一种传感器芯片封装模组制造技术

技术编号:13440014 阅读:97 留言:0更新日期:2016-07-31 10:05
本实用新型专利技术公开了一种传感器芯片封装模组,属于集成电路封装、传感器技术等领域。本实用新型专利技术的传感器芯片封装模组包括:基板;传感器芯片,所述传感器芯片的上表面具有传感器元件阵列和焊盘,所述传感器芯片的下表面设有沟槽,所述沟槽表面设有钝化层和导电层;专用集成电路芯片,至少一专用集成电路芯片配置于所述基板的上表面,且配置于所述传感器芯片下表面的沟槽内,所述专用集成电路芯片通过金属导线键合至所述基板上表面;塑封材料。该实用新型专利技术不但减小了封装的尺寸,同时实现了多芯片单一封装模组,封装工艺更为简单,而且避免了由于在传感芯片边缘制作台阶或者凹槽引起的可靠性问题。

【技术实现步骤摘要】
201620063651

【技术保护点】
一种传感器芯片封装模组,其特征在于,所述传感器芯片封装模组包括:基板;传感器芯片,所述传感器芯片的上表面具有传感器元件阵列和焊盘,所述传感器芯片的下表面设有沟槽,所述沟槽表面设有钝化层和导电层,所述钝化层位于传感器芯片和导电层之间,所述导电层一端与传感器芯片的焊盘连接,另一端延伸至传感器芯片底部并与金属凸点连接,所述金属凸点配置于所述基板上表面;专用集成电路芯片,至少一专用集成电路芯片配置于所述基板的上表面,且配置于所述传感器芯片下表面的沟槽内,所述专用集成电路芯片通过金属导线键合至所述基板上表面;塑封材料,采用塑封材料进行包覆密封。

【技术特征摘要】
1.一种传感器芯片封装模组,其特征在于,所述传感器芯片封装模组包括:
基板;
传感器芯片,所述传感器芯片的上表面具有传感器元件阵列和焊盘,所述传感器芯片的下表面设有沟槽,所述沟槽表面设有钝化层和导电层,所述钝化层位于传感器芯片和导电层之间,所述导电层一端与传感器芯片的焊盘连接,另一端延伸至传感器芯片底部并与金属凸点连接,所述金属凸点配置于所述基板上表面;
专用集成电路芯片,至少一专用集成电路芯片配置于所述基板的上表面,且配置于所述传感器芯片下表面的沟槽内,所述专用集成电路芯片通过金属导线键合至所述基板上表面;
塑封材料,采用塑封材料进行包覆密封。
2.根据权利要求1所述的一种传感器芯片封装模组,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:夏国峰尤显平罗强
申请(专利权)人:重庆三峡学院夏国峰
类型:新型
国别省市:重庆;85

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