转印装置及转印方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种转印装置及转印方法。使第1板状体(SB)与第2板状体(BL)抵接。使支撑部件(441)的上端抵接于第2板状体(BL)的下表面中比辊部件(431)最初抵接的部分靠第2板状体(BL)的中心侧的部分，而从下方支撑第2板状体(BL)，所述支撑部件(441)构成为能够相对于第2板状体(BL)的下表面分离抵接。在支撑部件(441)支撑第2板状体(BL)的状态下，辊部件(431)抵接于第2板状体(BL)而将第2板状体(BL)压抵于第1板状体(SB)，辊部件(431)一边将第2板状体(BL)压抵于第1板状体(SB)一边沿着第2板状体(BL)的下表面移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种转印装置及转印方法，使2片板状体抵接而从一个板状体对另一个板状体转印被转印物。
技术介绍
作为在玻璃衬底或半导体衬底等板状体形成图案或薄膜的技术，有以下技术：使2片板状体相互抵接，而将担载于一个板状体的主面的图案或薄膜等被转印物转印到另一个板状体。例如在本申请的申请人之前所公开的专利文献1所记载的技术中，将表面担载图案的橡皮布(blanket)与衬底对向配置，利用长条辊部件上推橡皮布使之抵接于衬底。而且，一边上推橡皮布一边使辊部件沿着橡皮布移动，由此橡皮布密接于衬底，图案从橡皮布转印到衬底。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2014-144628号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]这样，在通过利用辊部件的压抵使保持为水平姿势的2片板状体抵接的技术中，为了使辊部件抵接，必须以位于下侧的板状体的下表面中央部开放的状态保持。但是，在这种保持态样下，板状体会因自重向下方弯曲，由此与另一个板状体之间产生位置偏移，难以精度良好地控制被转印物的转印位置。尤其是近年来，随着板状体尺寸大型化，其自重也增大，这种问题越来越明显。本专利技术是鉴于所述问题而完成的，其目的在于提供一种技术，在使2片板状体抵接的转印装置及转印方法中，能够抑制因板状体弯曲所导致的位置偏移，而使2个板状体位置精度良好地抵接。[解决问题的技术手段]为了达成所述目的，本专利技术的一态样是一种转印装置，包括：第1保持构件，将第1板状体以下表面开放的状态保持为水平姿势；第2保持构件，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；辊部件，具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，一边抵接于所述第2板状体的下表面而将所述第2板状体压抵于所述第1板状体，一边沿着所述第2板状体的下表面移动；及支撑部件，构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，且通过上端抵接于所述第2板状体的下表面而从下方支撑所述第2板状体；在所述辊部件远离所述第2板状体的状态下，在所述第2板状体的下表面中比所述辊部件最初抵接的部分靠所述第2板状体中心侧的位置，所述支撑部件抵接于所述第2板状体的下表面而支撑所述第2板状体；所述辊部件对被所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，而沿着所述第2板状体的下表面移动。另外，为了达成所述目的，本专利技术的另一态样是一种转印方法，包括：保持步骤，将第1板状体以下表面开放的状态保持为水平姿势，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；辊配置步骤，将辊部件配置在远离所述第2板状体的位置，所述辊部件具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，且构成为能够沿着所述第2板状体的下表面移动；支撑步骤，使支撑部件的上端在比所述辊部件靠所述第2板状体中心侧的位置抵接于所述第2板状体的下表面，而从下方支撑所述第2板状体，所述支撑部件构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接；及转印步骤，所述辊部件对被所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，将所述第2板状体压抵于所述第1板状体，并沿着所述第2板状体的下表面移动。在如所述般构成的专利技术中，辊部件一边将第2板状体压抵于第1板状体一边移动，由此使第1板状体与第2板状体密接。此时，在辊部件抵接于第2板状体之前，在比辊部件靠近第2板状体中心的一侧，支撑部件抵接于第2板状体的下表面，由此支撑第2板状体。在该状态下，辊部件抵接于第2板状体而将第2板状体压抵于第1板状体。周缘部被保持且下表面中央部开放的第2板状体因自重而其中央部向下方弯曲。由此，第2板状体各部的水平方向位置与以平坦姿势保持的状态相比，有向第2板状体中心侧偏移的倾向。所述情况导致2个板状体间产生位置偏移，被转印物的转印位置发生偏移。根据本申请的专利技术人等人的见解，该转印位置的偏移量大致由第1板状体与第2板状体在最初抵接的区域的位置偏移量决定。换句话说，通过将第1板状体与第2板状体在最初抵接的区域的位置偏移抑制得充分小，能够在整个转印范围内抑制位置偏移。所以，本专利技术中，在辊部件对第2板状体抵接之前，在比辊部件靠第2板状体中心侧，支撑部件抵接于第2板状体而从下方支撑第2板状体。所以，第2板状体是由支撑部件与支撑第2板状体的周缘部的第2保持构件以夹隔与辊部件最初抵接的位置的方式从其两侧支撑。所以，在辊部件最初抵接的位置，第2板状体的弯曲变小，水平方向上的位置偏移也得到抑制。该状态下，辊部件抵接于第2板状体，并将其压抵并密接于第1板状体，由此，即使以后辊部件移行，也能够抑制第1板状体与第2板状体的水平方向的位置偏移增大。结果，能够在整个转印范围内抑制转印位置偏移。[专利技术效果]根据本专利技术，关于第2板状体中最初与辊部件抵接的部分，以夹隔该部分的方式由第2保持构件与支撑部件予以支撑，由此抑制弯曲。