三维形状测量装置的高度测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术的三维形状测量装置的高度测量方法，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，获得第一图案图像及第二图案图像的步骤，多个第二照明装置以与多个第一照明装置交互的方式配置，第二等值波长不同于第一等值波长；对由在多个第一照明装置及多个第二照明装置中互相相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置获得的多个第一图案图像及多个第二图案图像进行组合生成多个组合图案图像的步骤；算出测量对象物的多个高度的步骤，测量对象物的多个高度基于多个组合图案图像的组合等值波长；利用测量对象物的多个高度来设定测量对象物的代表高度的步骤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及三维形状测量装置，更为详细地涉及照射网格图案光来测量测量对象物的三维形状的三维形状测量装置。
技术介绍
电子装置内通常都设置有至少一个印刷电路板(printedcircuitboard：PCB)，在这种印刷电路板上安装有多个多种形状的元件。为了检查这些多个元件的不良等，通常使用三维形状测量装置。以往的三维形状测量装置利用照相机拍摄产生于照明部的网格图案光的反射图像，并利用所拍摄的上述反射图像来测量三维形状，上述三维形状基于如印刷电路板等的测量对象物的高度。如上所述的三维形状测量装置使得与从照明装置照射的网格图案光的倾斜间隔相对应的等值波长和测量对象物的可测量高度大体成比例，并且无法无限增加如上所述的等值波长，只能够在规定的范围进行增加。因而，当测量对象物的高度超过基于从照明装置照射的网格图案光的可测量高度时，则存在无法测量测量对象物的三维形状的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术所要解决的问题是，提供能够增加测量对象物的可测量高度的三维形状测量装置的高度测量方法。本专利技术的一实施例的三维形状测量装置的高度测量方法，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与上述多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于上述第一等值波长；相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而获得；算出上述测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及利用算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代表高度的步骤。作为一实施例，在生成上述多个组合图案图像的步骤中，上述多个第一图案图像及上述多个第二图案图像可分别用于与相邻于任意一侧的照明装置的图案图像的组合。作为一实施例，在上述生成多个组合图案图像的步骤中，上述多个第一图案图像及上述多个第二图案图像可分别用于与相邻于两侧的多个照明装置的多个图案图像的组合。作为一实施例，上述生成多个组合图案图像的步骤可包括：对多个第一图案图像及多个第二图案图像进行第一组合来生成多个第一组合图案图像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助在上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中的相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而形成，以及对多个第一组合图案图像及多个第二组合图案图像进行第二组合来生成多个第二组合图案图像的步骤；算出基于上述多个组合图案图像的组合等值波长的上述测量对象物的多个高度的步骤可包括算出基于上述多个第二组合图案图像的组合等值波长的上述测量对象物的多个高度的步骤。作为一实施例，上述三维形状测量装置的高度测量方法在相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图像的步骤之前，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中的相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而获得，还可包括：在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像中判断一次噪声的步骤；以及从上述组合中排除所判断的上述噪声的步骤。作为一实施例，在上述判断一次噪声的步骤中，若在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的亮度、信噪比(signaltonoiseratio，SNR)、相位扩散中基于其中至少一种而产生超出允许范围的信号，则可判断为噪声。上述一次噪声按上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的像素来判断，从上述组合中排除所判断的上述噪声的步骤可包括以下步骤中的至少一个步骤：从上述组合中排除在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的多个像素中判断为噪声的像素的步骤，以及从上述组合中排除包含在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的多个像素中判断为噪声的像素的图案图像的步骤。作为一实施例，在从上述组合中排除上述所判断的上述噪声的步骤之后，相邻于上述判断为噪声的图案图像的两侧的图案图像与互不相邻的并且具有互不相同的等值波长的图案图像组合。作为一实施例，上述三维形状测量装置的高度测量方法可在算出基于上述多个组合图案图像的组合等值波长的上述测量对象物的多个高度的步骤之后，还包括：在所算出的上述多个高度中判断二次噪声的步骤；以及从上述设定代表高度中排除所判断的上述噪声的步骤。在上述判断二次噪声的步骤中，若在所算出的上述测量对象物的多个高度中产生超出允许范围的值，则可判断为噪声。上述二次噪声可按上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的像素来判断，从上述设定代表高度中排除所判断的上述噪声的步骤包括从上述设定代表高度中排除在上述测量对象物的多个高度中与判断为噪声的像素相对应的高度的步骤。作为一实施例，在利用所算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代表高度的步骤中，当将所算出的上述测量对象物的多个高度按大小顺序排列时，可将位于中间的中间值设定为上述代表高度。本专利技术的再一实施例的三维形状测量装置的高度测量方法，包括：拍摄图案图像的步骤，上述图案图像是从至少两个照明装置向测量对象物照射具有相同的等值波长或具有至少一个以上的各自不同的等值波长的网格图案光而成；以上述图案图像分别算出上述测量对象物的高度的步骤；以及在所算出的上述测量对象物的高度中，将任一图案图像的算出高度选为代表高度的步骤。作为一实施例，上述选为代表高度的步骤包括在所算出的上述测量对象物的高度中选择中间值来定为测量对象物的高度的步骤。作为一实施例，上述三维形状测量装置的高度测量方法，可在以上述图案图像分别算出上述测量对象物的高度的步骤之前，还包括：在所拍摄的上述图案图像中判断一次噪声的步骤；以及排除所判断的上述噪声的步骤。在上述判断一次噪声的步骤中，若在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的亮度、信噪比、相位扩散中基于其中至少一种而产生超出允许范围的信号，则可判断为噪声。作为一实施例，上述选定为代表高度的步骤可包括：在所算出的上述测量对象物的高度中判断二次噪声的步骤；以及在排除所判断的上述噪声后，选定上述代表高度的步骤。在上述判断二次噪声的步骤中，若在所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维形状测量装置的高度测量方法，其中，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与上述多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于上述第一等值波长；相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而获得；算出上述测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及利用算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代表高度的步骤，其中，由所算出的上述测量对象物的多个高度中的中间值来设定代表高度；在上述生成多个组合图案图像的步骤中，上述多个第一图案图像及上述多个第二图案图像分别用于与相邻于两侧的多个照明装置的多个图案图像的组合。

