一种白光发光二极管的制作工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种白光发光二极管的制作工艺，具体步骤如下：在氮化镓衬底上制作具有三种面的氮化镓多面图形化衬底；通过控制极性面、半极性面和非极性面的倾斜角α、β、γ，制作类极性面、类半极性面和类非极性面；再外延生长多量子阱结构，调节多量子阱的阱厚度和铟组分，使类极性面发蓝光、类半极性面发绿光、类非极性面发红光，从而使每一个图形化衬底均发出红绿蓝光组合的白光出射。所述的具有三种面的氮化镓图形化衬底是通过纳米压印、光刻、激光微切割来蚀刻氮化镓衬底制备而成。所述斜角α、β、γ的范围均为‑90～90°。本发明专利技术可以直接在单个芯片上实现白光发射，不需要集成封装，成本较低，白光均匀性好，稳定性较好。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种白光发光二极管的制作工艺，其特征在于，具体步骤如下：1）在氮化镓衬底上制作具有三种面的氮化镓多面图形化衬底；2）通过控制极性面（1）、半极性面（2）和非极性面（3）的倾斜角α、β、γ，制作类极性面（4）、类半极性面（5）和类非极性面（6）；3）再外延生长多量子阱结构，调节多量子阱的阱厚度和铟组分，使类极性面（4）发蓝光、类半极性面（5）发绿光、类非极性面（6）发红光，从而使每一个图形化衬底均发出红绿蓝光组合的白光出射。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王星河，郑锦坚，
申请(专利权)人：王星河，
类型：发明
国别省市：福建;35