一种平坦度测量装置及柔性集成电路预贴合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种平坦度测量装置及柔性集成电路预贴合装置，其中，平坦度测量装置包括：相对设置的底座和测试平台；位于测试平台背离底座一侧的感压纸；位于底座与测试平台之间的导筒、套筒，以及位于套筒与导筒之间的锁止机构。上述平坦度测量装置中的限压单元可以使底座与测试平台之间的相互作用力的数值最大时处于感压纸可感测的力度范围内，进而使测试平台对感压纸的压力值最大时处于感压纸可感测的力度范围内；因此，利用上述平坦度测量装置，可以确保使感压纸受到的压力达到并不超过其可感测的力度范围。因此，利用该平坦度测量装置进行平坦度测试的准确度较高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及平坦度测量
，尤其是涉及一种平坦度测量装置及一种柔性集成电路预贴合装置。
技术介绍
在液晶显示面板生产过程中需要利用柔性集成电路预贴合装置(TCPPre-Bonding)对覆晶薄膜(COF)与基板进行预贴合作业。柔性集成电路预贴合装置中压合头(Pre-BondingHead)的平坦度对贴合良率的影响很大，因此，需要进行严格调试。目前，一般使用感压纸对压合头的平坦度进行测试，测试中根据感压纸受压后的显色深度均一程度判断平坦度状态。感压纸的显色浓度随着压力水平的增大而加深，但压力过大或过小时，感压纸的颜色均会无法准确反应物体的平坦度(如：压力过大时感压纸的各部分都完全着色，此时，显色浓度达到最大，无法判断感压纸颜色的均一性；而压力过小时，感压纸中发色胶囊未破裂，显色剂无法显色，此时也无法判断感压纸颜色的均一性)。传统测量压合头平坦度的方式为：首先，在柔性集成电路预贴合装置的支撑台上安装测试平台，然后在测试平台上放置感压纸，最后通过手动推动支撑台向上使测试平台与压合头压紧进而对感压纸进行加压。上述测试方法中，由于手动推动支撑台对感压纸进行加压的压力大小无法准确控制，所以，很难保证对感压纸的加压大小合适，进而，上述利用感压纸进行压合头平坦度测试的准确度较低。
技术实现思路
本技术提供了一种平坦度测量装置以及一种柔性集成电路预贴合装置，其中，平坦度测量装置用以解决现有技术中利用感压纸进行平坦度测试时准确度较低的问题。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：一种平坦度测量装置，包括：相对设置的底座和测试平台；位于所述测试平台背离所述底座一侧的感压纸；位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述测试平台上的导筒；位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述底座的套筒，所述套筒套设在所述导筒外部；位于所述套筒内、且设置于所述导筒朝向所述底座的一端端面与底座之间的弹性件；位于所述套筒与所述导筒之间的锁止机构，所述锁止机构用于提供在初始状态时将所述套筒与所述导筒锁定的锁止力；当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述套筒与所述导筒之间的锁定解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。上述平坦度测量装置包括用于放置感压纸的测试平台、以及用于驱动测试平台对感压纸进行加压的底座；测试平台和底座之间还设有套设配合的导筒和套筒，其中，导筒安装于测试平台，套筒安装于底座；当朝向测试平台方向推动底座时，该推力可以依次通过底座、套筒以及导筒的传动最终作用到测试平台、进而实现驱动测试平台对感压纸进行加压，在此过程中，套筒与导筒之间将产生沿其轴心线方向上的相互作用力，该相互作用力随着推力的增大而增大；套筒与导筒之间还设有在初始状态时将套筒与导筒之间锁定的锁止机构，所以，当朝向测试平台方向推动底座时，包括以下两种情况：当套筒与导筒之间产生的相互作用力不大于锁止机构的锁止力时，套筒与导筒之间将处于锁定状态，即套筒与导筒之间保持相对固定，进而，底座与测试平台之间也保持相对固定；此时，在忽略导筒、套筒和锁止机构的重力作用的情况下，套筒与导筒之间(即底座与测试平台之间)的相互作用力的数值可以近似等于底座受到的推力的数值，进而，测试平台对感压纸的压力值近似等于底座受到的推力的数值；当套筒与导筒之间的相互作用力大于锁止机构的锁止力时，套筒与导筒之间的锁定状态可以被解除，此时，在对底座施加的推力的作用下，套筒与导筒之间将沿其轴心线方向上相对运动，即底座与导筒之间将产生相对运动，进而可以使弹性件被压缩；此时，在忽略导筒、套筒和锁止机构等结构的重力作用的情况下，套筒与导筒之间(即底座与测试平台之间)的相互作用力的数值可以近似等于弹性件的弹性恢复力的数值，进而，测试平台对感压纸的压力值近似等于弹性件的弹性恢复力；因此，在朝向测试平台方向推动底座以驱动测试平台对感压纸进行加压时，当推力刚好可以使套筒与导筒之间产生相对运动时(即推力刚好大于锁止力时)，即可以撤除推力，由于此时导筒与底座之间产生的相对位移(即弹性件的压缩量)很小，进而可以保证底座与测试平台之间的相互作用力的数值比锁止力小；从而，在上述加压过程中，该平坦度测量装置的底座与测试平台之间的相互作用力的数值的变化过程为：当推力小于锁止力时，该相互作用力的数值近似等于推力的数值，并随着推力的增大而增大；当推力刚好大于锁止力时，该相互作用力的数值近似等于弹性件的弹性恢复力的数值，进而，该相互作用力突然变小；即在上述加压过程中，底座与测试平台之间的相互作用力的数值(即测试平台对感压纸的压力值)最大时近似等于锁止力的数值，因此，通过设置锁止力的大小处于感压纸可感测的力度范围内，即可以保证上述加压过程中感压纸受到的压力最大值达到并不超过感压纸可感测的力度范围；综上所述，利用上述平坦度测量装置，可以在手动对感压纸进行加压的过程中较精确地掌控推力的大小、以确保使感压纸受到的压力达到并不超过其可感测的力度范围。