【技术特征摘要】
2012.05.22 KR 10-2012-0054479;2013.05.22 KR 10-2011.一种三维形状测量装置的高度测量方法，其中，包括：
从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具
有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案
光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网
格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与上述
多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于上述第一等
值波长；
相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图
像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一
照明装置及多个第二照明装置中相邻的多个第一照明装置及多个第二照
明装置而获得；
算出上述测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度
基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及
利用算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代
表高度的步骤，其中，由所算出的上述测量对象物的多个高度中的中间值
来设定代表高度；
在上述生成多个组合图案图像的步骤中，上述多个第一图案图像及上
述多个第二图案图像分别用于与相邻于两侧的多个照明装置的多个图案
图像的组合。
2.一种三维形状测量装置的高度测量方法，其中，包括：
从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具
有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案
光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网
格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与上述
多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于上述第一等
值波长；
相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图
像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一

\t照明装置及多个第二照明装置中相邻的多个第一照明装置及多个第二照
明装置而获得；
算出上述测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度
基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及
利用算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代
表高度的步骤，其中，由所算出的上述测量对象物的多个高度中的中间值
来设定代表高度；
其中，通过从多个第一图案图像及多个第二图案图像中排除噪声和从
算出的测量对象物的多个高度中排除噪声的至少一种排除噪声后，所述测
量对象物的代表高度通过选择自排除噪声的上述测量对象物的多个高度
中的中间值来设定。
3.一种三维形状测量装置的高度测量方法，其中，包括：
从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具
有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案
光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网
格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与上述
多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于上述第一等
值波长；
相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图
像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一
照明装置及多个第二照明装置中相邻的多个第一照明装置及多个第二照
明装置而获得；
算出上述测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度
基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及
利用算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代
表高度的步骤，其中，由所算出的上述测量对象物的多个高度中的接近平
均高度的值来设定代表高度。
4.一种三维形状测量装置的高度测量方法，其中，包括：
从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具
有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案

\t光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网
格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑仲基，洪德和，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：韩国;KR