一种基板支撑结构及曝光机制造技术

技术编号:13461795 阅读:42 留言:0更新日期:2016-08-04 13:18
本发明专利技术公开了一种基板支撑结构及曝光机,涉及机械设备技术领域,可减少现有技术中因托举件的水平位置固定而对产品良率造成影响的问题。该基板支撑结构包括多个托举件和第一驱动装置,多个所述托举件的顶端位于同一水平面内,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件水平移动。本发明专利技术用于支撑基板。

【技术实现步骤摘要】
一种基板支撑结构及曝光机
本专利技术涉及机械设备
,尤其涉及一种基板支撑结构及曝光机。
技术介绍
显示面板生产工艺中用到的很多设备内均设有基板支撑结构,用以支撑基板。参照图1,现有技术中的基板支撑结构包括基台01,基台01的上表面开设有多个安装孔(图中未示出),每个安装孔内均设有托举件02,多个所述托举件02的顶端位于同一水平面内。由于托举件02设置于基台01上的安装孔内,因此托举件02不能沿平行于基台01上表面的方向移动,即托举件02的水平位置固定,但是对于不同的产品,基板上显示区和非显示区的布局设计不同,即基板上显示区和非显示区的位置不同,因此在生产不同产品时,托举件02会支撑到基板的显示区,进而在显示区留下圆圈状的痕迹,导致产品的良率受到严重影响。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种基板支撑结构及曝光机,可减少现有技术中因托举件的水平位置固定而对产品良率造成影响的问题。为达到上述目的,本专利技术的实施例采用如下技术方案:本专利技术实施例提供了一种基板支撑结构,包括多个托举件和第一驱动装置,多个所述托举件的顶端位于同一水平面内,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件水平移动。进一步的,还包括基台和第二驱动装置,所述基台的上表面开设有滑槽,多个所述托举件设置于所述滑槽内,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件在所述滑槽内水平移动,所述第二驱动装置可驱动多个所述托举件或所述基台沿竖直方向移动,以使多个所述托举件与所述基台之间产生相对位移,随着多个所述托举件或所述基台沿竖直方向的移动,多个所述托举件的顶端可高于、平齐于或低于所述基台的上表面。进一步的,还包括导轨以及配合设置于所述导轨内的多个滑块,多个所述托举件与多个所述滑块一一对应连接,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述滑块沿所述导轨滑动,以带动相应的所述托举件在所述滑槽内水平移动。进一步的,所述导轨固定设置,所述滑块的上表面设有插槽,所述托举件的至少一部分插入所述插槽内,所述托举件可在所述插槽内沿竖直方向移动,还包括限位结构,当所述滑块沿所述导轨滑动时,所述限位结构可防止所述托举件在所述插槽内水平移动。进一步的,所述限位结构包括两个圆锥面,其中一个圆锥面为所述插槽的侧面,另一个圆锥面为所述托举件的侧面,当所述滑块沿所述导轨滑动时,所述托举件的侧面与所述插槽的侧面抵接。进一步的,所述滑槽包括多个十字形槽,多个所述托举件一一对应设置于多个所述十字形槽内。进一步的,所述滑槽内设有多个支撑板,所述支撑板与所述滑槽侧壁的顶端通过铰接轴铰接,所述支撑板连接有第三驱动装置,所述第三驱动装置可驱动所述支撑板绕所述铰接轴转动,随着所述支撑板的转动,所述支撑板的上表面可与所述基台的上表面平齐。进一步的,所述基台固定设置,所述第二驱动装置与所述托举件连接。进一步的,所述基台内开设有容纳腔,所述滑槽与所述容纳腔连通,所述第一驱动装置和所述第二驱动装置均设置于所述容纳腔内。进一步的,至少一个所述托举件的顶端设有吸附孔,所述吸附孔连接有真空发生器。本专利技术实施例提供的一种基板支撑结构,由于所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件水平移动,因此在生产不同产品时,可根据基板上显示区和非显示区的位置来调整托举件的水平位置,以减少支撑于基板显示区的托举件的个数,从而减少了托举件在显示区留下的圆圈状痕迹的个数,进而减少了对产品良率造成影响的问题。本专利技术实施例还提供了一种曝光机,包括上述任一技术方案中的基板支撑结构。本专利技术实施例提供的曝光机,由于所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件水平移动,因此在生产不同产品时,可根据基板上显示区和非显示区的位置来调整托举件的水平位置,以减少支撑于基板显示区的托举件的个数,从而减少了托举件在显示区留下的圆圈状痕迹的个数,进而减少了对产品良率造成影响的问题。附图说明图1为现有技术中基板支撑结构的俯视图;图2为本专利技术实施例基板支撑结构的俯视图;图3为本专利技术实施例基板支撑结构中导轨和滑块的示意图;图4为本专利技术实施例基板支撑结构中插槽的示意图;图5为本专利技术实施例基板支撑结构中支撑板的示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。本专利技术实施例提供了一种基板支撑结构,如图2所示,包括多个托举件3和第一驱动装置(图中未示出),多个托举件3的顶端位于同一水平面内,所述第一驱动装置可驱动至少一个托举件3水平移动。本专利技术实施例提供的一种基板支撑结构,由于所述第一驱动装置可驱动至少一个托举件3水平移动,因此在生产不同产品时,可根据基板上显示区和非显示区的位置来调整托举件3的水平位置,以减少支撑于基板显示区的托举件3的个数,从而减少了托举件3在显示区留下的圆圈状痕迹的个数,进而减少了对产品良率造成影响的问题。需要说明的是,在调整托举件3水平位置的时候是根据实际情况来进行调整的,因此托举件3沿平行于基台1上表面的移动是选择性的移动,即有可能全部移动,也有可能只移动一部分;这里的第一驱动装置可以包括电机以及互相啮合的齿轮和齿条,齿轮套设于电机的输出轴上,齿条配合设置于齿条轨道内,托举件与齿条连接,当电机启动时,电机的输出轴可带动齿轮转动,齿轮可带动齿条在齿条轨道内平移,从而带动托举件水平移动。进一步的,基板支撑结构还包括基台1和第二驱动装置(图中未示出),所述基台1的上表面开设有滑槽2,多个所述托举件3设置于所述滑槽2内,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件3在所述滑槽2内水平移动,所述第二驱动装置可驱动多个所述托举件3或所述基台1沿竖直方向移动,以使多个所述托举件3与所述基台1之间产生相对位移,随着多个所述托举件3或所述基台1沿竖直方向的移动,多个所述托举件3的顶端可高于、平齐于或低于所述基台1的上表面,这里的第二驱动装置可以为气缸,由此,放置基板(图中未示出)时,可通过所述第二驱动装置驱动多个托举件3或基台1沿竖直方向移动,以使多个托举件本文档来自技高网...
一种基板支撑结构及曝光机

