防尘薄膜组件收纳容器制造技术

提供一种在运送未使用分离片的防尘薄膜组件时掩模粘着层不发生损伤等的防尘薄膜组件收纳容器。本发明专利技术的防尘薄膜组件收纳容器是包括收纳未使用保护掩模粘着层(22)的分离片的矩形防尘薄膜组件的防尘薄膜组件(20)收纳容器本体、嵌合于所述防尘薄膜组件收纳容器本体(20)中的密闭的盖体(17)的防尘薄膜组件收纳容器，其特点是，在上述防尘薄膜组件收纳容器本体(11)上设置外侧高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域(23)支承在阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)的低阶梯部上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在半导体装置、印刷基板、液晶面板或者有机EL面板等制造时作为防尘器使用的防尘薄膜组件的收纳容器。
技术介绍
在LSI、超LSI等的半导体制造或液晶面板等的制造中，要对半导体晶片或者液晶用原板进行光照射以进行图案制作，但是，此时使用的光掩模或者中间掩模(以下统称“光掩模”)上如有灰尘附着，该灰尘会对光进行吸收，或是光弯曲，由此转印的图案就会形变，尖端部就会模糊，甚至基底会发生脏黑等，从而尺寸、品质、外观等受损。因此，这些作业通常在无尘室中进行，但即使如此，也难以总是保持光掩模的清洁，因此，要在将作为防尘器的防尘薄膜组件贴附在光掩模表面上之后进行曝光。在这种场合下，异物未直接附着在光掩模表面上而是附着在防尘薄膜组件上，光刻时只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印没有关系了。一般如此形成防尘薄膜组件，将由透光良好的硝酸纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等构成的透明防尘膜贴附或粘附在由铝、钢铁、不锈钢、工程塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面上。然后，在防尘薄膜组件框架的下端设置为了在光掩模上进行安装由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂、有机硅树脂等构成的粘着层以及以对粘着层有保护为目的离型层(分离片)。该分离片通常由PET树脂等的100～200μm程度的薄膜上涂布离型剂并根据所希望的形状切断加工而成的。因此，该分离片因厚度既薄且又几乎与框架的外形相同的框状的形状而会变成纽状，因此，难以对其进行清洗作业，在贴附至掩模粘着层上等作业也极为不便。该分离片的机能仅为保护粘着剂，在防尘薄膜组件使用时会将其剥离废弃，因此，为了解决分离片中的上述问题，本专利技术的专利技术人过去就提出一种不用分离片的防尘薄膜组件和收纳该防尘薄膜组件的容器(参考专利文献1和2)。现有的专利文献1和2中记载的防尘薄膜组件收纳容器，在防尘薄膜组件框架的外侧具有没有涂布掩模粘着层的区域，在利用设置在防尘薄膜组件收纳容器本体上的防尘薄膜组件框架支承装置支承掩模粘着层的未涂布区域的同时，将针插入设于防尘薄膜组件框架侧面上的非贯通孔中，将防尘薄膜组件固定收纳。因此，在这些防尘薄膜组件收纳容器中，由于没有分离片，所以就没有在分离片剥离时与膜接触的问题，另外，还具有容易用自动机将防尘薄膜组件取出的优点。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2009-128635专利文献2：特开2011-34020但是，本专利技术的专利技术人通过研究得知，所述防尘薄膜组件收纳容器在运送等中会发生若干问题。例如，在专利文献1中记载的防尘薄膜组件收纳容器中，虽然被收纳的防尘薄膜组件在其垂直方向被防尘薄膜组件框架支承装置支承的同时，其水平方向被用针控制而固定，但防尘薄膜组件收纳容器在运送中因冲击等会发生防尘薄膜组件框架在防尘薄膜组件框架支承装置上水平振动或移动，故会发生涂布在防尘薄膜组件框架上的掩模粘着层与防尘薄膜组件框架支承装置接触，出现损伤的问题。因此，本专利技术就是鉴于上述问题而完成的，本专利技术的目的是提供一种在运送中不会发生掩模粘着层的损伤等的、收纳未使用分离片的防尘薄膜组件的改进的防尘薄膜组件收纳容器。
技术实现思路
本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器包括收纳没有掩模粘着层保护分离片的矩形防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该防尘薄膜组件收纳容器本体上嵌合的密闭的盖体，其特点是，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置有外侧高的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域支承在该阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置的低阶梯部上。