具有载台的电子显微镜制造技术

一种电子显微镜，包括载台、第一驱动单元、稳流单元及电子源。载台承载待测物。第一驱动单元驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中第一流动路径通过待测物。稳流单元配置于第一流动路径上以对第一液体进行稳流，其中第一液体依序流经稳流单元及载台。电子源提供电子束至待测物。

【技术实现步骤摘要】
具有载台的电子显微镜
本专利技术涉及一种电子显微镜，且特别涉及一种具有载台的电子显微镜。
技术介绍
一般而言，要观察物质的纳米几何形态最常用的方法为使用原子力显微镜(atomicforcemicroscopy，AFM)及电子显微镜(electronmicroscope)等设备。使用原子力显微镜测量时，需通过探针来测量待测物的几何形态，此种测量方式不仅探针针尖容易损坏、测量时间长，且样品测量范围较小，电子显微镜则无上述问题。以扫描式电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)而言，其可用于观测液态样品。观测液态样品时需驱动液体流经用于承载样品的薄膜以带走样品的代谢物，或以此液体为媒介添加测量所需药剂至样品，其中，如何避免薄膜因液体的扰动而损坏及如何依观测需求控制流经样品的液体的温度，是为能否顺利观测液态样品的关键。此外，为了驱动所述液体流动而额外增设的驱动源会增加电子显微镜的设备体积及成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种电子显微镜，可有效率地对待测物进行稳流及温控，且可简化电子显微镜的设备体积及成本。本专利技术的电子显微镜包括载台、第一驱动单元、稳流单元及电子源。载台承载待测物。第一驱动单元驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中第一流动路径通过待测物。稳流单元配置于第一流动路径上以对第一液体进行稳流，其中第一液体依序流经稳流单元及载台。电子源提供电子束至待测物。在本专利技术的一实施例中，上述的载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道，其中第一流道内具有稳流斜面。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而依序通过稳流斜面及待测物。在本专利技术的一实施例中，上述的载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道及第二流道，其中第一流道及第二流道彼此叠设。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而通过待测物，第二液体沿第二流道流动而调整第一液体的温度。在本专利技术的一实施例中，上述的稳流单元具有两通道，第一液体依序流经一通道及待测物，第二液体依序流经另一通道及载台而调整第一液体的温度，稳流单元分别对第一液体及第二液体进行稳流。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜包括第一腔体，其中载台配置于第一腔体内，第一驱动单元为抽真空模块，抽真空模块对第一腔体进行抽真空，并驱动第一液体流经待测物。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜包括夹具，其中夹具适于夹置载台且具有第一导流结构，当夹具夹置载台时，第一导流结构连通载台，第一流动路径通过第一导流结构。在本专利技术的一实施例中，第二液体沿第二流动路径流经载台而调整第一液体的温度，夹具具有第二导流结构，当夹具夹置载台时，第二导流结构连通载台，第二流动路径通过第二导流结构。在本专利技术的一实施例中，上述的夹具包括座体、两夹持组件及两把手。座体适于承载载台。两夹持组件可动地配置于座体上。两把手相互枢设且分别可动地连接于两夹持组件，其中两把手适于相对枢转而带动两夹持组件夹置或释放载台。在本专利技术的一实施例中，上述的载台内具有第一温度感应元件。在本专利技术的一实施例中，上述的稳流单元内具有第二温度感应元件。本专利技术的电子显微镜包括载台及电子源。载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道，其中第一流道内具有稳流斜面。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而依序通过稳流斜面及待测物。电子源提供电子束至待测物。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜包括凸状结构，其中凸状结构位于第一流道内而构成稳流斜面。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜还包括稳流单元，其中第一液体依序流经稳流单元及载台，稳流单元对第一液体进行稳流。本专利技术的电子显微镜，包括载台及电子源。载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道及第二流道，其中第一流道及第二流道彼此叠设。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而通过待测物，第二液体沿第二流道流动而调整第一液体的温度。电子源提供电子束至待测物。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜包括温控单元，其中温控单元控制第二液体的温度。本专利技术的电子显微镜包括载台、稳流单元及电子源。载台具有薄膜，其中薄膜承载待测物。稳流单元具有两通道，其中第一液体依序流经一通道及待测物，第二液体依序流经另一通道及载台而调整第一液体的温度，稳流单元分别对第一液体及第二液体进行稳流。电子源提供电子束至待测物。在本专利技术的一实施例中，上述的稳流单元分别施加压力至两通道，以对第一液体及第二液体进行稳流。在本专利技术的一实施例中，上述的各通道内具有气体，稳流单元通过气体的压力对第一液体或第二液体进行稳流。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜包括温控单元，其中温控单元连接于稳流单元并控制流经两通道的第一液体及第二液体的温度。在本专利技术的一实施例中，上述的温控单元包括致冷芯片、散热鳍片组及散热风扇。致冷芯片连接于稳流单元。散热鳍片组连接于致冷芯片。散热风扇配置于散热鳍片组的一侧。本专利技术的电子显微镜，包括第一腔体、载台、抽真空模块及电子源。载台配置于第一腔体内且承载待测物。抽真空模块对第一腔体进行抽真空，并驱动第一液体流经待测物。电子源提供电子束至待测物。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜包括容纳单元及第二腔体，其中抽真空模块包括抽真空装置，抽真空装置连接于第一腔体且对第一腔体进行抽真空，容纳单元用于容纳第一液体且连通载台，第二腔体连接于抽真空装置与容纳单元之间，载台连接于第二腔体与容纳单元之间，抽真空装置对第二腔体进行抽真空，以通过第二腔体与容纳单元之间的压力差而驱动第一液体从容纳单元往载台流动。在本专利技术的一实施例中，上述的电子显微镜包括容纳单元，其中容纳单元容纳第一液体且具有多个导管，这些导管连通载台且分别具有不同管径，第一液体透过这些导管的其中的任一从容纳单元流出。基于上述，在本专利技术电子显微镜中，第一液体通过稳流单元进行稳流之后流至载台内，并也可进一步通过载台内的稳流斜面再次进行稳流，以更好的降低第一液体流经载台内的待测物时的扰动程度，让使用者能够通过电子显微镜顺利地观测待测物。此外，载台内除了具有供所述第一液体流动的第一流道，载台内更可进一步具有叠设于第一流道且供第二液体流动的第二流道，以通过第二液体来调整第一液体的温度，使待测物更好的能够在预期的适当温度下被观测。另外，并可进一步利用电子显微镜既有的抽真空装置来驱动第一液体流动，如此则不需额外配置泵作为第一液体的驱动源，而可简化电子显微镜的设备体积及成本。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。附图说明图1是本专利技术一实施例的电子显微镜的部分构件示意图。图2是图1的载台的部分结构剖视图。图3是图2的载台一实施例于薄膜处的局部放大图。图4是本专利技术一实施例的稳流单元的具体结构。图5是图4的稳流单元的局部剖视图。图6是本专利技术一实施例的温控单元的具体结构。图7是图1的载台被夹具夹置的一实施例。图8是图7的夹具及载台的局部放大图。图9是本专利技术再一实施例的电子显微镜的部分构件示意图。其中附图标记为：100、200：电子显微镜100a、200a：控制单元110、210：载台112：薄膜113：基底114：主体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有载台的电子显微镜，其特征在于，包括：载台，承载待测物；第一驱动单元，驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中该第一流动路径通过该待测物；稳流单元，配置于该第一流动路径上以对该第一液体进行稳流，其中该第一液体依序流经该稳流单元及该载台；以及电子源，提供电子束至该待测物。

