A method for manufacturing disilane, magnesium silicide and ammonia chloride as raw materials for reaction in liquid ammonia and the presence of a catalyst to generate disilane gas, the reaction temperature is 10 DEG C 50 C, reaction pressure of 0.2 1MPa, the molar ratio of magnesium silicide and ammonium chloride as the 1:2 5. The catalyst for zinc complexes. DISILANES in the method of the invention is the main product of the production process, so it can solve the problem of large-scale production of by-products of DISILANES, greatly improve the production of high purity ethylene silane production efficiency, low energy consumption, lower production costs.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于气体生产
,具体涉及生产甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)、丙硅烷(Si3H8)等的方法,尤其适用乙硅烷的制造方法。
技术介绍
在微电子产品制造过程,硅用以隔离电子精密组件中各导电层。由于组件,例如芯片,一再追求精密度,规格设计越来越细,从微米级进步到纳米级,所以硅隔离层已经无法用机械方法切割形成,而必须用气相层积法形成,所以硅烷类的使用形成必须之材料。乙硅烷是一种很有前途的硅膜先体。与甲硅烷相比,它具有沉积速度快、温度要求低、膜均匀度高等优越性,是半导体工业中颇有吸引力的特种气体之一。传统的硅烷制备方法至少有两种。一种是硅镁法,或称小松法,以硅粉及镁粉为初始材料,先合成硅化镁,Si+2Mg----→Mg2Si。再以硅化镁与氯化氨依用量比例反应,在液氨的环境下,生成硅甲烷气相及六氨氯化镁固相残渣。该方法因产率低、副产品多、设备昂贵导致生产成本过高。其中,用硅化镁与氯化铵在液氨中反应的生成物绝大部份是甲硅烷,少于2%的乙硅烷只能作为副产品回收以获取极为有限的回报。第二种方法是以三氯氢硅提纯法(即俗称UCC法)。此方法之制程,首先以硅粉与氯化氢(俗称盐酸)反应生成三氯氢硅,Si+3HCl--→HSiCl3+H2。再以三氯氢硅与氢气反应,藉由氢气与氯元素结合而形成二氯氢硅及氯化氢,HSiCl3+H2---→H2SiCl2+HCl。依序再以二氯氢硅与氢气反应,藉由氢气与氯元素结合而形成单氯氢硅及氯化氢,H2SiCl2+H2---→H3SiCl+HCl。然后,单氯氢硅再与氢气反应,也就是由氢气与氯元素结合而形成硅甲烷及 ...
【技术保护点】
一种乙硅烷的制造方法,其特征在于,以硅化镁与氯化氨为原料进行反应,在液氨及催化剂存在下生成乙硅烷气体,反应温度为‑10℃‑‑50℃,反应压力为0.2‑1MPa,所述硅化镁与氯化氨的摩尔比为1:2‑5,所述催化剂为锌的配合物。
【技术特征摘要】
1.一种乙硅烷的制造方法,其特征在于,以硅化镁与氯化氨为原料进行反应,在液氨及催化剂存在下生成乙硅烷气体,反应温度为-10℃--50℃,反应压力为0.2-1MPa,所述硅化镁与氯化氨的摩尔比为1:2-5,所述催化剂为锌的配合物。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述反应压力为0.25-0.55MPa。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述硅化镁与氯化氨的摩尔比为1:3。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述反应在3-10M3的反应釜内进行。
5.根据权利要求4所述的方法...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄晓东,谢嵩嶽,
申请(专利权)人:浙江迅鼎半导体材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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