另外，优选本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的防尘薄膜组件框架支承装置仅在从被收纳的防尘薄膜组件的角部到各边的全长的30％的位置的范围内配置。进一步优选的是，该防尘薄膜组件框架支承装置优选以离收纳的防尘薄膜组件的边中央部越近就越靠近防尘薄膜组件内侧的方式配置，再进一步优选的是，该防尘薄膜组件框架支承装置的表面对收纳的防尘薄膜组件的掩模粘着层具有离型性。根据本专利技术，防尘薄膜组件框架支承装置为呈阶梯状在防尘薄膜组件框架的水平方向上固定。因此，即使因防尘薄膜组件运送中的冲击等而使防尘薄膜组件框架位移，但由于防尘薄膜组件框架支承装置和掩模粘着层之间的间隙保持一定距离，故可防止运送中的掩模粘着剂损伤。附图说明图1为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的平面图。图2为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的A-A剖视图。图3为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的B-B剖视图。图4为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的C部放大图。图5为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的透视图。图6为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的透视图。图7为比较例的防尘薄膜组件收纳容器的平面图。图8为比较例的防尘薄膜组件收纳容器的F-F剖视图。具体实施方式以下对本专利技术用实施方式来进行说明，但是本专利技术并不限定于此。另外，本专利技术在边长超过500mm的大型的防尘薄膜组件中适用时特别有效果，但是其使用与防尘薄膜组件的大小无关，并不为用途所限。图1至图6为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的示意图，在图1至图4中，防尘薄膜组件收纳容器本体11和其周缘部中嵌合止动的盖体17的图示被省略。防尘薄膜组件收纳容器本体11上设置有防尘薄膜组件框架支承装置12、针14、针支承装置15。另外，如图4所示，防尘薄膜组件框架21的下端面内侧设置有掩模粘着层22，在外周部设置有掩模粘着层未涂布区域23，在下端面的相对侧，通过防尘膜接着层24防尘膜25被绷紧设置。在本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器10中，在防尘薄膜组件框架21的掩模粘着层22所设置的端面的外周上，在设置掩模粘着层未涂布区域23的同时，设置有支承防尘薄膜组件框架21的掩模粘着层未涂布区域23的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置12即可，对其之外的规格没有制限。防尘薄膜组件框架支承装置12为阶梯状结构，在其低阶梯部上载置和支承防尘薄膜组件框架21在掩模粘着层未涂布区域。优选例如如图5所示，在低阶梯部处设有台阶12a，防尘薄膜组件框架21的掩模粘着层未涂布区域23支承在台阶12a上。另外，该阶梯状形状由于具有高度为防尘薄膜组件框架高度的50％以上的垂直面12b，所以，由垂直面12b对在防尘薄膜组件框架21的水平方向的移动进行限制。防尘薄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件收纳容器，包括收纳不使用保护掩模粘着层的分离片的矩形的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体、嵌合于所述防尘薄膜组件收纳容器本体中的密闭的盖体，其特征在于，在所述防尘薄膜组件收纳容器本体上设置在外侧呈高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域支承在所述阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置的低阶梯部上。

【技术特征摘要】
2015.01.19 JP 2015-0074611.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括收纳不使用保护掩模粘着层的分
离片的矩形的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体、嵌合于所述防
尘薄膜组件收纳容器本体中的密闭的盖体，其特征在于，在所述防尘薄膜
组件收纳容器本体上设置在外侧呈高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承
装置，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域支承在所述阶梯状防尘
薄膜组件框架支承装置的低阶梯部上。
2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：関原一敏，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP