主计算机系统和RF产生器之间的双推送技术方案

本发明专利技术描述了主计算机系统和RF产生器之间的双推送，具体描述了一种用于提高在射频(RF)产生器和主计算机系统之间的数据传输速率的系统和方法。通过实现与所述RF产生器和所述主计算机系统相关联的专用物理层以及所述RF产生器和所述主计算机系统之间的专用物理通信介质，提高数据的传输速率。此外，在RF产生器和主计算机系统之间使用双推送操作。没有针对从RF产生器发送到主计算机系统或从主计算机系统发送到RF产生器的数据的请求。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术描述了主计算机系统和RF产生器之间的双推送，具体描述了一种用于提高在射频(RF)产生器和主计算机系统之间的数据传输速率的系统和方法。通过实现与所述RF产生器和所述主计算机系统相关联的专用物理层以及所述RF产生器和所述主计算机系统之间的专用物理通信介质，提高数据的传输速率。此外，在RF产生器和主计算机系统之间使用双推送操作。没有针对从RF产生器发送到主计算机系统或从主计算机系统发送到RF产生器的数据的请求。【专利说明】主计算机系统和RF产生器么间的双推送
本专利技术的实施方式设及用于在主计算机系统和射频(RF)产生器之间的双推送的 系统和方法。
技术介绍
在等离子体系统中，多个射频(RF)产生器被连接到等离子体室。RF产生器是由计 算机控制的。例如，该计算机提供与由RF产生器产生的RF信号相关联的值。RF产生器使用该 值W产生RF信号，然后将其发送到等离子体室中。在接收到RF信号时在等离子体室中产生 等离子体。 RF产生器和计算机之间的通信是缓慢的。运种缓慢的通信阻碍了射频产生器的计 算机的有效的控制。 正是在运样的背景下产生本专利技术描述的实施方式。
技术实现思路
本专利技术的实施方式提供了用于在主计算机系统和射频(RF)产生器之间的双推送 的装置、方法和计算机程序。应当理解，本专利技术可W多种方式实现，运些方式例如，在计算机 可读介质上的方法、装置、系统、设备。下面将描述若干本专利技术的实施方式。 在一些实施方式中，主机系统和RF产生器之间的双推送相比于另一种传输协议 (例如，用于控制自动化技术化therCAT)协议的W太网，传输控制协议因特网协议(TCP/ IP),等)允许主系统和RF产生器之间通信较快。EtherCAT协议受限于响应时间和净负荷，例 如，从站的数目，等。此外，雌?八？协议具有与数据包重试和超时相关联的开销(overhead)。 其他传输协议包括数据包中的错误的错误检查、错误的指示的通信，W及数据包的重传。错 误检查、错误的指示的通信，W及重传消耗时间。双推送应用在主机系统和RF产生器之间连 续地推送传输单元(例如，数据包，等）的通信协议，例如，通用数据报协议化DP)、定制的协 议，等。例如，数据包的接收器不执行针对每个数据包的错误检查，接收器不执行差错的指 示的通信，并且该数据包的发送器不执行重新传输。作为另一个例子，不再次发送任何数据 包，接收数据包而从接收器不接收确认。作为又一个例子，主机系统不请求与来自RFG的一 个或多个参数相关联的信息，并且RFG不请求来自主机系统的一个或多个参数的一个或多 个设定点。一旦RFG被配置为由主计算机发送与一个或多个参数相关联的信息，所述RFG发 送一个或多个数据包到主计算机并且主计算机分析与存储在所述一个或多个数据包中的 一个或多个参数相关联的信息，W判定是否发送修改的设定点或发送与先前发送至的RFG 设定点相同的设定点。 在一些实施方式中，双推送利用W太网找来推送用于监测RF产生器的输出的第一 固定UDP数据报，并利用W太网找来推送用于控制RF产生器的第二固定UDP数据报。[000引在多种实施方式中，在双推送装置中，主机系统和RF产生器经由物理通信介质的 专用通信链路和专用发送器和专用接收器彼此连接。例如，主机系统的专用发送器经由物 理通信介质的专用通信链路连接至RF产生器的专用接收器，RF产生器的专用发送器经由物 理通信介质的专用通信链路连接到主机系统的专用接收器。主机系统的专用接收器应用通 信协议至从RF产生器的专用发送器接收到的数据包，W提取与该数据包内的一个或多个参 数相关联的信息。与一个或多个参数有关的信息被提供到主机系统的处理器。处理器根据 与一个或多个参数有关的信息产生参数的值，并判定该值是否在先前发送到RF产生器的专 用接收器的参数的值的预先确定的范围之内。当判定所述值不是在预先确定的范围内时， 所述处理器将所述参数的值修改成处于预先确定的范围内，并提供该值到主机系统的专用 发送器W经由物理通信介质的专用通信链路与RF产生器的专用接收器通信。