【技术特征摘要】
2014.12.10 TW 1031430211.一种具有载台的电子显微镜，其特征在于，包括：载台，承载待测物且该载台包括主体，其中该主体具有第一流道，该第一流道内具有稳流斜面；第一驱动单元，驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中该第一流动路径通过该待测物；稳流单元，配置于该第一流动路径上以对该第一液体进行稳流，其中该第一液体依序流经该稳流单元、该稳流斜面及该待测物；以及电子源，提供电子束至该待测物。2.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该载台包括：薄膜，配置于该主体且承载该待测物，其中该待测物位于该第一流道内，该第一液体沿该第一流道流动而依序通过该稳流斜面及该待测物。3.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该主体具有第二流道，该第一流道及该第二流道彼此叠设，该载台包括：薄膜，配置于该主体且承载该待测物，其中该待测物位于该第一流道内，该第一液体沿该第一流道流动而通过该待测物，第二液体沿该第二流道流动而调整该第一液体的温度。4.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该稳流单元具有两通道，该第一液体依序流经一该通道及该待测物，第二液体依序流经另一该通道及该载台而调整该第一液体的温度，该稳流单元分别对该第一液体及该第二液体进行稳流。5.如权利要求1所述的电子显微镜，包括第一腔体，其特征在于，该载台配置于该第一腔体内，该第一驱动单元为抽真空模块，该抽真空模块对该第一腔体进行抽真空，并驱动该第一液体流经该待测物。6.如权利要求1所述的电子显微镜，包括夹具，其特征在于，该夹具适于夹置该载台且具有第一导流结构，当该夹具夹置该载台时，该第一导流结构连通该载台，该第一流动路径通过该第一导流结构。7.如权利要求6所述的电子显微镜，其特征在于，第二液体沿第二流动路径流经该载台而调整该第一液体的温度，该夹具具有第二导流结构，当该夹具夹置该载台时，该第二导流结构连通该载台，该第二流动路径通过该第二导流结构。8.如权利要求6所述的电子显微镜，其特征在于，该夹具包括：座体，适于承载该载台；两夹持组件，移动地配置于该座体上；以及两把手，相互枢设且分别移动地连接于该两夹持组件，其中该两把手适于相对枢转而带动该两夹持组件夹置或释放该载台。9.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该载台内具有第一温度感应元件。10.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该稳流单元内具有第二温度感应元件。11.一种具有载台的电子显微镜，其特征在于，包括：载台，包括：主体，具有第一流道，其中该第一流道内具有稳流斜面；以及薄膜，配置于该主体且承载待测物，其中该待测物位于该第一流道内，第一液体沿该第一流道流动而依序通过该稳流斜面及该待测物；以及电子源，提供电子束至该待测物。12.如权利要求11所述的电子显微镜，包括凸状结构，其特征在于，该凸状...

【专利技术属性】
技术研发人员：李信宏，李正宇，江俊霖，蔡昆志，林文地，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71