因此，利用该平坦度测量装置进行平坦度测试的准确度较高。优选地，所述锁止机构包括：所述导筒的表面设有的、环绕所述导筒设置的环形凹槽；所述套筒设有的、位于所述导筒与所述套筒之间的环形限位部；位于所述环形限位部朝向所述测试平台一侧的压力弹簧、弹力器内环和多个滚珠；其中，所述压力弹簧和所述弹力器内环套设于所述导筒上；且所述压力弹簧背离底座的一端与所述套筒背离底座的一端端面相抵、所述压力弹簧朝向底座的一端与所述弹力器内环相抵；所述弹力器内环的内侧面为朝向所述底座方向倾斜的斜面，所述弹力器内环的内侧面与所述多个滚珠相抵；所述多个滚珠限位于所述弹力器内环的内侧面与所述环形限位部之间；且在所述初始状态时，所述多个滚珠位于所述导筒的环形凹槽内、以使所述套筒与所述导筒之间锁定；当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述多个滚珠从所述导筒的环形凹槽中脱出，所述套筒与所述导筒之间的锁定被解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。优选地，所述套筒包括：安装于所述底座的第一调节筒，所述第一调节筒的筒壁设有外螺纹，所述第一调节筒背离所述底座的一端形成所述环形限位部；套设于所述导筒外部的第二调节筒，所述第二调节筒的筒壁设有与所述第一调节筒的筒壁外螺纹螺纹配合的内螺纹，所述压力弹簧、弹力器内环和多个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平坦度测量装置，其特征在于，包括：相对设置的底座和测试平台；位于所述测试平台背离所述底座一侧的感压纸；位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述测试平台上的导筒；位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述底座的套筒，所述套筒套设在所述导筒外部；位于所述套筒内、且设置于所述导筒朝向所述底座的一端端面与底座之间的弹性件；位于所述套筒与所述导筒之间的锁止机构，所述锁止机构用于提供在初始状态时将所述套筒与所述导筒锁定的锁止力；当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述套筒与所述导筒之间的锁定解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。

【技术特征摘要】
1.一种平坦度测量装置，其特征在于，包括：
相对设置的底座和测试平台；
位于所述测试平台背离所述底座一侧的感压纸；
位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述测试平台上的导
筒；
位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述底座的套筒，所述
套筒套设在所述导筒外部；
位于所述套筒内、且设置于所述导筒朝向所述底座的一端端面与底座之间
的弹性件；
位于所述套筒与所述导筒之间的锁止机构，所述锁止机构用于提供在初始
状态时将所述套筒与所述导筒锁定的锁止力；
当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力
时，所述套筒与所述导筒之间的锁定解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线
方向上相对运动。
2.根据权利要求1所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述锁止机构
包括：
所述导筒的表面设有的、环绕所述导筒设置的环形凹槽；
所述套筒设有的、位于所述导筒与所述套筒之间的环形限位部；
位于所述环形限位部朝向所述测试平台一侧的压力弹簧、弹力器内环和多
个滚珠；其中，
所述压力弹簧和所述弹力器内环套设于所述导筒上；且所述压力弹簧背离
底座的一端与所述套筒背离底座的一端端面相抵、所述压力弹簧朝向底座的一
端与所述弹力器内环相抵；所述弹力器内环的内侧面为朝向所述底座方向倾斜
的斜面，所述弹力器内环的内侧面与所述多个滚珠相抵；所述多个滚珠限位于
所述弹力器内环的内侧面与所述环形限位部之间；且在所述初始状态时，所述

\t多个滚珠位于所述导筒的环形凹槽内、以使所述套筒与所述导筒之间锁定；
当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力
时，所述多个滚珠从所述导筒的环形凹槽中脱出、所述套筒与所述导筒之间的
锁定被解除，所述套筒与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋维宏，陆振山，刘波，
申请(专利权)人：北京京东方显示技术有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11