作为另一个例 子，1千兆位物理层推送512字节帖到也具有用于接收帖的1千兆位物理层的专用客户机。进 行该推送W实现100千赫的速率。 在一些实施方式中，双推送装置不进行错误检查，错误的指示的通信，具有错误的 数据包的重新传输，从而节省了时间和成本。 此外，在多种实施方式中，所述专用通信链路降低来自不同的源端口的数据包冲 突和漏失的机会。所述专用通信链路在不同的RF产生器或不同控制器之间不共享，减少数 据包冲突和漏失的机会。例如，如果数据包通过共享通信链路发送给两个不同的RF产生器， 则数据包之间可能存在冲突，从而在被发送到RF产生器的数据中产生损失或错误。通过使 用连接到一个RF产生器的专用通信链路，主系统无法经由专用通信链路发送数据包到不同 的RF产生器，从而防止冲突。 相比于其他协议(例如，EtherCAT协议，TCP/IP，等），双推送装置的其它优点包括 提高由RF产生器对主机系统的控制器或由控制器对RF产生器的响应的响应时间很多倍，例 如，100倍、1000倍、100至1000倍等， 结合附图，根据下面的详细描述，其它方面将变得显而易见。【附图说明】 参考W下描述结合附图可W最好地理解本专利技术。 图1A是根据本公开中描述的实施方式的用于使用控制器和射频产生器(RFG)之间 的双推送的等离子体系统的示意图。 图1B是根据本公开中描述的实施方式的图1A的等离子体系统的控制器和RFG的实 施方式的示意图，W示出控制器和RFG之间的通信。 图2A是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，W示出在多个本地控制 器、多个RF产生器和主系统控制器之间通信协议的使用。 图2B是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，W示出放置在板上的一定 数量的本地控制器。 图2C是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，W示出在不使用本地控制 器和主系统控制器之间的交换机的情况下本地控制器和主系统控制器之间的通信。 图3是根据本公开中描述的实施方式的示出通用数据报协议(UDP)传输单元或定 制的传输单元的示意图。 图4是根据本公开中描述的实施方式的多个图形的示意图，W示出RF信号的多个 状态。 图5是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，w示出本地处理器板系统 和Rre之间W及本地处理器板系统和另一处理器板系统之间的数据的通信。 图6是根据本公开中描述的实施方式的示意图，W示出由主计算机系统的控制器 的专用发送器产生并发送到RF产生器的传输单元的有效载荷。 图7是根据本公开中描述的实施方式的示意图，W示出由RFG的专用发送器产生并 发送到主计算机系统的传输单元的有效载荷。 图8是根据本公开中描述的实施方式的曲线图，W示出在产生RF信号中要使用的 一个或多个参数的设定点的采样。 图9是根据本公开中描述的实施方式的方法的流程图，W示出通过使用RFG的专用 发送器和控制器的专用接收器之间W及控制器的专用发送器和RFG的专用接收器之间的通 信协议推送传输单元。 图10A是根据本公开中描述的实施方式的说明用于在传输单元由接收器接收时通 过分析针对状态的参数的值修改针对状态的参数的值的方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于提高通信速率的系统，其包括：射频(RF)产生器，其包括专用收发器；主计算机系统，其包括专用收发器和连接到该专用收发器的控制器；以及共享物理通信介质，其将所述RF产生器连接至所述主计算机系统；以及专用物理通信介质，其将所述RF产生器的所述专用收发器连接至所述主计算机系统的所述专用收发器，所述主计算机系统配置为经由所述共享物理通信介质发送配置信号以配置所述RF产生器，所述RF产生器的所述专用收发器配置成在接收所述配置信号时引发经由所述专用物理通信介质发送包括与参数相关联的信息的一个或多个传输单元到所述主计算机系统的所述专用收发器，所述主计算机系统的所述控制器配置为处理与所述参数相关联的所述信息，以判定修改所述参数的设定点，以进一步产生修改的设定点，所述主计算机系统的所述专用收发器配置成经由所述专用物理通信介质发送包括所述修改的设定点的一个或多个传输单元到所述RF产生器的所述专用收发器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约翰·C·小瓦尔考，托尼·萨恩，安德鲁·方，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国;US