一种重复激光熔覆制备高密度氧化铟锡靶材的方法技术

本发明专利技术公开了一种重复激光熔覆制备高密度氧化铟锡靶材的方法，属于氧化铟锡靶材制备技术领域。本发明专利技术将氧化铟锡粉末与双氧水混合，经超声分散后，与己二胺、钛酸四丁酯水浴加热，过滤得滤饼，经酸洗碱浸、过滤干燥后，与过氧化苯甲酰、聚乙烯醇等物质混合球磨制得球磨改性粉末，将其于模具中压实干燥，经重复激光熔覆烧结制得高密度氧化铟锡靶材。本发明专利技术的有益效果是：本发明专利技术制备步骤简单，所得产品的成品率高于其他产品20.6%以上；该氧化铟锡靶材稳定性好，密度高于其他产品16.8%以上，有效解决了分层和裂纹现象。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种重复激光熔覆制备高密度氧化铟锡靶材的方法，其特征在于具体制备步骤为：（1）按质量比1:5，将氧化铟锡粉末与质量浓度为10%的双氧水搅拌混合，在200～300W下超声分散处理10～15min，制备得氧化铟锡分散液，随后按重量份数计，分别量取35～55份制备的氧化铟锡分散液、20～30份己二胺和25～35份钛酸四丁酯置于三口烧瓶中，在70～80℃下水浴加热2～3h；（2）待加热完成后，对其过滤并收集滤饼，用质量浓度10%硫酸洗涤pH至3.5，制备得酸化氧化铟锡，随后按固液质量比1:5，将其置于质量浓度为30%氢氧化钠溶液中浸泡2～3h，待浸泡完成后，对其过滤并收集滤饼，用去离子水洗涤至pH至7.0，再在65～80℃下干燥2～3h，制备得改性氧化铟锡粉末；（3）按重量份数计，分别称量35～55份去离子水、10～15份过氧化苯甲酰、25～30份上述制备的改性氧化铟锡粉末、5～10份丙烯酸树脂和5～10份聚乙烯醇置于球磨罐中，按球料质量比2:1，在80～100r/min下，用氧化锆球球磨30～40h，制备得球磨改性粉末；（4）将上述制备的球磨改性粉末置于厚度为3～5mm不锈钢模具中，压实并在75～80℃下干燥2～3h，待干燥完成后，将其脱模并置于激光熔覆装置下，设置激光功率为1.5～2.0KW，光斑直径为3mm，扫描速度为3mm/s，接搭率为50%，在同轴通入氩气进行保护，再对其熔覆烧结，制备得氧化铟锡靶材基层；（5）待烧结完成后，根据所需靶材大小，再将3～5mm厚的球磨改性粉末覆盖至上述制备的氧化铟锡靶材基层表面，重复上述激光熔覆条件，再次熔覆烧结，直至符合规格，即制备得一种高密度氧化铟锡靶材。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：袁春华，盛海丰，高玉刚，
申请(专利权)人：袁春华，
类型：发明
国别省市：江苏;32