这样，在因弯曲所导致的水平方向的位置偏移得到抑制的状态下，辊部件将第2板状体压抵于第1板状体，由此也可以抑制以后辊部件移行时的位置偏移增大。结果，能够使2个板状体位置精度良好地抵接，能够将被转印物精度良好地转印到规定的转印位置。附图说明图1是示意性地表示本专利技术的转印装置的一实施方式的侧视图。图2是表示该转印装置的主要部的构成的图。图3A、图3B是表示转印辊块的图。图4A、图4B是表示转印辊块与升降手单元的位置关系的图。图5A、图5B是用来说明橡皮布的弯曲问题的图。图6A至图6C是表示橡皮布弯曲与转印位置偏移的关系的图。图7是表示利用该转印装置进行的转印处理的流程图。图8A、图8B、图8C、图8D是示意性地表示转印处理过程中的各部位置的第1至第4图。图9A至图9D是示意性地表示转印处理过程中的各部位置的第5至第8图。图10A、图10B是表示升降器单元的变化例的图。图11A至图11C是表示升降器单元的另一变化例的图。具体实施方式图1是示意性地表示本专利技术的转印装置的一实施方式的侧视图。另外，图2是表示该转印装置的主要部的构成的图。为了统一表示各图中的方向，如图1所示，设定XYZ正交座标轴。此处，XY平面表示水平面，Z轴表示铅垂轴。更本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转印装置，其特征在于包括：第1保持构件，将第1板状体以下表面开放的状态保持为水平姿势；第2保持构件，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；辊部件，具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，且构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，一边抵接于所述第2板状体的下表面而将所述第2板状体压抵于所述第1板状体一边沿着所述第2板状体的下表面移动；及支撑部件，构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，且通过上端抵接于所述第2板状体的下表面而从下方支撑所述第2板状体；在所述辊部件远离所述第2板状体的状态下，在所述第2板状体的下表面中比所述辊部件最初抵接的部分靠所述第2板状体中心侧的位置，所述支撑部件抵接于所述第2板状体的下表面而支撑所述第2板状体；所述辊部件对由所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，而沿着所述第2板状体的下表面移动。

【技术特征摘要】
2015.01.22 JP 2015-0100181.一种转印装置，其特征在于包括：第1保持构件，将第1板状体以下表面开放的状态保
持为水平姿势；
第2保持构件，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体
的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体
对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；
辊部件，具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，且构成为能够相对于所
述第2板状体的下表面分离抵接，一边抵接于所述第2板状体的下表面而将所述第2板状体
压抵于所述第1板状体一边沿着所述第2板状体的下表面移动；及
支撑部件，构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，且通过上端抵接于所
述第2板状体的下表面而从下方支撑所述第2板状体；
在所述辊部件远离所述第2板状体的状态下，在所述第2板状体的下表面中比所述辊部
件最初抵接的部分靠所述第2板状体中心侧的位置，所述支撑部件抵接于所述第2板状体的
下表面而支撑所述第2板状体；
所述辊部件对由所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，而沿着所述第2板状体
的下表面移动。
2.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述第2保持构件具有与所述第2板状
体的所述下表面中央部对应的中央部开口的边框状支撑台，所述支撑台的上表面成为抵接
于所述第2板状体的周缘部下表面而支撑所述第2板状体的平坦支撑面，且
所述支撑部件的上表面位于与所述支撑台的所述支撑面相同的高度而支撑所述第2板
状体。
3.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述辊部件对所述第2板状体开始抵
接，将所述第2板状体压抵于所述第1板状体后，所述支撑部件从所述第2板状体离开，之后，
所述辊部件沿着所述第2板状体的下表面移动。
4.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述辊部件与所述支撑部件一体地沿
着所述第2板状体的下表面移动。
5.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述支撑部件具有具备与所述辊部件
的轴平行的轴的辊形状，一边在比所述辊部件靠下方位置抵接于所述第2板状体的下表面，
一边与所述辊部件一体地沿着所述第2板状体的下表面移动。
6.根据权利要求4或5所述的转印装置，其特征在于:所述辊部件与所述支撑部件安装
在沿着所述第2板状体的下表面移动的同一移动部件，并且高度方向上的位置能够相互独
立地进行变更。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的转印装置，其特征在于:所述支撑部件在上端具
有沿着与所述辊部件的延伸设置方向平行的方向延伸的抵接部位。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：正司和大，芝藤弥生，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP