具有受限视觉通道的晶片对准制造技术

本发明专利技术公开了具有受限视觉通道的晶片对准。在例子中，用于制造太阳能电池的基板的加工方法涉及将所述基板支撑在台上方。所述方法涉及在所述基板上方形成实质上不透明的层。所述实质上不透明的层至少部分地覆盖所述基板的边缘。所述方法涉及进行所述实质上不透明的层到所述基板的装配。所述方法涉及用透射过所述台的光照射所述基板的所述覆盖边缘，以及基于透射过所述台的所述光捕获所述基板的所述覆盖边缘的第一图像。所述方法还包括基于所述覆盖边缘的所述第一图像确定所述基板相对于所述台的第一位置。所述基板可基于所确定的所述基板在所述实质上不透明的层下方的第一位置进一步加工。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术公开了具有受限视觉通道的晶片对准。在例子中，用于制造太阳能电池的基板的加工方法涉及将所述基板支撑在台上方。所述方法涉及在所述基板上方形成实质上不透明的层。所述实质上不透明的层至少部分地覆盖所述基板的边缘。所述方法涉及进行所述实质上不透明的层到所述基板的装配。所述方法涉及用透射过所述台的光照射所述基板的所述覆盖边缘，以及基于透射过所述台的所述光捕获所述基板的所述覆盖边缘的第一图像。所述方法还包括基于所述覆盖边缘的所述第一图像确定所述基板相对于所述台的第一位置。所述基板可基于所确定的所述基板在所述实质上不透明的层下方的第一位置进一步加工。【专利说明】具有受限视觉通道的晶片对准
本公开的实施例属于可再生能源领域，具体地讲，包括用于具有受限视觉通道的晶片对准的方法和系统。
技术介绍
光伏电池(常被称为太阳能电池)是熟知的用于将太阳辐射直接转换为电能的装置。一般来讲，使用半导体加工技术在基板的表面附近形成p-n结而在半导体晶片或基板上制造太阳能电池。照射在基板表面上并进入基板内的太阳辐射在基板主体中形成电子空穴对。电子空穴对迀移至基板中的P掺杂区和η掺杂区，从而使掺杂区之间生成电压差。将掺杂区连接至太阳能电池上的导电区，以将电流从电池引导至与其耦接的外部电路。用于提高太阳能电池的制造效率的技术通常是人们所期望的。本公开的一些实施例允许通过提供制造太阳能电池结构的新工艺而提尚太阳能电池的制造效率。【附图说明】图1为根据本公开实施例的示出加工用于制造太阳能电池的基板的方法中的操作的流程图。图2Α-图2D示出对应于图1的流程图的操作，以及根据本公开实施例的加工基板的方法中的加工操作的剖视图。图3Α和图3Β示出根据本公开实施例的加工基板的方法中的对准操作的剖视图。图4Α和图4Β分别示出根据本公开实施例的加工用于制造太阳能电池的基板的系统中的台的顶部平面图和底部平面图。图5示出根据本公开实施例的加工用于制造太阳能电池的基板的系统的平面图。图6示出根据本公开实施例的数据处理系统，该数据处理系统可存储并执行一组指令，以执行本文所讨论的方法。【具体实施方式】以下【具体实施方式】本质上只是例证性的，并非意图限制所述主题的实施例或此类实施例的应用和用途。如本文所用，词语“示例性”意指“用作例子、实例或举例说明”。本文描述为示例性的任何实施未必理解为相比其他实施优选的或有利的。此外，并不意图受前述
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技术介绍
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技术实现思路
或以下【具体实施方式】中提出的任何明示或暗示的理论的约束。本说明书包括对“一个实施例”或“实施例”的提及。短语“在一个实施例中”或“在实施例中”的出现不一定是指同一实施例。特定的特征、结构或特性可以任何与本公开一致的合适方式加以组合。术语。以下段落提供存在于本公开(包括所附权利要求书)中的术语的定义和/或背景:“包含/包括”。该术语是开放式的。如在所附权利要求书中所用，该术语并不排除另外的结构或步骤。“被配置为”。各种单元或组件可被描述或主张成“被配置为”执行一项或多项任务。在这样的背景下，“被配置为”用于通过指示该单元/组件包括在操作期间执行一项或多项那些任务的结构而暗示结构。因此，即使指定的单元/组件目前不处于工作状态(例如，未开启/激活)，也可将该单元/组件说成是被配置为执行任务。详述某一单元/电路/组件“被配置为”执行一项或多项任务明确地意在对该单元/组件而言不援用35U.S.C.§112第六段。如本文所用的“第一”、“第二”等这些术语用作其之后的名词的标记，而并不暗示任何类型的顺序(例如，空间、时间和逻辑等)。例如，提及“第一”太阳能电池并不一定暗示该太阳能电池为某一序列中的第一个太阳能电池;相反，术语“第一”用于区分该太阳能电池与另一个太阳能电池(例如，“第二”太阳能电池)。“基于”。如本文所用，该术语用于描述影响确定结果的一个或多个因素。该术语并不排除可影响确定结果的另外因素。也就是说，确定结果可以仅基于那些因素或至少部分地基于那些因素。考虑短语“基于B确定A”。尽管B可以是影响A的确定结果的因素，但这样的短语并不排除A的确定结果还基于C。在其他实例中，A可以仅基于B来确定。“耦接以下描述是指“耦接”在一起的元件或节点或特征。如本文所用，除非另外明确指明，否则“親接”意指一个元件/节点/特征直接或间接连接至另一个元件/节点/特征(或直接或间接与其连通)，并且不一定是机械耦接。此外，以下描述中还仅出于参考的目的而使用了某些术语，因此这些术语并非意图进行限制。例如，诸如“上部”、“下部”、“上面”或“下面”等术语是指附图中提供参考的方向。诸如“正面”、“背面”、“后面”、“侧面”、“外侧”和“内侧”等术语描述在一致但任意的参照系内组件的某些部分的取向和/或位置，通过参考描述所讨论组件的文字和相关的附图可以清楚地了解这些取向和/或位置。这样的术语可以包括上面具体提及的词语、它们的衍生词语以及类似意义的词语。用于具有受限视觉通道的晶片对准的方法和系统在本文中描述。虽然说明书的大部分在光伏晶片方面进行描述，但本公开同样适用于其他半导体晶片。在下面的描述中，给出了许多具体细节，诸如具体的工艺流程操作，以形成对本公开的实施例的透彻理解。对本领域的技术人员将显而易见的是可在没有这些具体细节的情况下实施本公开的实施例。在其他情况中，没有详细地描述熟知的制造技术，诸如激光加工技术，以避免不必要地使本公开的实施例难以理解。此外，应当理解在图中示出的多种实施例是示例性的展示并且未必按比例绘制。本文公开了加工用于制造太阳能电池的基板的方法。在实施例中，方法涉及在台的上方支撑基板。方法涉及在基板上方形成实质上不透明的层。实质上不透明的层至少部分地覆盖基板的边缘。方法涉及进行实质上不透明的层到基板的装配。方法涉及用透射过台的光照射基板的覆盖边缘，以及基于透射过台的光捕获基板的覆盖边缘的第一图像。方法涉及基于覆盖边缘的第一图像确定基板相对于台的第一位置。方法进一步涉及基于所确定的基板在实质上不透明的层下方的第一位置加工基板。本文还公开的是加工用于制造太阳能电池的基板的系统。在一个实施例中，系统包括被构造为支撑基板的台。层形成站被构造为在基板上方形成实质上不透明的层并且将实质上不透明的层装配到基板。实质上不透明的层至少部分地覆盖基板的边缘。系统包括被构造为透过台照射基板的被覆盖边缘的光源。系统包括图像传感器，该图像传感器被构造为基于透射过台的光捕获基板的被覆盖边缘的第一图像。计算装置被构造为基于被覆盖边缘的第一图像确定基板相对于台的位置。系统还包括加工站，该加工站被构造为基于所确定的基板在实质上不透明的层下方的位置加工基板。因此，在基板的一个或多个边缘被遮蔽时，本公开的实施例实现基板到台的视觉对准。图1为根据本公开实施例的示出加工用于制造太阳能电池的基板的方法中的操作的流程图100。图2A-图2D示出对应于图1的流程图100的操作，以及根据本公开实施例的加工操作的剖视图。转到图2A以及图1的对应操作102，基板204支撑在台202的上方。根据实施例，台202可为实质上透明的。如果台透射在图像传感器所使用的波长处的光或其他电磁辐射，则台是实质上透明的，所述图像传感器被构造为通过台202捕本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加工用于制造太阳能电池的基板的方法，所述方法包括：将所述基板支撑在台的上方；在所述基板的上方形成实质上不透明的层，所述实质上不透明的层至少部分地覆盖所述基板的边缘；进行所述实质上不透明的层到所述基板的装配；用透射过所述台的光照射所述基板的至少部分地被覆盖的边缘；基于透射过所述台的所述光捕获所述基板的所述至少部分地被覆盖的边缘的第一图像；基于所述至少部分地被覆盖的边缘的所述第一图像确定所述基板相对于所述台的第一位置；以及基于所确定的所述基板在所述实质上不透明的层下方的第一位置加工所述基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：托马斯·帕斯，
申请(专利权)人：太阳能公司，
类型：发明
国别省市：美国;US