【技术保护点】
一种基板支撑结构,其特征在于,包括多个托举件和第一驱动装置,多个所述托举件的顶端位于同一水平面内,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件水平移动。

【技术特征摘要】
1.一种基板支撑结构,其特征在于,包括多个托举件和第一驱动装置,多个所述托举件的顶端位于同一水平面内,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件水平移动;还包括基台和第二驱动装置,所述基台的上表面开设有滑槽,多个所述托举件设置于所述滑槽内,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述托举件在所述滑槽内水平移动,所述第二驱动装置可驱动多个所述托举件或所述基台沿竖直方向移动,以使多个所述托举件与所述基台之间产生相对位移,随着多个所述托举件或所述基台沿竖直方向的移动,多个所述托举件的顶端可高于、平齐于或低于所述基台的上表面;还包括导轨以及配合设置于所述导轨内的多个滑块,多个所述托举件与多个所述滑块一一对应连接,所述第一驱动装置可驱动至少一个所述滑块沿所述导轨滑动,以带动相应的所述托举件在所述滑槽内水平移动。2.根据权利要求1所述的基板支撑结构,其特征在于,所述导轨固定设置,所述滑块的上表面设有插槽,所述托举件的至少一部分插入所述插槽内,所述托举件可在所述插槽内沿竖直方向移动,还包括限位结构,当所述滑块沿所述导轨滑动时,所述限位结构可防止所述托举件在所述插槽内水平移动。3.根据权利要求2所述的基板支撑结构,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘浏彭金宝石鹏程
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司合肥京东方光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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