统90的部件的对准能够被维持。在所描绘的实施例中，透镜支撑部分118以径向地向内定向从紧固部分112延伸。如在图4中详细描绘的，透镜支撑部分118可包括平坦部分124和波形形状部分126。在此实施例中，波形形状部分126位于距离平坦部分124的径向地向内位置处。波形形状部分126可被成形为符合在透镜130通过粘合剂140耦合至透镜支撑部分118的位置处的透镜130的大体形状。参考图4，透镜130的附接部分134用粘合剂140耦合至透镜支撑部分118。在一些实施例中，粘合剂140定位在围绕透镜130以圆周定向被安排的多个位置处。粘合剂140的区域可在粘合剂140的区域之间的中间周向位置处彼此分离，从而使得透当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透镜组件，包括：透镜；光吸收剂，所述光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，所述粘合剂被配置成将所述透镜粘附至所述透镜固持器，其中，所述光吸收剂被定位成使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至所述粘合剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·J·康杰米，R·D·格雷伊达，K·E·罕福德，JF·澳达德，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US