【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光取向用偏振光照射方法,使用光取向用偏振光照射装置向基板照射光取向用的偏振光,所述光取向用偏振光照射装置具备:照射单元,向所设定的照射区域照射偏振光;台,载置基板;以及台移动机构,通过使台向照射区域移动,使得向台上的基板照射偏振光,作为台,设置有第一台和第二台这两个台,在所述第一台和第二台的各台上设置有基板校准器,该基板校准器将所搭载的基板的朝向相对于被照射的偏振光的偏振轴调整为规定的朝向,台移动机构使第一台从设定于照射区域的一侧的第一基板搭载位置向照射区域移动,并经过由所述照射单元照射偏振光的该照射区域,并且使第二台从设定于照射区域的另一侧的第二基板搭载位置向照射区域移动,并经过由所述照射单元照射偏振光的该照射区域,台移动机构在第一台上的基板经过照射区域之后使第一台返回到第一侧,并且在第二台上的基板经过照射区域之后使第二台返回到第二侧,在位于第一基板搭载位置的第一台与照射区域之间确保通过所述基板校准器对第二台上所搭载的基板的朝向进行了调整后的该第二台上的基板经过照射区域的量以上的空间,在位于第二基板搭载位置的第二台与照射区域之间确保通过所述基板校准器对第一台上所搭载的基板的朝向进 ...
【技术特征摘要】
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